| 研究課題/領域番号 |
20K04199
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 東京電機大学 |
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研究代表者 |
古谷 涼秋 東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
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| 研究分担者 |
小崎 美勇 日本工業大学, 基幹工学部, 准教授 (80550590)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2021年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2020年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | レーザ干渉 / 再帰鏡 / 空間変調素子 / 偏光 / LCD / 三辺測量 / レーザー干渉計 / 三次元位置座標 / 運動誤差測定 / 三次元位置測定 / 三次元座標測定 / 透過型液晶デバイス / 座標測定 / 角度測定 / 干渉計測 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では，複数の拡散レーザー光の中に設置したボールレンズの位置座標を三辺測量の原理で測定ができることを確認する。ボールレンズと光源の間に空間変調素子を挿入することによって，干渉信号のON/OFFが可能であり，干渉信号のON/OFFで測定が可能な物体の移動限界速度を計測する。拡散レーザー光の中の複数のボールレンズからの反射光の干渉信号による物体の姿勢測定を行う。最後に，空間変調素子のON/OFFによる複数のボールレンズの位置座標測定を行う。
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| 研究成果の概要 |
空間変調素子とボールレンズアレイを組み合わせ，ボールレンズが光を再帰反射する性質を使って，光路を変更可能な干渉計を構築した．ボールレンズの選択によって，3方向の並進運動及びピッチング角，ローリング角の測定が可能であることを示した．
1/4波長板とボールレンズを一体として，直線偏光した光源を使った干渉計を構築した．この干渉計では，光源とボールレンズ間で多重反射することを利用して，光軸方向の変位と光軸周りの回転角の検出が可能であることを示した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
一般的に光波干渉計の構築は困難である．しかし，本研究では拡散したレーザー光の中に，空間変調素子とボールレンズを配置することによって，容易に干渉計を構築することができる．このとき，6自由度の中から必要な測定項目を空間変調素子の切替で選択することができる．
直動ステージは，精密測定及び精密加工の基礎技術である．本研究により，直動ステージの運動精度の測定が可能となったので，精密測定及び精密加工の精度向上に貢献できる．
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