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ミリサイズ小型超高精度ミラー作製によるX線1 nm集光の実現

研究課題

研究課題/領域番号 20J21562
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
審査区分 小区分30020:光工学および光量子科学関連
研究機関東京大学

研究代表者

島村 勇徳  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2020-04-24 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
2022年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2021年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2020年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードX線 / 集光ビーム / 高精度成膜 / 短い焦点距離 / 大きな開口数 / 軟X線 / 集光鏡 / 蛍光X線観察 / X線ミラー
研究開始時の研究の概要

世界で最も微細なX線レーザー光を実現する.
病院でレントゲン写真に使うX線は,材料特性を非破壊評価する上で科学や産業に不可欠なツールである.このX線を微小なスポットに集光して試料に照射すると,細かく試料観察できるため,直近30年でX線集光サイズは約1万倍縮小した.
本研究はX線の集光に用いる集光鏡に注目し,その超小型化と反射層の新設計で世界最小のX線集光サイズ1nmを達成する.新開発の超小型集光鏡は既に優れた性能が実証され,作製精度を今後改善する.一方,集光サイズをさらに縮小するには,単層の反射層を積層する多層膜化が必要になる.独自の多層膜技術を開発し,原子サイズに匹敵する1nmにX線を集光する.

研究実績の概要

【概要】本研究は世界で最も微細なX線ビームの実現を目標とし,2つの独自案を集光鏡設計に盛り込む.令和4年度は,1つ目の案「集光鏡の超小型化」の実証実験について,過去に例を見ない集光結果を確かめ,試料を多角的に評価可能な顕微手法を開発した.また,2つ目の案「反射膜を積層する多層膜構造の新設計」について,実現可能性がある方針を見出した.
【具体的内容】集光鏡を超小型化すると,X線を小さいスポットに集め,かつスポットを理想的な状態に保持しやすくなる.しかし,集光鏡の半径を従来の数十メートルから150 mmと100倍以上急峻にする必要があり,加工・計測手法が確立していなかった.新たに作製方法を確立し,兵庫県の大型放射光施設SPring-8にて集光鏡の集光性能を評価した.光子エネルギーに依らない一定位置での理想集光を,軟X線領域で初めて実現し,集光サイズは最小20.4 nmに到達した.この特性を利用し,二色の軟X線を混合した微小集光スポットを形成した.本スポットを使った蛍光X線観察と新たに導出したアルゴリズムを使用し,試料密度・厚み・軽元素・金属元素の分布を同時に定量評価できる唯一の手法を開発した.また,多層膜構造の新設計について,フランスにある欧州大型放射光施設(ESRF)の研究者と議論・実験し,本構造が可能と思われる材料のペアを見出した.
【意義】集光・顕微観察結果は共に世界随一である.提案する顕微観察法によって,従来観察された重元素分布に加え,軽元素と試料形状も同時に高分解能で定量評価できる.提案する多層膜構造は,各層が非常に薄いことが課題となっていた.検討中の材料であれば,その薄さを実現できると期待される.
【重要性】例えば,薬粒子の場所を細胞内で追跡するナノ薬理動態分野への応用が期待され,さらなる空間分解能向上が見込まれる.

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (6件) (うち国際共著 1件、 査読あり 4件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 7件) 図書 (1件) 備考 (6件)

  • [国際共同研究] European Synchrotron Radiation Facility(フランス)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of ultrashort sub-meter-radius x-ray mirrors using dynamic stencil deposition with figure correction2023

    • 著者名/発表者名
      Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Kimura Takashi、Perrin Francois、Vivo Amparo、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Mimura Hidekazu
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 94 号: 4 ページ: 043102-043102

    • DOI

      10.1063/5.0135367

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Abrasive slurry jet machining system using polyurethane silica coreshell particles for internal surfaces of axisymmetric x-ray mirrors2023

    • 著者名/発表者名
      Shunya Yokomae, Yoko Takeo, Takenori Shimamura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 94 号: 1 ページ: 015106-015106

    • DOI

      10.1063/5.0125242

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror2022

    • 著者名/発表者名
      Shimamura Takenori、Takeo Yoko、Moriya Fumika、Kimura Takashi、Shimura Mari、Senba Yasunori、Kishimoto Hikaru、Ohashi Haruhiko、Shimba Kenta、Jimbo Yasuhiko、Mimura Hidekazu
    • 雑誌名

      Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII

      巻: 12240 ページ: 1224004-1224004

    • DOI

      10.1117/12.2632949

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 超小型KBミラーを用いた軟X線sub 50 nm集光システムの開発2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳、竹尾 陽子、木村 隆志、仙波 泰徳、岸本 輝、大橋 治彦、三村 秀和
    • 雑誌名

      精密工学会学術講演会講演論文集

      巻: 2021A 号: 0 ページ: 543-544

    • DOI

      10.11522/pscjspe.2021A.0_543

    • 年月日
      2021-09-08
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [雑誌論文] 差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • 雑誌名

      2021 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      巻: 1 ページ: 664-665

    • NAID

      130008084164

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [雑誌論文] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020

    • 著者名/発表者名
      Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
    • 雑誌名

      SPIE Proceedings

      巻: 11492 ページ: 1-9

    • DOI

      10.1117/12.2569845

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror2022

    • 著者名/発表者名
      T. Shimamura, Y. Takeo, F. Moriya, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, K. Shimba, Y. Jimbo, and H. Mimura
    • 学会等名
      Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVII, SPIE Optical Engineering + Applications, SPIE Optical Engineering + Applications, 2022, 1224004, San Diego, California, United States
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes2022

    • 著者名/発表者名
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 学会等名
      XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2022 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2022), Online + Yokohama, Kanagawa, Japan
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design, fabrication, and testing of 2-mm-long X-ray mirrors for soft-X-ray nanofocusing2022

    • 著者名/発表者名
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 学会等名
      IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication), Online only.
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirrors for sub-50-nm achromatic soft-X-ray probes2022

    • 著者名/発表者名
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, M. Shimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 学会等名
      XOPT2022 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2022 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design, fabrication, and testing of 2-mm-long X-ray mirrors for soft-X-ray nanofocusing2022

    • 著者名/発表者名
      T. Shimamura, Y. Takeo, T. Kimura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
    • 学会等名
      IWXM 2022 (7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 超小型 KB ミラーを用いた軟 X 線 sub 50 nm 集光システムの開発2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 差分成膜法による超小型 X 線集光ミラーの作製2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 差分成膜法による超小型X線集光ミラーの作製2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 軟 X 線による超小型 Kirkpatrick-Baez ミラーの特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      島村 勇徳, 竹尾 陽子, 木村 隆志, 仙波 泰徳, 岸本 煇, 大橋 治彦, 三村 秀和
    • 学会等名
      第 34 回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Design of ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror for soft x-ray nanofocusing2020

    • 著者名/発表者名
      Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Hirokazu Hashizume, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics IX, Optical Engineering + Applications, SPIE Optics + Photonics 2020 Digital Forum
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of ultra-short Kirkpatrick-Baez mirror system for nano-focusing of soft X-rays2020

    • 著者名/発表者名
      Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      XOPT2020 (International Conference on X-ray Optics and Application), OPIC2020 (OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [図書] 日本放射光学会誌「放射光」2021

    • 著者名/発表者名
      島村勇徳
    • 総ページ数
      3
    • 出版者
      日本放射光学会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [備考] 三村研究室ウェブページ

    • URL

      http://webpark1181.sakura.ne.jp/mimuralab/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [備考] 島村勇徳ウェブページ

    • URL

      https://iappotakebee.github.io/index.html

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [備考] 東京大学工学部・大学院工学系研究科YouTubeチャンネル

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=41v-6dHWQKA

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [備考] 三村研究室ホームページ

    • URL

      http://www.edm.t.u-tokyo.ac.jp/wpMimura/

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書 2020 実績報告書
  • [備考] HIRAKU 3MT Competition 2021 English Division 録画

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=QiAjXKsTg14

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [備考] UTokyo Three Minute Thesis (3MT) competition 録画

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=L7wt2Nes07M

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2020-07-07   更新日: 2024-03-26  

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