| 研究課題/領域番号 |
20K05289
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分28050:ナノマイクロシステム関連
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| 研究機関 | 大阪公立大学 (2022)
大阪府立大学 (2020-2021) |
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研究代表者 |
笹子 勝 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 (40727145)
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| 研究分担者 |
平井 義彦 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 (50285300)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2021年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2020年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | フォトリソグラフィ / ３次元結像 / 一括露光 / ３次元リソグラフィ / 位相振幅 / フォトマスク / ３次元構造 / 3次元リソグラフィ / シードパターン / デザインルール / 最適化 / 三次元 / マスク / 複素振幅 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
高度なバイオチップなどに求められる立体的で複雑な三次元のマイクロ構造の作製には、従来のマイクロ加工技術では逐次構造を作製する必要があり、必ずしも効率的ではありません。
本研究では、光を任意の形状に三次元的に結像させ、感光性樹脂を露光することにより、三次元構造を効率よく作製する新しい方法を開発するものです。
光を三次元的に結像させるために、光の位相を局所的に変化させて光の進路を自在に制御する光透過板(ビルトインレンズマスク)の最適な設計方法の開発と、その効果を確かめるための実験を行い、三次元結像効果を検証します。
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| 研究実績の概要 |
３次元リソグラフィ用のマスの最適設計を行う計算機システムを開発し，これを応用したマスクの試作と，試作したマスクを用いて，３次元構造の露光実験に着手した．
試行実験により，レジストの厚膜塗布の均一性，現像時のパターン倒れなどの課題を確認した．このうち，現像時のパターン倒れについては，表面張力を抑制する従来の超臨界現像方式を参考に，現像液の流動と抑制した専用の低表面張力現像機を作製した．，これにより，表面張力と流動によるパターン倒れなどの欠陥が抑制できた．
これと並行して，露光実験を行い，これまでに３次元ピラミッドフレーム状構造，傾斜梁構造などの３次元構造の空間結像性について評価をおこなった．ビラミッドフレームについては，これまでの先行実験での結果を，別形状で検証できた．一方，傾斜梁構については，現像時のパターン倒れにより，一部の構造が形成できている状態に留まった．
これらの実験結果より，一括露光による３次元空間での結像の確認と，表面張力によるパターン崩れなどの今後の課題が抽出と，解決策の一部が検証できた．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
感染状況による実験遂行時間の減少と，表面張力現象によるマイクロ構造のスティッキング状態の解決に，専用現像機の作製などに時間を要したため．
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| 今後の研究の推進方策 |
これまでの研究で明らかになった課題を解決し，３次元結像の検証に向けて，実験とその解析を進める
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