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ガラス内金属ナノ析出物の形状・位置制御とその工学的応用

研究課題

研究課題/領域番号 20K04190
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関千葉大学

研究代表者

松坂 壮太  千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (30334171)

研究分担者 森田 昇  千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (30239660)
比田井 洋史  千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (60313334)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2021年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2020年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード固体イオン交換 / ガラス / 銀 / ナノワイヤ / 析出 / 形状制御 / 成長方向制御 / 内部配線 / 金属ナノ析出物
研究開始時の研究の概要

本研究は,ガラス中での金属イオンの移動現象を利用して,ガラス内部に直径数百nm程度の金属ナノワイヤを析出させる手法に関するものである.本手法で創製されるガラス/金属ナノ複合材料は,新規かつ特異な構造を有しているが,その析出機構には未解明な点も多い.本研究では,ガラス中での金属ナノワイヤの析出・成長機構を実験的・理論的に明らかにすることによって,形状や位置の制御手法を確立し,工学的応用を図る.

研究成果の概要

本研究は,事前に固体イオン交換法によって金属イオン(主に銀)を添加したガラスに対して,添加面側に電子を供給することでイオン添加領域内部に金属析出物を形成した.まず,析出物の形状や成長方向をリアルタイムで拡大観察可能な実験系を構築した.その結果として得られた電圧印加時間と析出面積の関係は,ガラス中のイオン添加/析出/未添加領域を等価回路に置き換えて導出したモデルで良く表現できることが分かった.さらに,レーザ局所加熱や亀裂の導入といった方法を用いることによって,析出物の成長方向や形状を制御できる可能性を示した.また,析出物の多層化やガラスの異方性エッチングの新手法を提案した.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本手法で創製されるガラス/金属複合材料は,絶縁性の高いガラスに導電性の高い金属析出物が埋設されるという新規かつ特異な構造を有しており,ガラスの内部から析出物を晶出させるという点で,学術的・工業的に高い新規性を有している.このような析出物は,「ガラス内部微細配線」等の革新的技術への応用が期待され,本研究課題では,レーザ局所加熱や亀裂の導入といった方法を用いることによって,析出物の成長方向や形状を制御できる可能性を示している.また析出物の多層化手法も提案しており,ガラス内への3次元自在配線の実現に貢献できるものと考える.

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] In-situ Observation and Evaluation of Silver Precipitation Behavior in Borosilicate Glass2023

    • 著者名/発表者名
      Miyuka Kono, Hirofumi Kawamura, Souta Matsusaka, Sho Itoh, Hirofumi Hidai
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 82 ページ: 212-218

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2023.03.016

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fine hole drilling of alkali-containing silicate glass substrate using preferential penetration of etchants around silver precipitates2022

    • 著者名/発表者名
      Kawamura Hirofumi、Okuda Riku、Matsusaka Souta、Nomoto Kentaro、Kodaka Hiroki、Hidai Hirofumi、Chiba Akira、Morita Noboru
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 76 ページ: 141-148

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2022.03.017

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 銀イオンとナトリウムイオンの交互添加によるガラス内銀析出物の二層化2021

    • 著者名/発表者名
      大西皓介,川村拓史,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
    • 雑誌名

      精密工学会誌(Accepted)

      巻: -

    • NAID

      130008062368

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Evaluation of silver precipitation phenomena in glass2022

    • 著者名/発表者名
      Miyuka Kono, Hirofumi Kawamura, Souta Matsusaka, Sho Itoh, Hirofumi Hidai
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022 in Nara)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ガラス内銀析出物の形状に対する印加電圧の影響2022

    • 著者名/発表者名
      河野美優香,川村拓史,松坂壮太,伊東翔,比田井洋史
    • 学会等名
      日本機械学会 第14回生産加工・工作機械部門講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 固体イオン交換法によってガラスに添加された銀イオンの横方向への広がり抑制2022

    • 著者名/発表者名
      奥田陸,川村拓史,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 電圧印加を併用した固体イオン交換法によるガラス内銀析出現象および新たなガラス加工手法の提案2021

    • 著者名/発表者名
      川村拓史,大西皓介,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
    • 学会等名
      日本機械学会2021年度年次大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Improvement in HF etching rate of borosilicate glass by dissolving internal silver precipitates2021

    • 著者名/発表者名
      Souta Matsusaka, Hirofumi Kawamura, Kentaro Nomoto, Hiroki Kodaka, Hirofumi Hidai, Akira Chiba, Noboru Morita,
    • 学会等名
      International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS (Themec 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 銀イオンとナトリウムイオンの交互添加によるガラス内電気伝導路の二層化2021

    • 著者名/発表者名
      大西皓介,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ガラス内銀析出挙動における電極形状と試験雰囲気の影響2021

    • 著者名/発表者名
      立元雄也,松坂壮太,比田井洋史,千葉明,森田昇
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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