| 研究課題/領域番号 |
20K04518
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21030:計測工学関連
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
金 蓮花 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (40384656)
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| 研究分担者 |
近藤 英一 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (70304871)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2021年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2020年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | ミュラー行列顕微鏡 / エリプソ顕微鏡 / 反射型イメージング光学系 / 空間分解能 / 裏面反射 / エリプソメトリー顕微鏡 / 反射・透過モード計測 / ミューラー行列 / 顕微鏡 / 解像度 / 物質判定 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では，非接触で微細構造と材料物性を同時に観察評価できる“斜め照射・斜め観測”用「ミューラー行列顕微鏡」の創製を目的とする．顕微鏡の創製では，顕微鏡のハードウェア部分の開発，解析ツールの開発，装置の高性能化を行う．本研究では極限2次元測定・物性評価の例として半導体集積回路微細構造評価をまず対象とし，さらに他分野（例えば薬学分野）への展開も図る．
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| 研究成果の概要 |
本研究では，非接触で微細構造と材料物性を同時に観察評価できる“斜め照射・斜め観測”用「ミューラー行列顕微鏡」の創製を目的とし，顕微鏡装置の設計・製作，ミューラー行列像から物性・構造解析を行う解析ツールの開発，顕微鏡の応用を行った．具体的には，ダブル球面鏡を用いた結像系の導入を行い，イメージング光学系の色収差ゼロを実現した．解析ツールとしては，顕微鏡の透過・反射両モードにより得られるエリプソメトリーパラメータを用いた解析方法を新たに提案した．エリプソメトリーの面計測における空間分解能定義について提案した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で設計・開発したイメージング光学系により，一般の光学系に存在する収差の波長依存性問題を解決できた．また，本研究で提案した解析ツールは，これまでのエリプソメトリーにおける計測・データ解析時間を短縮することに繋がった．
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