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マルチ軸機械歪を印加した超高歪ウルトラ薄膜化ゲルマニウムによる室温電流注入光利得

研究課題

研究課題/領域番号 20H02635
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分30010:結晶工学関連
研究機関東京大学

研究代表者

深津 晋  東京大学, 大学院総合文化研究科, 教授 (60199164)

研究分担者 金崎 順一  大阪公立大学, 大学院工学研究科, 教授 (80204535)
安武 裕輔  東京大学, 大学院総合文化研究科, 技術専門職員 (10526726)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2022年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2021年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2020年度: 11,440千円 (直接経費: 8,800千円、間接経費: 2,640千円)
キーワード超薄Ge / 多軸応力 / 超高歪 / 直接遷移端 / 光利得 / 電流注入 / 共振器ポラリトン / 高正孔移動度 / 超薄ゲルマニウム / 疑似直接遷移化 / 室温電流注入光利得 / バレー間音響フォノン散乱 / マルチ軸応力 / 擬似直接遷移化 / 強結合 / 微小共振器 / 励起子ポラリトン / 超薄膜ゲルマニウム
研究開始時の研究の概要

IV族半導体は一般に間接遷移型のバンド構造をもつため反転分布の形成には不利と考えられてきた。異方性歪を内包したゲルマニウムにおける間接・直接バレーの反転は、これに向けた有効な戦略でありながらも波長域の赤外シフトという本質的な問題を抱えていた。本研究は、精密に制御した多軸の非等方的応力下で生じるゲルマニウム単結晶量子井戸のバンド構造変化にもとづく新機軸の物性制御・機能改変の試みである。薄膜直接接合、超高精度エッチング、インターカラント介在エピタキシーの技術融合によって非従来型のポンテシャル分布制御を達成し、マルチ軸精密高歪制御ウルトラ薄膜化ゲルマニウムの室温電流駆動光利得とレーザー発振を目指す。

研究成果の概要

多軸高歪下の超薄ゲルマニウム(Ge)における室温電流注入光利得とレーザー発振への足がかりを模索した。薄膜転写、高精細エッチングとエクサクタントエピタキシーの融合により超薄Geの関連構造を構築し、直接端バンド分散の情報取得と低散逸環境での利得発生を目指した。新規に開発した機械的応力印加機構とスピン敏感発光励起相関法を用いてスプリットオフ正孔関与の共鳴電子ラマン遷移近傍で円偏光利得を達成した。さらにドーピング不要の電流注入法を開発、面直共振器との融合からGe直接バレー励起子のポラリトン化を検討する過程で複合系における室温ボーズ凝縮の物理を論じ、次元交差Ge界面では高正孔移動度と量子振動を見出した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

IV族半導体レーザーは物質科学の究極目標のひとつであり、低温のフェムト秒パルス励起とはいえ擬似連続的かつGeバンド端近傍のとくに通信帯波長で円偏光利得が達成できたことは社会的にも意義があり、当該研究分野に大きなインパクトをもつ。 一方、これを可能にした新規開発の応力印加機構とスピン敏感なフェムト秒発光励起相関法は、物性評価の技術開発の位置づけでも意義深い。さらに一定の物性評価が定まった超薄Geの作製技術は、薄膜技術の進化形に明確に位置づけられることになる。一方、ハイブリッドGe界面における正孔ガス、模擬ポラリトンシステムで見出された室温ボーズ・アインシュタイン凝縮は物理の観点からも意義深い。

報告書

(4件)
  • 2023 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 学会発表 (25件) (うち招待講演 1件) 図書 (1件) 備考 (1件)

  • [学会発表] 微小共振器中の有機分子におけるホットバンド蛍光の消失機構と光デバイス機能2024

    • 著者名/発表者名
      角谷 聡太、Sandipa Bhandari、田中 菜月、石田 真敏、杉浦 健一、古田 弘幸、神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 有機分子励起子ポラリトンレーザーの偏光制御2024

    • 著者名/発表者名
      角谷 聡太、Sandipa Bhandari、田中 菜月、石田 真敏、杉浦 健一、古田 弘幸、神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] α-Cr2O3基板に格子整合したα-(Al,Ga)2O3の成長2024

    • 著者名/発表者名
      神野 莉衣奈、大島 孝仁、大島 祐一、深津 晋
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 微小共振器における有機分子の異方的な蛍光アップコンバージョン2023

    • 著者名/発表者名
      角谷 聡太、田中 菜月、石田 真敏、杉浦 健一、古田 弘幸、神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 高い正孔移動度を持つゲルマナン薄膜の成膜条件最適化2023

    • 著者名/発表者名
      片山 裕美子、小林 大輝、安武 裕輔、深津 晋、上野 和紀
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 選択成長α-Ga2O3の速度論的安定性の温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 励起子ポラリトンレージング用BODIPY色素の強結合デバイス光物理2023

    • 著者名/発表者名
      角谷聡太、田中菜月・石田真敏、杉浦健一、古田弘幸・岡部浩隆、松田直樹、神野莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] High hole mobility in two-dimensional germanane thin films2023

    • 著者名/発表者名
      Yumiko Katayamaa), Daiki Kobayashi, Yuhsuke Yasutake, Susumu Fukatsu, and Kazunori Ueno
    • 学会等名
      2023 Materials Research Society Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 微小共振器と強結合した有機分子の蛍光アップコンバージョン2023

    • 著者名/発表者名
      角谷 聡太、田中 菜月、石田 真敏、杉浦 健一、古田 弘幸、神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光による有機無機ペロブスカイト光誘起構造相転移の観測2023

    • 著者名/発表者名
      岩崎 悠、神野 莉衣奈、田中 陽、安武 裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光によるサファイア基板上選択成長α-Ga2O3の相転移温度の面内依存性の評価2023

    • 著者名/発表者名
      神野 莉衣奈、神崎 正美、深津 晋
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 微小共振器と強結合した有機分子の蛍光アップコンバージョン2023

    • 著者名/発表者名
      角谷 聡太、田中 菜月、石田 真敏、杉浦 健一、古田 弘幸、神野 莉衣奈、深津 晋
    • 学会等名
      第70回応用物理春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光による有機無機ペロブスカイト光誘起構造相転移の観測2023

    • 著者名/発表者名
      岩崎 悠、神野 莉衣奈、田中 陽、安武 裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      第70回応用物理春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Spectroscopic Study of Quantum-confinement in Ultrathin-body GeOI2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasutake, T. Kohei, W. H. Chang, H. Ishii, T. Irisawa, T. Maeda, and S. Fukatsu
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 低密度光に誘起される有機無機ペロブスカイト結晶の構造相転移2022

    • 著者名/発表者名
      崎悠、田中陽、神野莉衣奈、安武裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] CH3NH3PbBr3の光誘起構造相転移のダイナミクス2022

    • 著者名/発表者名
      岩崎 悠、神野莉衣奈、田中 陽、安武 裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 高い正孔移動度を持つゲルマナン薄膜の輸送特性2022

    • 著者名/発表者名
      小林 大輝、片山 裕美子、安武 裕輔、深津 晋、上野 和紀
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 有機共振器ポラリトンの室温Bose-Einstein凝縮による広帯域・低閾値ポラリトンレーザー2022

    • 著者名/発表者名
      山本真毅、森山彰治、石田真敏、古田弘幸、深津 晋
    • 学会等名
      電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 光学的に捕えたGe中の非平衡電子の超高速緩和過程とそれにともなう特異な物性2022

    • 著者名/発表者名
      安武裕輔、金崎順一、深津 晋
    • 学会等名
      2022電子情報通信学会OME, SDM研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 高い正孔移動度を持つゲルマナン薄膜の輸送特性2022

    • 著者名/発表者名
      小林 大輝、片山 裕美子、安武 裕輔、深津 晋、上野 和紀
    • 学会等名
      第83回応用物理秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 光誘起構造相転移のダイナミクス2022

    • 著者名/発表者名
      岩崎 悠、神野 莉衣奈、田中 陽、安武 裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      第83回応用物理秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] UTB-GeOIの量子化準位の顕微フォトリフレクタンス測定2021

    • 著者名/発表者名
      公平拓見、安武 裕輔、張 文馨、石井裕之、入沢寿史、内田紀行、前田辰郎、深津 晋
    • 学会等名
      第68回応用物理春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] シリコン表面近傍における光注入価電子正孔系の超高速緩和現象2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤悠介、金崎順一、谷村克己、山本 勇、東 純平、深津 晋
    • 学会等名
      第68回応用物理春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Ge電子ラマン遷移の励起波長依存性2020

    • 著者名/発表者名
      安武裕輔、深津 晋
    • 学会等名
      第81回応用物理秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Ultrathin-body GeOI における量子閉じ込め電子ラマン散乱2020

    • 著者名/発表者名
      公平拓見、安武 裕輔、張 文馨、石井裕之、入沢寿史、内田紀行、前田辰郎、深津 晋
    • 学会等名
      第81回応用物理秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [図書] 光と物質の量子相互作用ハンドブック2023

    • 著者名/発表者名
      深津 晋(第3編 各物質・構造における量子相互作用 第1章 バルク半導体)
    • 総ページ数
      21
    • 出版者
      (株)エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      9784860438265
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
  • [備考] 研究室ホームページ

    • URL

      https://park.itc.u-tokyo.ac.jp/fkatz/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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