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窒化物半導体を用いた励起子効果発光デバイスの実現可能性の検討

研究課題

研究課題/領域番号 20K04585
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関徳山工業高等専門学校

研究代表者

室谷 英彰  徳山工業高等専門学校, 情報電子工学科, 教授 (20612906)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2021年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2020年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード窒化物半導体 / 励起子 / 誘導放出 / レーザー発振 / 内部量子効率 / AlGaN / レーザー / 深紫外 / レート方程式 / 励起子効果 / 励起子多体効果
研究開始時の研究の概要

半導体中において,電子と正孔はクーロン相互作用によって互いに束縛された励起子状態を形成する。また,励起子の密度が高くなると励起子分子の形成や励起子-励起子散乱といった複数の励起子が関与した励起子多体効果が顕著となる。励起子の発光遷移過程や励起子多体効果に基づく発光遷移過程は,高い遷移確率を有していることや、光学利得が期待できるため、これらの過程を利用することでデバイス性能の向上が見込まれる。本研究の目的は,窒化物半導体において励起子効果に基づいた発光過程を動作原理とした発光デバイスの実現に向けたデバイス構造の設計指針を示すことである。

研究成果の概要

本研究では、窒化物半導体量子井戸構造において励起子効果を利用した発光デバイスの実現可能性を検討するために、励起子光物性評価を行った。AlGaN系量子井戸構造において内部量子効率の温度および励起パワー密度依存性を測定した。得られた内部量子効率の励起密度依存性は励起子の再結合過程に基づいた速度方程式モデルによって説明できることが分かった。このことは、AlGaN系量子井戸構造において発光機構に励起子の光学遷移過程が関与していることを示している。さらに、AlGaN系量子井戸構造において、室温において励起子の光学遷移過程が関与した誘導放出が発現することを示し、光励起によるレーザー発振を観測した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

半導体においてキャリア(電子と正孔)が励起されると,電子と正孔はクーロン相互作用によって互いに束縛された励起子状態となる。励起子の発光過程や励起子多体効果に基づく光学遷移過程は,高い遷移確率を有していることや、光学利得の生成が期待できるため、この過程を利用することで発光デバイスの性能向上が見込まれる。室温においても励起子が安定に存在し得る半導体材料として、窒化物系半導体があげられる。窒化物半導体は赤外線領域から深紫外線領域で発光可能な材料であり、窒化物半導体によって励起子効果を利用した発光デバイスを実現することで、発光デバイスの性能を著しく向上させることができると期待される。

報告書

(5件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 9件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (34件) (うち国際学会 8件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Temperature‐ and Excitation Power Density‐Resolved Photoluminescence of AlGaN‐Based Multiple Quantum Wells Emitting in the Spectral Range of 220?260?nm2024

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Inai Kosuke、Himeno Kunio、Tani Kaichi、Hayashi Hiromasa、Kurai Satoshi、Okada Narihito、Uesugi Kenjiro、Miyake Hideto、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 2024 号: 11 ページ: 24000211-6

    • DOI

      10.1002/pssb.202400021

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photoluminescence Excitation Spectroscopy of Stimulated Emission from AlGaN‐Based Multiple Quantum Wells with an Emission Wavelength Around 280?nm2024

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Himeno Kunio、Ohkawara Hayate、Tani Kaichi、Kurai Satoshi、Okada Narihito、Maeda Noritoshi、Khan Muhammad Ajmal、Hirayama Hideki、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 2024 号: 11 ページ: 24000201-5

    • DOI

      10.1002/pssb.202400020

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of GaN cap layer thickness on photoexcited carrier density in green luminescent InGaN multiple quantum wells2023

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Nakatsuru Keigo、Kurai Satoshi、Okada Narihito、Yano Yoshiki、Koseki Shuichi、Piao Guanxi、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 3 ページ: 031001-031001

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acc4fd

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 深紫外発光AlGaNの励起子光物性2022

    • 著者名/発表者名
      室谷 英彰、山田 陽一、平山 秀樹
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 91 号: 7 ページ: 416-420

    • DOI

      10.11470/oubutsu.91.7_416

    • ISSN
      0369-8009, 2188-2290
    • 年月日
      2022-07-01
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Excitonic optical properties of deep-UV luminescent AlGaN2022

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Murotani、Yoichi Yamada、Hideki Hirayama
    • 雑誌名

      JSAP Review

      巻: 2022 号: 0 ページ: n/a

    • DOI

      10.11470/jsaprev.220405

    • ISSN
      2437-0061
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extremely high internal quantum efficiency of AlGaN-based quantum wells on face-to-face annealed sputter-deposited AlN templates2021

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Fujii Atsushi、Oshimura Ryota、Kusaba Takafumi、Uesugi Kenjiro、Miyake Hideto、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 12 ページ: 122004-122004

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac3802

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of internal quantum efficiency and stimulated emission characteristics in AlGaN-based multiple quantum wells2021

    • 著者名/発表者名
      Yamada Yoichi、Murotani Hideaki、Maeda Noritoshi、Khan M. Ajmal、Jo Masafumi、Hirayama Hideki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 12 ページ: 120503-120503

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac3025

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High internal quantum efficiency and optically pumped stimulated emission in AlGaN-based UV-C multiple quantum wells2020

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Tanabe Ryohei、Hisanaga Keisuke、Hamada Akira、Beppu Kanta、Maeda Noritoshi、Khan M. Ajmal、Jo Masafumi、Hirayama Hideki、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 号: 16 ページ: 162106-162106

    • DOI

      10.1063/5.0027697

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Correlation between excitons recombination dynamics and internal quantum efficiency of AlGaN-based UV-A multiple quantum wells2020

    • 著者名/発表者名
      Murotani Hideaki、Miyoshi Hiroyuki、Takeda Ryohei、Nakao Hiroki、Ajmal Khan M.、Maeda Noritoshi、Jo Masafumi、Hirayama Hideki、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 128 号: 10 ページ: 105704-105704

    • DOI

      10.1063/5.0015554

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 220 nm発光帯AlGaN量子井戸構造における偏光特性の温度依存性2024

    • 著者名/発表者名
      稲井滉介, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Photoluminescence spectroscopy of stimulated emission from AlGaN-based UV-C multiple quantum wells2023

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, K. Himeno, H. Ohkawara, K. Tani, S. Kurai, N. Okada, N. Maeda, M. Ajmal Kahan, H. Hirayama, Y. Yamada
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature dependence of efficiency curves in AlGaN-based MQWs with emission wavelengths from 220 to 260 nm2023

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, K. Inai, K. Himeno, K. Tani, H. Hayashi, S. Kurai, N. Okada, K. Uesugi, H. Miyake, Y. Yamada
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 220~260 nm発光帯AlGaN量子井戸構造における効率曲線の温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      稲井滉介, 姫野邦夫, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 活性層選択励起下における230 nm発光帯AlGaN系量子井戸構造の内部量子効率評価2023

    • 著者名/発表者名
      辻啓人, 姫野邦夫, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡,岡田成仁,前田哲利,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 230 nm発光AlGaN量子井戸構造における偏光特性の温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      姫野邦夫, 稲井滉介, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Effects of GaN-cap layer thickness on luminescence properties of green luminescent InGaN-based Multiple Quantum Wells2022

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, K. Nakatsuru, S. Kurai, N. Okada, Y. Yano, S. Koseki, G. Piao, Y. Yamada
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High Temperature Stimulated Emission From AlGaN UV-C Multiple Quantum Wells2022

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, A. Hamada, T. Fukuda, S. Kurai, N. Okada, N. Maeda, M. Ajmal Khan, M. Jo, H. Hirayama, Y. Yamada
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 230 nm発光帯AlGaN系量子井戸構造の内部量子効率2022

    • 著者名/発表者名
      姫野邦夫, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 前田哲利, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN量子井戸構造における光励起誘導放出の励起波長依存性2022

    • 著者名/発表者名
      姫野邦夫, 中生拓希, 大河原颯, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, M. Ajmal Khan, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN量子井戸構造における深紫外誘導放出特性の励起波長依存性2022

    • 著者名/発表者名
      大河原颯, 姫野邦夫, 中生拓希, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, M. Ajmal Khan, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      2022年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 緑色InGaN 量子井戸構造における内部量子効率の励起波長依存性2022

    • 著者名/発表者名
      服部竜吾, 中津留圭吾, 姫野邦夫, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 矢野良樹, 小関修一, 朴冠錫, 山田陽一
    • 学会等名
      2022年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] High internal quantum efficiency of AlGaN UV-C MQWs on Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN templates2022

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, Y. Yamada
    • 学会等名
      The 5th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] AlGaN系UV-C多重量子井戸構造の高温誘導放出特性2022

    • 著者名/発表者名
      濱田晟,福田拓矢,倉井聡,岡田成仁,室谷英彰,前田哲利,M. Ajmal Khan,定昌史,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系量子井戸構造における発光波長の励起波長依存性2022

    • 著者名/発表者名
      中津留圭悟,倉井聡,岡田成仁,室谷英彰,矢野良樹,小関修一,朴冠錫,山田陽一
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 緑色InGaN系量子井戸構造における内部量子効率の励起波長依存性2021

    • 著者名/発表者名
      中津留圭悟,南里翼,倉井聡,岡田成仁,只友一行,室谷英彰,矢野良樹,小関修一,松本功,山田陽一
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 深紫外発光AlGaN量子井戸構造における強励起側の発光効率曲線解析2021

    • 著者名/発表者名
      中生拓希,姫野邦夫,武田亮平,倉井聡,岡田成仁,室谷英彰,M. Ajmal Khan,前田哲利,定昌史,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 励起子レート方程式モデルを用いたUV-B帯AlGaN量子井戸構造の発光ダイナミクス2021

    • 著者名/発表者名
      姫野邦夫,中生拓希,武田椋平,倉井聡,岡田成仁,室谷英彰,M. Ajmal Khan,前田哲利,定昌史,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 異なるAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造の内部量子効率2021

    • 著者名/発表者名
      押村遼太,稲井滉介,草場崇史,藤井厚志,倉井聡,岡田成仁,室谷英彰,上杉謙次郎,三宅秀人,山田陽一
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN系量子井戸構造における励起子の安定性解析2021

    • 著者名/発表者名
      牛見友祐,永安悠人,久保僚太朗,室谷英彰
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系量子井戸構造における励起子レート方程式モデルによる内部量子効率の解析2021

    • 著者名/発表者名
      久保僚太朗,永安悠人,牛見友祐,室谷英彰,山田陽一
    • 学会等名
      2021年度応用物理・物理系学会合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Exciton recombination dynamics and internal quantum efficiency of AlGaN-based UV-A multiple quantum wells2021

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, H. Miyoshi, R. Takeda, H. Nakao, M. Ajmal Khan, N. Maeda, M. Jo, H. Hirayama, Y. Yamada
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Excitonic stimulated emission from AlGaN-based multiple quantum wells2021

    • 著者名/発表者名
      A. Hamada, R. Tanabe, K. Hisanaga, K. Beppu, H. Murotani, N. Maeda, M. Ajmal Khan, M. Jo, H. Hirayama, Y. Yamada
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Optically-pumped excitonic lasing in AlGaN-based UV-C MQWs2021

    • 著者名/発表者名
      H. Murotani, H. Hirayama, Y. Yamada
    • 学会等名
      Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics by Singularity
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] AlGaN系UV-C多重量子井戸構造における誘導放出のしきい励起パワー密度の温度依存性2021

    • 著者名/発表者名
      濱田晟,福田拓矢,倉井聡,室谷英彰,前田哲利,M. Ajmal Khan,定昌史,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Face-to-faceアニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN系多重量子井戸構造の内部量子効率2021

    • 著者名/発表者名
      藤井厚志,押村遼太,草場崇史,倉井聡,室谷英彰,上杉謙次郎,三宅秀人,山田陽一
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN系UV-C多重量子井戸構造の内部量子効率と励起子系誘導放出特性2020

    • 著者名/発表者名
      室谷英彰,田邊凌平,久永桂典,濱田晟,別府寛太,前田哲利,M. Ajmal Khan,定昌史,平山秀樹,山田陽一
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会「窒化物半導体光・電デバイス、材料、関連技術、及び一般」
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN量子井戸構造における励起子の発光・非発光ダイナミクスと深紫外誘導放出2020

    • 著者名/発表者名
      室谷英彰,山田陽一
    • 学会等名
      応用物理学会応用電子物性分科会研究例会「紫外材料・デバイス開発の最前線~物性の理解とデバイス開発~」
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] AlGaN系UV-A多重量子井戸構造における内部量子効率と励起子の輻射再結合ダイナミクスの励起強度依存性2020

    • 著者名/発表者名
      室谷英彰, 三好博之, 武田椋平, 中尾拓希, 倉井聡, M. Ajmal Khan, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      第81応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] AlGaN系UV-C多重量子井戸構造における室温誘導放出と縦共振器モードの観測2020

    • 著者名/発表者名
      田邊凌平, 濱田昂, 別府寛太, 倉井聡, 室谷英彰, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      第81応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系量子井戸構造における励起子レート方程式モデルによる内部量子効率の励起密度依存性の解析2020

    • 著者名/発表者名
      岡村悠司, 室谷英彰
    • 学会等名
      2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 緑色InGaN量子井戸構造における発光効率曲線解析と輻射・非輻射再結合ダイナミクスの相関2020

    • 著者名/発表者名
      中津留圭悟, 橋口勇樹, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 只友一行, 矢野良樹, 小関修一, 松本功, 山田陽一
    • 学会等名
      2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] UV-A帯AlGaN量子井戸構造における内部量子効率と輻射・非輻射再結合寿命ダイナミクス2020

    • 著者名/発表者名
      中生拓希, 三好博之, 武田椋平, 室谷英彰, 倉井聡, M. Ajmal Khan, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 山田陽一
    • 学会等名
      2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 高温アニールした微傾斜サファイア基板上スパッタ成膜AlNテンプレートに成長されたAlGaN多重量子井戸の内部量子効率評価2020

    • 著者名/発表者名
      押村遼太, 藤井厚志, 中谷文哉, 倉井聡, 室谷英彰, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • 学会等名
      2020年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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