| 研究課題/領域番号 |
20K05066
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分26010:金属材料物性関連
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| 研究機関 | 愛知工業大学 |
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研究代表者 |
坂 公恭 愛知工業大学, 総合技術研究所, 教授 (90023267)
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| 研究分担者 |
岩田 博之 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20261034)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2025-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2024年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2023年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2022年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2021年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2020年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | レーザ / ボイド / Si / プラズマ / レーザ照射 / シリコン / 雰囲気 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
レーザ照射によりSi中に発生するボイドの形成機構を解明するため、透過型電子顕微鏡を駆使して、レーザ照射誘起領域(ボイドを含む）を詳細に観察する。また、レーザ照射前後の質量の超精密測定を行い、質量保存則が破綻していないか確認する。これらの結果を総合して、ボイド形成の機構の解明に資す。
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| 研究実績の概要 |
透過性赤外線レーザを照射することによりSi内部に発生するボイドの形成機構を解明するため、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡を駆使して、ボイド周辺の欠陥組織を詳細に観察した。その結果、レーザ焦点部はプラズマ化し、プラズマを構成する電子はボイドより離脱するのに対して、Siの陽電子は、レーザ入射の逆方向に沿って移動したものは電子と再結合して最終的には格子間原子に戻るが、レーザの入射方向に沿って移動したものは急冷されるため電子との再結合は起きず、Siの陽電子のままでとどまる。これをフレンケル対の巨大version(Giant pseudo Frenkel pair:GpFP)と名付けた。この成果は、overviewとして内外に公表した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
1: 当初の計画以上に進展している
理由
GpFRの存在を発見したことは大きな成果である。これは、当初の計画をはるかに超えたものといえる。
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| 今後の研究の推進方策 |
ボイドの形成機構は解明したが、ボイドの周辺にはSi以外の金属が析出することを発見した。これが外部からの汚染なのか、あるいは内部での核変換かを解明したい。もし後者であれば大発見というべきである。今年度は最終年度に当たるので、これに全力投球する予定である。
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