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ホイスラー合金巨大磁気抵抗センサにおける低磁歪・低磁気ノイズの実現

研究課題

研究課題/領域番号 20K04588
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

中谷 友也  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 磁性・スピントロニクス材料研究拠点, 主任研究員 (60782646)

研究分担者 遠藤 恭  東北大学, 工学研究科, 教授 (50335379)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2021年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2020年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード磁気センサ / 磁気抵抗 / 磁性材料 / ノイズ / トンネル磁気抵抗 / 巨大磁気抵抗 / ホイスラー合金 / 磁歪 / 磁気ダンピング / 磁気記録 / 軟磁性材料
研究開始時の研究の概要

ハードディスクの再生ヘッドなど、ナノスケールの磁気センサの高感度化のためには、面直電流巨大磁気抵抗素子の高性能化が重要である。過去の研究により、強磁性材料としてホイスラー合金を用いることで、高い磁気抵抗比(センサの出力)が実現されてきたが、再生ヘッドの実現には、磁歪(磁気弾性効果)の制御と磁気ノイズの抑制が不可欠である。本研究では、磁歪と磁気ダンピング定数(磁気ノイズに直結)を決定する材料要素、すなわち合金組成と結晶構造についての系統的な調査を実施する。

研究成果の概要

ハードディスクの再生ヘッドや超微弱な磁場検出用途など、極限的な磁気センサの実現のため、磁歪と磁気ノイズの小さな強磁性材料の開発をおこなった。再生ヘッド用途では、Co2(Mn,Fe)Geホイスラー合金における磁歪と磁気ダンピング、磁気抵抗の点から合金組成を最適化し、磁気センサの用途では、軟磁気特性と低ノイズを両立したアモルファス強磁性薄膜とセンサ素子を開発し、1/fノイズ抑制のための交流磁場変調の効果を詳細に調査した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

高性能な磁気センサは磁気記録、車載・産業用途から、医療・健康に関わるさまざまな分野に必要である。本研究では、磁気記録用再生ヘッドと、生体磁気計測を目指した超高感度磁気センサを出口にターゲットとして、磁気抵抗素子の出力・感度の増大とノイズの低減を実現するための強磁性薄膜材料を開発した。またノイズ低減法として期待される交流磁界変調法の、センサのノイズ特性に与える効果を解明し、今後の磁気センサ研究の方向性を与えた。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (13件)

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件) 図書 (1件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] Tunnel magnetoresistance sensors with symmetric resistance-field response and noise properties under AC magnetic field modulation2022

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Nakatani, Hirofumi Suto, Prabhanjan D. Kulkarni, Hitoshi Iwasaki, and Yuya Sakuraba
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 121 号: 19 ページ: 192406-192406

    • DOI

      10.1063/5.0119677

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tunnel magnetoresistance sensors with dual soft-pinned free layers exhibiting highly symmetric resistance-field response curves2022

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Nakatani, and Hitoshi Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 132 ページ: 223904-223904

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of (Ni0.8Fe0.2)100-xCrx seed layer on microstructure, magnetic properties, and giant magnetoresistance of [FeCoNi/Cu] multilayer films2021

    • 著者名/発表者名
      P.D. Kulkarni, T. Nakatani, T. Sasaki, and Y. Sakuraba
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 129 号: 21 ページ: 213901-213901

    • DOI

      10.1063/5.0054264

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thickness dependence of degree of B2 order of polycrystalline Co2(Mn0.6Fe0.4)Ge Heusler alloy measured by anomalous X-ray diffraction and its impacts on current-perpendicular-to-plane giant magnetoresistance properties2020

    • 著者名/発表者名
      T. Nakatani, S. K. Narayananellore, L. S. R. Kumara, H. Tajiri, Y. Sakuraba, K. Hono
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 189 ページ: 63-66

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2020.08.002

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Noise characteristics of tunnel magnetoresistance sensors under AC modulation field2023

    • 著者名/発表者名
      中谷友也、首藤浩文、Prabhanjan D. Kulkarni、岩崎仁志、桜庭裕弥
    • 学会等名
      2023年応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] AC magnetic field modulation on tunnel magnetoresistance sensors with even-function resistance-field response2023

    • 著者名/発表者名
      中谷友也、首藤浩文、Prabhanjan D. Kulkarni、岩崎仁志、桜庭裕弥
    • 学会等名
      Intermag 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] FeCoNi/Cu多層膜GMRにおけるNiFeCr下地層組成の効果2022

    • 著者名/発表者名
      Prabhanjan D. Kulkarni,中谷友也,Zehao Li, 佐々木泰祐,桜庭裕弥
    • 学会等名
      第46回 日本磁気学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] HDD再生ヘッド技術の将来展望2022

    • 著者名/発表者名
      中谷友也
    • 学会等名
      日本磁気学会 第8回 岩崎コンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] The compositional dependence of NiFeCr seed layer on giant magnetoresistance of [FeCoNi/Cu] multilayers2022

    • 著者名/発表者名
      P. D. Kulkarni, T. Nakatani, Y. Sakuraba
    • 学会等名
      15th Joint MMM-Intermag Conference
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [図書] スピントロニクスハンドブック2023

    • 著者名/発表者名
      中谷友也
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      (株)エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      9784860438425
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [産業財産権] 磁気センサ2022

    • 発明者名
      クルカルニ プラバンジャン ディリプ、岩崎仁志、中谷友也
    • 権利者名
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2022-065484
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [産業財産権] 磁気接合、TMR素子、TMR素子アレイ、及びこれらを用いた磁気センサ、並びにこれらを用いたリニアエンコーダ用磁気センサ又は磁気式ロータリーエンコーダ2022

    • 発明者名
      中谷友也、岩崎仁志
    • 権利者名
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2022-127029
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [産業財産権] TMR素子を用いた磁気センサ、並びにこれを用いたリニアエンコーダ用 磁気センサ又は磁気式ロータリーエンコーダ2022

    • 発明者名
      岩崎仁志、中谷友也
    • 権利者名
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2022-204231
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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