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帯電ミスト成膜法による結晶Si/ペロブスカイト3接合素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号 20K05318
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
研究機関埼玉大学

研究代表者

白井 肇  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (30206271)

研究分担者 花尻 達郎  東洋大学, 理工学部, 教授 (30266994)
石川 良  埼玉大学, 理工学研究科, 助教 (90708778)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2021年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2020年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワードペロブスカイト薄膜 / 結晶Si系太陽電池 / 中間電極 / 半透明太陽電池 / 正孔輸送層 / SnO2電子輸送層 / ミストCVD / シリコン太陽電池 / ペロブスカイト太陽電池 / タンデム構造素子 / 開放電圧 / 金属酸化膜 / 3接合素子 / MoO3/IZO積層構造 / 多接合太陽電池 / 結晶Si / ペロブスカイト / モノリシック多接合素子 / 表面処理 / 3接合素子 / モノリシック接合 / ペロブスカイト薄膜太陽電池 / モノリシック型多接合太陽電池 / ミスト成膜法 / PEDOT:PSS
研究開始時の研究の概要

先行研究で開発した結晶Si/PEDOT:PSSヘテロ接合太陽電池を下部素子、FAPbIxBr3-xペロブスカイト薄膜太陽電池を上部素子としたタンデム素子構造を発展させて、3接合素子の作製プロセスを確立する。具体的には、1)ミスト成膜法によりFAPbIxBr3-x系太陽電池においてI/Br組成比xによるバンドギャップ制御、2)異なるバンドギャップに対する太陽電池の作製と評価、3)ペロブスカイト薄膜のタンデム構造素子の高効率化を検討しつつ、4)結晶Si/PEDOT:PSS下部素子上に3)のペロブスカイト系タンデム構造素子を接合することで、3接合素子の設計により開放電圧2.5~3Vを目標とする。

研究成果の概要

MoO3/Au/IZO構造を利用してPSC系2接合およびN-Si/PSC/PSC 3接合素子作製を試みた。開放電圧VocはSi/PSC2接合素子で1.7Vまで増大したがJscは<20 mA/cm2に低減し、効率は3-4%であった。更にSi/PEDOT:PSS/FA0.9Cs0.1PbI3 2接合素子上にMoO3/IZOを中間電極および窓材として半透明FA0.9Cs0.1PbI1-zBrz素子を試作した。その結果効率: 3-4 % (Jsc:5 mA/cm2, Voc: 1.7 V、FF: 0.4)を得た。MoO3/IZO積層構造が2、3接合素子の中間電極・上部素子の窓材として適用可能である。

研究成果の学術的意義や社会的意義

現在ペロブスカイト系薄膜太陽電池は塗布プロセスで高効率が実現されていることから異なるバンドギャップを有する太陽電池の他接合化による高電圧、高効率化が精力的に研究されている。その際中間電極および上部半透明素子の窓層に有望な部材探索およびプロセス技術の開発が必須となる。既存のスピンコート法に対して溶液原料からの気相成長法を利用してMoO3/IZOなどの透明電極および窓層の成膜技術は下地膜への損傷フリーな成膜技術として期待される。またMoO3/IZO積層構造は各種多接合素子の中間電極・窓層としての応用が期待される。

報告書

(5件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (42件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (12件) (うち国際共著 8件、 査読あり 11件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (29件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Solution-processed monolithic tandem perovskite/n-Si hybrid solar cells efficient MoO3/InZnO bilayer-based interconnecting and window layers2023

    • 著者名/発表者名
      Ryuichi UKai, Yoko Wasai, Yuki Izumi, Hajime Shirai
    • 雑誌名

      Crystals

      巻: 68 号: 1 ページ: 11-11

    • DOI

      10.3390/cryst14010068

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Influence of Effective Mass on Carrier Concentration for PEDOT:PSS and S-PEDOT Thin Films Studied by Ellipsometry and Hall Measurement2023

    • 著者名/発表者名
      R. Sato, Y. Wasai, Y. Izumi, K. Ueno, and H. Shirai
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry C

      巻: 127 号: 27 ページ: 13196-13206

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.3c01497

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Carrier Transport Properties in Few-Layer WS0.3Se1.7/(WOx)WS0.3Se1.7 Lateral p+/n Junctions Using a Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) Structure2023

    • 著者名/発表者名
      Kuddus Abdul、Yokoyama Kojun、Fan Wenbo、Ueno Keiji、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 5 号: 3 ページ: 1546-1557

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c01598

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Direct synthesis of submillimeter-sized few-layer WS2 and WS0.3Se1.7 by mist chemical vapor deposition and its application to complementary MOS inverter2022

    • 著者名/発表者名
      Kuddus Abdul、Yokoyama Kojun、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 37 号: 9 ページ: 095020-095020

    • DOI

      10.1088/1361-6641/ac84fb

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Mesh Bias Controlled Synthesis of TiO2 and Al0.74Ti0.26O3 Thin Films by Mist Chemical Vapor Deposition and Applications as Gate Dielectric Layers for Field-Effect Transistors2022

    • 著者名/発表者名
      Yokoyama Kojun、Kuddus Abdul、Hossain Md Faruk、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 4 号: 5 ページ: 2516-2524

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c00286

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Mist chemical vapor deposition of Al1-xTixOy thin films and their application to a high dielectric material2022

    • 著者名/発表者名
      Rajib Arifuzzaman、Kuddus Abdul、Yokoyama Kojun、Shida Tomohiro、Ueno Keiji、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 131 号: 10 ページ: 105301-105301

    • DOI

      10.1063/5.0073719

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Resolution capability of resist patterns and throughput using alkaline treatment under ultrasonic irradiation2022

    • 著者名/発表者名
      Onishi Hideto、Miyake Mikio、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 2 ページ: 021002-021002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac3ef6

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mist chemical vapor deposition of crystalline MoS2 atomic layer films using sequential mist supply mode and its application in field-effect transistors2022

    • 著者名/発表者名
      Kuddus Abdul、Rajib Arifuzzaman、Yokoyama Kojun、Shida Tomohiro、Ueno Keiji、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 33 号: 4 ページ: 045601-045601

    • DOI

      10.1088/1361-6528/ac30f4

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of AlOx thin films by atmospheric-pressure mist chemical vapor deposition for surface passivation and electrical insulator layers2021

    • 著者名/発表者名
      Rajib Arifuzzaman、Enamul Karim Md、Kurosu Shunji、Ukai Tomofumi、Tokuda Masahide、Fujii Yasuhiko、Hanajiri Tatsuro、Ishikawa Ryo、Ueno Keiji、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 38 号: 3 ページ: 033413-033413

    • DOI

      10.1116/1.5143273

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] AlOx Thin Films Synthesized by Mist Chemical Vapor Deposition, Monitored by a Fast-Scanning Mobility Particle Analyzer, and Applied as a Gate Insulating Layer in the Field-Effect Transistors2021

    • 著者名/発表者名
      Rajib Arifuzzaman、Kuddus Abdul、Shida Tomohiro、Ueno Keiji、Shirai Hajime
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 3 号: 2 ページ: 658-667

    • DOI

      10.1021/acsaelm.0c00758

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of CdS and In3Se4 BSF layers on the photovoltaic performance of PEDOT:PSS/n-Si solar cells: Simulation based on experimental data2021

    • 著者名/発表者名
      Mondal Bipanko Kumar、Mostaque Shaikh Khaled、Rashid Md. Abdur、Kuddus Abdul、Shirai Hajime、Hossain Jaker
    • 雑誌名

      Superlattices and Microstructures

      巻: 152 ページ: 106853-106853

    • DOI

      10.1016/j.spmi.2021.106853

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of thermally annealed atomic-layer-deposited AlOx/chemical tunnel oxide stack layer at the PEDOT:PSS/n-type Si interface to improve its junction quality2020

    • 著者名/発表者名
      Karim Md. Enamul, Nasuno Yuki, Kuddus Abdul, Ukai Tomofumi, Kurosu Shunji, Tokuda Masahide, Fujii Yasuhiko, Hanajiri Tatsuro, Ishikawa Ryo, Ueno Keiji, and Shirai Hajime
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 128 号: 4 ページ: 045305-045305

    • DOI

      10.1063/5.0007918

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書 2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] ミストCVD法によるアモルファスTiO2膜のLIB負極材料および固体電解質への応用2024

    • 著者名/発表者名
      福島響生、白井肇、曽根宏隆、栗原英紀、大野俊典、渡邊拓哉
    • 学会等名
      第71回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication Processes and Evaluation Methods for Thin-Film Solar Cells: From Principles and Fundamentals to Applications and Practice2023

    • 著者名/発表者名
      Hajime Shirai, Ryo Ishikawa
    • 学会等名
      The 30th International Workshop on Active-Matrix Flat Panel Display and Devices
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] MPEDOT:PSS/n-Si接合を下部素子としたFACsPbI3ペロブスカイト系モノリシック2接合太陽電池の作製2023

    • 著者名/発表者名
      鵜飼隆一、石川良、白井肇
    • 学会等名
      第84回秋季応用物理学学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 分光エリプソメトリーによるPEDOT:PSS, SELFTRON膜のキャリア濃度評価2023

    • 著者名/発表者名
      佐藤亮汰、和才容子、泉悠樹、石川良、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 導電性高分子SELFTRON/Si接合太陽電池2023

    • 著者名/発表者名
      藤亮汰、伊達仁基、石川良、上野啓司、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 四重極質量分析法によるTi(acac)2(OiPr)2ミスト診断2023

    • 著者名/発表者名
      横山工純、白井肇
    • 学会等名
      第84回秋季応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] PEDOT:PSS/n-Si接合を下部素子としたF0.9Cs01PbI3ペロブスカイト系モノリシック2接合太陽電池の作製2023

    • 著者名/発表者名
      鵜飼隆一、石川良、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 分光エリプソメトリーによるPEDOT:PSS, SELFTRON膜のキャリヤ濃度評価2023

    • 著者名/発表者名
      佐藤亮汰、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 導電性高分子SELFTRON/n-Si接合太陽電池2023

    • 著者名/発表者名
      佐藤亮汰、伊達仁基、石川良、上野啓司、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] ミストCVD法によるAtiO2, AOx合金薄膜及び積層膜の作製2023

    • 著者名/発表者名
      横山工純、范文博、白井肇
    • 学会等名
      第70回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Mist-CVD法によるTi(acac2)OiPr2ミスト挙動2022

    • 著者名/発表者名
      横山工純、Abdul Kuddus, 白井肇
    • 学会等名
      第83回秋季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Mist-CVD法によるTiO2膜のマイクロキャビティ内へのコンフォーマル形成2022

    • 著者名/発表者名
      横山工純、Abdul Kuddus, 白井肇
    • 学会等名
      第69回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 分光エリプソメトリーによるミストCVD法で作製したCu2O膜の評価2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤亮汰、白井肇
    • 学会等名
      第69回春季応用物理学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis of Two-Dimensional Transition-Metal Dichalcogenides by Mist Chemical Vapor Deposition for Field-Effect Transistors2022

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, and H. Shirai
    • 学会等名
      6th World Congress on Nanomaterials
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Carrier transport in 2D WS2-xSex FETs2022

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, R. Kizaki, K. Yokoyama, and H. Shirai
    • 学会等名
      第69回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ミストCVD法によるTiO2膜のマイクロキャビティ内へのコンフォーマル形成2022

    • 著者名/発表者名
      横山工純、Abdul Kuddus、白井肇
    • 学会等名
      第69回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] PEDOT:PSS/2D WS2-xSex /n-Si Heterojunction Solar Cells2022

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, R. Kizaki, K. Yokoyama, and H. Shirai
    • 学会等名
      第69回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Digitalized Mist-Chemical Vapor Deposition of atomic-layer Molybdenum Disulfide (MoS2) Flakes at Low Temperatures2021

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, A. Rajib, K. Shimomura, K. Yokoyama, K. Ueno, H. Shirai
    • 学会等名
      第68回春季応用物理学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis of 2D MoS2 and WS1-xSex thin films by Mist-CVD2021

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, A. Rajib, R. Kizaki, K. Yokoyama, K. Ueno, H. Shirai
    • 学会等名
      第68回秋季応用物理学学術学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Mist Chemical Vapor Deposition of Crystalline MoS22021

    • 著者名/発表者名
      A. Kuddus, A. Rajib, R. Kizaki, K. Yokoyama, K. Ueno, H. Shirai
    • 学会等名
      International Conference and Expo on Catalysis, Chemical Engineering and Technology
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] フルオロフェニルリン酸添加による ペロブスカイト太陽電池の高性能化2021

    • 著者名/発表者名
      石川良、上野啓司、白井肇
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Mist-CVD法によるAlOx,TIO2成膜におけるメッシュバイアス印加の効果2021

    • 著者名/発表者名
      横山工純、Arifuzzaman Rajib、Abdul Kuddus、志田知洋、上野啓司、白井肇
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis of Aluminum Titanium oxide thin films by a mist chemical vapor deposition and their potential as High-K dielectric materia2021

    • 著者名/発表者名
      K. Yokoyama, A. Rajib, A. Kuddus, T. Shida, K. Ueno, and H. Shirai
    • 学会等名
      International Conference and Expo on Catalysis, Chemical Engineering and Technology
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Al1-xTixOy Thin Films Synthesized by Mist-CVD and Applied as a Gate Insulating Layer2021

    • 著者名/発表者名
      A. Rajib, A. Kuddus, T. Shida, K. Yokoyama, K. Ueno, and H. Shirai
    • 学会等名
      The 68th JSAP Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] The role of water in the synthesis of AlOx thin films by a mist chemical vapor deposition2021

    • 著者名/発表者名
      A. Rajib, A. Kuddus, K. Enamul, S. Kurosu, T. Ukai, M. Tokuda, Y. Fujii, T. Hanajiri, R. Ishikawa, K. Ueno, and H. Shirai
    • 学会等名
      The 67th JSAP Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ペロブスカイト n-Si/PEDOT:PSS タンデム型太陽電池に向けた SnO2ナノ粒子溶液の合成と評価2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Nasuno,R. Ishikawa, and H. Shirai
    • 学会等名
      The 68th JSAP Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Mist-CVD of AlOx thin films monitored by fast scanning mobility particle analyzer and its application to FETs2020

    • 著者名/発表者名
      A. Rajib, A. Kuddus, T. Shida, K. Ueno, and H. Shirai
    • 学会等名
      The 30th Materials Research Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis of AlOx thin films by mist-CVD and its application to dielectric layer for MOS-FET2020

    • 著者名/発表者名
      A. Rajib, T. Shida, A. Kuddus, K. Ueno, and H. Shirai
    • 学会等名
      The 51st The Society of Chemical Engineers SCEJ Autumn Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Effect of the tunnel oxide/AlOx stacked hole-selective contacts on the junction properties at PEDOT:PSS/n-type Si interface2020

    • 著者名/発表者名
      Md E. Karim, A. Rajib, Y. Nasuno, T. Ukai, S. Kurosu, M. Tokuda, Y. Fujii, T. Hanajiri, R. Ishikawa, K. Ueno, H. Shirai
    • 学会等名
      The 67th JSAP Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [図書] 自己偏析を活用したペロブスカイト太陽電池の高性能化2022

    • 著者名/発表者名
      石川良、白井肇
    • 総ページ数
      8
    • 出版者
      日本オプトメカトロ二クス協会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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