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金属/半導体界面におけるギャップ状態の消滅機構・電場下での変形の理論

研究課題

研究課題/領域番号 20K03815
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分13020:半導体、光物性および原子物理関連
研究機関千葉大学

研究代表者

中山 隆史  千葉大学, 大学院理学研究院, 教授 (70189075)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2021年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2020年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワード金属/半導体界面 / ギャップ状態 / 第一原理計算 / ショットキーバリア / pn接合 / トンネル電流 / 電場環境下 / エネルギー共鳴 / 原子拡散侵入 / pn接合界面 / 極性反転 / 金属/半導体界面 / 金属クラスター / 量子井戸 / 酸素空孔 / 半導体粒界 / 直接・間接ギャップ半導体 / 表面・界面物性 / 物性理論 / 計算物理 / 半導体物性
研究開始時の研究の概要

金属/半導体界面が持つ多くの物理的性質は、電子の「ギャップ状態」を変化させることで制御することができます。しかし、ギャップ状態がどのような界面で生まれたり消えるか、電場下でギャップ状態がどのように変形するかは、未だ明らかでありません。本研究では、代表的な金属/Ge界面およびSi-pn接合界面を題材に選び、物理学の基本法則に基づく第一原理理論計算を行い、「ギャップ状態の生成・消滅・変形の仕組み」を解明します。本研究の成果は、新しい界面物理学の開拓につながるだけでなく、近未来の電子デバイスの設計に役立つものと期待されます。

研究成果の概要

本研究では、第一原理計算に基づき、金属/半導体界面におけるギャップ状態の消滅機構や電場下でのギャップ状態変形の仕組みを調べた。その結果、(1)Bi、Pb等の単純金属では、原子の原子半径が大きく電子密度が低いため、金属は半導体層と有効な原子結合を作らず、半導体側のギャップ状態は消滅すること、(2)電場下では半導体のバンドギャップは有効的に小さくなるため、ギャップ状態の侵入長は伸びること、(3)半導体のpn接合に欠陥準位があると、電場下ではギャップ状態とエネルギー共鳴して、ギャップ状態の侵入長を伸ばしトンネル電流を数桁増大させること等の物理描像を解明した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

金属/半導体界面においては、金属の電子が「ギャップ状態」として半導体のバンドギャップ内に侵入し、界面に多量の欠陥を発生させたり界面を介しての電子の移動障壁を大きく変化させる。しかし、このギャップ状態を消滅させる仕組みや、電場下でギャップ状態がどのように変質するかは明らかでなかった。本研究では、量子力学に基づく数値計算を行い、これら疑問点を解明した。特に、電場下においてギャップ状態が欠陥と結びつくと侵入長は大きく伸び、界面を介した電流を数桁増大させることを解明したが、この結果は学術的に大きな意義を持つだけでなく、将来のデバイス応用にも多くの知見を与えると期待される。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (42件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (32件) (うち国際学会 9件、 招待講演 3件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Photo-carrier induced composition separation in mixed-halide CsPb(I<sub>x</sub>Br<sub>1-x</sub>)<sub>3</sub> perovskite semiconductors; first-principles calculation2023

    • 著者名/発表者名
      Tomita Ami、Nakayama Takashi
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 16 号: 4 ページ: 041002-041002

    • DOI

      10.35848/1882-0786/acc6b3

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of tunneling currents by isoelectronic nitrogen-atom doping at semiconductor pn junctions; comparison of indirect and direct band-gap systems2022

    • 著者名/発表者名
      Cho Sanghun、Nakayama Takashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 12 ページ: 124002-124002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac9fb0

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Clustering feature of metal atoms in pentacene molecular solids: a first-principles study2022

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, Y. Tomita, K. Kawabata, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 61 号: 2 ページ: 021003-021003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac41e2

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impacts of terminal molecules on metal-atom diffusion into alkane self-assembled-monolayer films: first-principles study2021

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 60 号: 12 ページ: 125505-125505

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac3181

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New types of resonant tunneling currents at Si-p/n junctions: One-dimensional model calculation2021

    • 著者名/発表者名
      S. Cho, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 60 号: 5 ページ: 054002-054002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abf782

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of electron transfer on metal-atom penetration into SiO2 in electric field: First-principles study2021

    • 著者名/発表者名
      R. Nagasawa, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 60 号: 3 ページ: 031005-031005

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abe0f4

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electronic structures and impurity segregation around extended defects in pentacene films: first-principles study2021

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, T. Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 60 号: SB ページ: SBBG05-SBBG05

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abdf71

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Si-pn接合中のSiGe量子井戸の共鳴準位によるトンネル電流の増大2023

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲, 中山隆史
    • 学会等名
      第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の 物理― (EDIT 28)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ハライド混晶ペロブスカイト半導体 CsPb(IxBr1-x)3 の光誘起相分離: 第一原理計算による検討2023

    • 著者名/発表者名
      冨田愛美, 中山隆史
    • 学会等名
      第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の 物理― (EDIT 28)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Resonance enhanced tunneling currents at Si-pn junctions; theoretical study2022

    • 著者名/発表者名
      Takashi Nakayama
    • 学会等名
      19th Conf. on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology (GADEST-19)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Formation and Optical Properties of Perovskite Semiconductor Nanodots; First-principles Theoretical Study2022

    • 著者名/発表者名
      T. Nakayama, A. Tomita
    • 学会等名
      9th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Resonance-enhanced tunneling currents at quantum-well-embedded Si-pn junctions2022

    • 著者名/発表者名
      S. Cho, T. Nakayama
    • 学会等名
      20th Int. Symp. on the Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Stability and optical properties of low-dimensional perovskite CsnPbXn+2 semiconductors; First-principles study2022

    • 著者名/発表者名
      A. Tomita, T. Nakayama
    • 学会等名
      20th Int. Symp. on the Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] First-principles Theoretical Study on Photo-induced Composition Separation of Mixed-halide Perovskites CsPb(IxBr1-x)3 for Solar-cell Application2022

    • 著者名/発表者名
      A. Tomita, T. Nakayama
    • 学会等名
      2022 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 太陽電池系ペロブスカイト混晶半導体における光誘起組成分離: 第一原理計算に基づく理論2022

    • 著者名/発表者名
      中山隆史
    • 学会等名
      2022年度多元系化合物・太陽電池研究会 年末講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] HfO2強誘電相の安定化:第一原理計算に基づく考察 (招待講演)2022

    • 著者名/発表者名
      中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Si-pn 接合中の SiGe 量子井戸の共鳴準位によるトンネル電流の増大2022

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲, 加藤公彦, 飯塚将太, 森貴洋, 中山隆史
    • 学会等名
      第69回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ハライド混晶ペロブスカイトCsPb(I_xBr_(1-x))_3の安定性:第一原理計算による検討2022

    • 著者名/発表者名
      冨田愛美, 中山隆史
    • 学会等名
      第69回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電HfO2薄膜の安定性と誘電特性:第一原理計算による検討2022

    • 著者名/発表者名
      牧芳和, 新井千慧, 洗平昌晃, 白石賢二, 中山隆史
    • 学会等名
      第69回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 低次元薄膜半導体のpn接合におけるトンネル電流の振る舞い:その理論的検討2022

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲, 飯塚将太, 中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 酸素空孔の帯電が誘起する金属酸化物の構造変化:第一原理計算による検討2022

    • 著者名/発表者名
      新井千慧, 中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 半導体のpn接合における点欠陥・不純物を介したトンネル電流の理論的検討2022

    • 著者名/発表者名
      加藤珠良偉, 趙祥勲, 中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 単純金属/Ge界面のフェルミレベル・デピニング:第一原理計算による検討2022

    • 著者名/発表者名
      西本瑛, 植田夏葉, 中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] HfO2薄膜の安定性と誘電特性:第一原理計算による検討2022

    • 著者名/発表者名
      牧芳和, 新井千慧, 中山隆史
    • 学会等名
      第27回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2022)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Control of Point-defect Formation by Electric Field at Metal/semiconductor Interfaces; First-principles View (invited talk)2021

    • 著者名/発表者名
      Takashi Nakayama
    • 学会等名
      Int. Conf. Processing & Manufactoring of Advanced Materials (THERMEC 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 0次元ペロブスカイト半導体Cs_4PbX_6の安定性と光学的性質:第一原理計算による検討2021

    • 著者名/発表者名
      冨田愛美, 中山隆史
    • 学会等名
      第82回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ペンタセン膜中の金属原子クラスターの形態と安定性:第一原理計算による検討2021

    • 著者名/発表者名
      渡邊駿汰,川端康平, 富田陽子,中山隆史
    • 学会等名
      第68回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] p/n接合中の共鳴不純物準位によるトンネル電流の増大:直接・間接バンドギャップ系の比較2021

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲,中山隆史
    • 学会等名
      第68回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] p/n接合中の共鳴不純物準位によるトンネル電流の増大:直接・間接バンドギャップ系の比較2021

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲、中山隆史
    • 学会等名
      第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2021)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属酸化物中の酸素空孔の拡散と分布形態:第一原理計算に基づくその化学的傾向の検討2021

    • 著者名/発表者名
      笈川拓也、中山隆史
    • 学会等名
      第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2021)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電HfO2相の安定性における帯電と歪の複合効果:第一原理計算による検討2021

    • 著者名/発表者名
      新井千慧、白石悠人、洗平昌晃、白石賢二、中山隆史
    • 学会等名
      第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2021)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属/SiC界面のショットキーバリアの界面原子による変調:第一原理計算による検討2021

    • 著者名/発表者名
      西本瑛、中山隆史
    • 学会等名
      第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 (EDIT 2021)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Charging-induced Stabilization of Ferroelectric Orthorhombic HfO2 Phase: Key Growth Processes based on First-principles Study2020

    • 著者名/発表者名
      T.Nakayama, K.Arai, Y.Shiraishi, R.Nagasawa, M.Araidai, K.Shiraishi
    • 学会等名
      51th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (IEEE SISC 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Charging-induced stabilization of ferroelectric orthorhombic HfO2 films: first-principles study on key growth conditions2020

    • 著者名/発表者名
      K.Arai, Y.Shiraishi, R.Nagasawa, M.Araidai, K.Shiraishi, T.Nakayama
    • 学会等名
      2020 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electronic structures and impurity accumulation around extended defects in pentacene films: first-principles study2020

    • 著者名/発表者名
      S.Watanabe, T.Nakayama
    • 学会等名
      2020 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ペンタセン膜中の構造欠陥の電子状態:第一原理計算による検討2020

    • 著者名/発表者名
      渡邊駿汰、中山隆史
    • 学会等名
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 遷移金属酸化物中の酸素空孔の拡散と分布の理論的検討2020

    • 著者名/発表者名
      笈川拓也、長澤立樹、中山隆史
    • 学会等名
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 不純物を持つ Si-p/n接合におけるトンネル電流:3次元計算による検討2020

    • 著者名/発表者名
      趙祥勲、中山隆史
    • 学会等名
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 帯電が誘起する強誘電直方晶 HfO2薄膜の安定性:第一原理計算による検討2020

    • 著者名/発表者名
      新井千慧、白石悠人、洗平昌晃、白石賢二、中山隆史
    • 学会等名
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [備考] 中山ナノサイエンス研究室HP

    • URL

      http://phys8.s.chiba-u.ac.jp/nakayamal/index.html

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
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      加藤, 森, 飯塚, 中山隆史, 趙, 加藤
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      特許
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      2021
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      2021 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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