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金属粒子内でのシリコン再結晶化を利用したナノワイヤー/バルク電極間の接合技術開発

研究課題

研究課題/領域番号 20H02500
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分27010:移動現象および単位操作関連
研究機関東京農工大学

研究代表者

稲澤 晋  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30466776)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
2022年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2021年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワードVapor-Liquid-Solid機構 / シリコンウィスカー / シリコンナノワイヤー / 接合 / VLSメカニズム / シリコン / ウィスカー / 亜鉛還元反応 / 再結晶化 / 金属触媒 / 結晶成長 / 気相反応 / VLS / 結晶化 / ナノワイヤー / Vapor-Liquid-Solid / 溶解 / 接合界面
研究開始時の研究の概要

本研究では、シリコンナノワイヤーとバルク電極とを原子レベルで簡易に接合する技術を開発する。応募者が独自に合成できる不織布状のシリコンナノワイヤー膜を用いて、電子材料として簡便に利用できる技術開発を行う。具体的には、金属粒子がシリコンの再結晶化触媒として働く性質を利用する。従来の材料と材料の間を金属で埋める発想ではなく、材料同士の結合をうまく作ってナノワイヤーをバルク電極に直接接合し「接ぎ木」する。また、ナノワイヤーを集合体として扱うことで、従来必要であった電子顕微鏡によるナノワイヤーの位置確認の手間を省く。肉眼と手で、ナノワイヤーを電気回路に組みこむ簡易で迅速な方法の実例を示す。

研究成果の概要

金属亜鉛に対する固体シリコンの溶解を確認した。一方で、亜鉛融液と固体シリコンとの濡れ性次第ではケイ素の溶解が起こりにくいことも明らかにできた。並行して検討したシリコンウィスカー側面からの新たなウィスカー生成では、ウィスカー表面と亜鉛液滴の濡れ性がVLS成長でにとっては好ましい状態ではないことが示唆された。固体シリコンと亜鉛融液との濡れ性(馴染みの良さ)の制御が不可欠であることを明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

ウィスカーやナノワイヤー成長のメカニズムであるVLS機構では、金属融液にケイ素を含む気体分子が溶け込む。これに対して固体シリコンを原料として金属融液への溶け込みが起こることを本研究では明らかにした。ケイ素の亜鉛融液への溶解は速やかではなく、接触していても濡れ性次第では溶解しないことも明らかとなった。また、シリコン固体表面からのウィスカー生成でも亜鉛液滴の濡れ性が鍵を握ることが分かった。いずれもただ接触させればよい、ということではなく液体と固体が接触する境界(界面)の制御が極めて重要であることを示している。界面現象にとっても新たな知見が得られた意義は大きい。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Flow Effects on the Morphology of Silicon Materials Produced in a Gas Phase Reaction of SiCl<sub>4</sub>2022

    • 著者名/発表者名
      INASAWA Susumu
    • 雑誌名

      International Chemical Engineering Symposia Proceedings

      巻: 2022 号: 0 ページ: 21-23

    • DOI

      10.1252/iches.2022.006

    • ISSN
      2758-3031
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Formation of boron-doped silicon wires and control of dopant concentration using zinc, SiCl4 and BCl32020

    • 著者名/発表者名
      Taniguchi Ryunosuke、Inasawa Susumu
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 547 ページ: 125796-125796

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2020.125796

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Reactions and flows affected by liquid-gas or liquid-liquid interfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Susumu Inasawa
    • 学会等名
      4th Japan-Korea Symposium on Materials and Interfaces
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Flow effects on the morphology of silicon materials produced in a gas phase reaction of SiCl42022

    • 著者名/発表者名
      Susumu Inasawa
    • 学会等名
      IChES2022
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 気相反応を用いたシリコンナノ・マイクロ材料の自発生成と形状制御2021

    • 著者名/発表者名
      稲澤晋
    • 学会等名
      第4回東工大応用化学系次世代を担う若手シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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