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超音速分子線と放射光リアルタイム光電子分光によるシリコン表面酸化反応の理解と制御

研究課題

研究課題/領域番号 20K05338
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
研究機関国立研究開発法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

吉越 章隆  国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 原子力科学研究所 物質科学研究センター, 研究主幹 (00283490)

研究分担者 冨永 亜希  国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 原子力科学研究所 物質科学研究センター, 技術・技能職 (50590551)
津田 泰孝  国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 原子力科学研究所 物質科学研究センター, 博士研究員 (50869394)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2021年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2020年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードシリコン / 表面酸化 / 酸素 / 吸着反応 / その場観察 / 放射光 / 光電子分光 / 表面反応ダイナミクス / 放射光分析 / ガス雰囲気 / Si表面 / 酸化 / 酸素および酸化剤 / 放射光軟X線分光 / リアルタイム観察 / シリコン酸化 / 吸着状態
研究開始時の研究の概要

スマートフォンなどの情報通信機器に使われるようなトランジスター中のシリコン絶縁膜には、原子数層の高品質な酸化膜が必要であり、酸化反応の原子レベルの理解と制御(ナノテク)が必要である。本研究では、超音速酸素分子線と放射光表面分析によって、気体酸素分子によるシリコン表面酸化の理解と制御を実現する。具体的には、表面に衝突する酸素分子の並進エネルギーによる酸化物の違いをSPring-8の軟X線光電子分光および吸収分光によって詳細に捉える。酸素分子の並進エネルギーによって吸着反応パスを変えることで効率的に酸化膜を形成あるいは熱反応では不可能な新規酸化膜を活性化障壁を乗り越えることで実現することを目指す。

研究成果の概要

情報通信機器の基本素子である電界効果型トランジスターのシリコン(Si)酸化絶縁膜は原子数層になっていることから、本研究では、放射光光電子分光と超音速酸素分子線を使った原子レベルの酸化反応の理解と制御に取り組んだ。酸化速度や酸化価数の温度、圧力、不純物(n,p)依存性や表面吸着状態および界面歪と電子状態の関係、放出Si原子と生成する欠陥が反応サイトとしてどのように機能するのかを調べた。また、分子状吸着酸素を並進エネルギーで制御し欠陥サイトにおける反応を調べた。開発した実験手法を他の反応系へ応用し、それぞれの差異を通じて酸化反応の理解を深めた。効率的な酸化膜形成に必要なプロセス条件の探索を進めた。

研究成果の学術的意義や社会的意義

スマートフォンなどの情報通信機器は社会基盤の一つとなり、今後、IoTやAIを活用したSociety5.0社会の実現には、さらなる小型、高性能かつ省電力動作可能な半導体デバイスが必須となる。電界効果型トランジスターは演算処理や記録を担う基本素子として重要であり、その中ではシリコン酸化絶縁膜が使われている。微細化が進みその膜厚は原子数層になっており、さらなる高性能化には原子レベルの酸化反応の理解と制御が必須である。本研究は、放射光表面分析を使ってシリコン表面の酸化反応メカニズムの解明を目指した。半導体産業の重要性がアフターコロナ以降に露わとなったが、本研究は半導体基礎研究としての貢献も期待できる。

報告書

(5件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (89件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (32件) (うち国際共著 4件、 査読あり 30件、 オープンアクセス 9件) 学会発表 (57件) (うち招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Characterization of nitrided SiC(1-100) MOS structures by means of electrical measurements and X-ray photoelectron spectroscopy2024

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Takuma、Suzuki Asato、Nakanuma Takato、Sometani Mitsuru、Okamoto Mitsuo、Yoshigoe Akitaka、Shimura Takayoshi、Watanabe Heiji
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 175 ページ: 108251-108251

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2024.108251

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] CH3Cl Dissociation, CH3 abstraction, and Cl adsorption from the dissociative scattering of supersonic CH3Cl on Cu(111) and Cu(410)2024

    • 著者名/発表者名
      Makino Takamasa、Tsuda Yasutaka、Yoshigoe Akitaka、Dino Wilson Agerico、Okada Michio
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 642 ページ: 158568-158568

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2023.158568

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Formation of high-quality SiO2/GaN interfaces with suppressed Ga-oxide interlayer via sputter deposition of SiO22023

    • 著者名/発表者名
      Onishi Kentaro、Kobayashi Takuma、Mizobata Hidetoshi、Nozaki Mikito、Yoshigoe Akitaka、Shimura Takayoshi、Watanabe Heiji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 5 ページ: 050903-050903

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acd1ca

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Work function lowering of LaB6 by monolayer hexagonal boron nitride coating for improved photo- and thermionic-cathodes2023

    • 著者名/発表者名
      Hisato Yamaguchi , Ryunosuke Yusa , Gaoxue Wang , Michael T. Pettes , Fangze Liu , Yasutaka Tsuda , Akitaka Yoshigoe , Tadashi Abukawa , Nathan A. Moody , Shuichi Ogawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 122 号: 14 ページ: 141901-141901

    • DOI

      10.1063/5.0142591

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] 極低濃度HF水溶液を用いた陽極酸化により作製したSi基板上酸化膜の原子結合状態2023

    • 著者名/発表者名
      新井太貴、吉越章隆、本橋光也
    • 雑誌名

      材料の科学と工学

      巻: 5 ページ: 153-158

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 超高真空材料プロセス研究のためのガス精密制御の自動化―表面反応の放射光リアルタイム観察への応用―2023

    • 著者名/発表者名
      中村孝史、山本幸男、荒川正和、丸山晃生、吉越章隆
    • 雑誌名

      産業応用工学会論文誌

      巻: 2 ページ: 109-114

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 超音速酸素分子線を用いたアナターゼ型TiO<sub>2</sub>(001)表面の酸素欠損の修復2022

    • 著者名/発表者名
      勝部大樹,大野真也,稲見栄一,吉越章隆,阿部真之
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 65 号: 11 ページ: 526-530

    • DOI

      10.1380/vss.65.526

    • ISSN
      2433-5835, 2433-5843
    • 年月日
      2022-11-10
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Observation of Chemisorbed O<sub>2</sub> Molecule at SiO<sub>2</sub>/Si(001) Interface During Si Dry Oxidation2022

    • 著者名/発表者名
      Yasutaka Tsuda, Akitaka Yoshigoe, Shuichi Ogawa, Tetsuya Sakamoto and Yuji Takakuwa
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 21 号: 1 ページ: 30-39

    • DOI

      10.1380/ejssnt.2023-005

    • ISSN
      1348-0391
    • 年月日
      2022-11-05
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Roles of excess minority carrier recombination and chemisorbed O2 species at SiO2/Si interfaces in Si dry oxidation: Comparison between p-Si(001) and n-Si(001) surfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Yasutaka Tsuda, Akitaka Yoshigoe, Shuichi Ogawa, Tetsuya Sakamoto, Yoshiki Yamamoto, Yukio Yamamoto, Yuji Takakuwa
    • 雑誌名

      Journal of Chemical Physics.

      巻: 1257 号: 23 ページ: 234705-234705

    • DOI

      10.1063/5.0109558

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantitative Evaluation of Doped Potassium Concentrations in Stacked Tow-Layer Graphene using X-Ray Photoelectron Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Shuichi Ogawa, Yasutaka Tsuda, Tetsuya Sakamoto, Yuki Okigawa, Tomoaki Masuzawa, Akitaka Yoshigoe, Tadashi Abukawa, Takatoshi Yamada
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 605 ページ: 154748-154748

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.154748

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical properties and energy band alignment of SiO2/GaN metal-oxide-semiconductor structures fabricated on N-polar GaN(000-1) substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Hidetoshi Mizobata, Kazuki Tomigahara, Mikito Nozaki, Takuma Kobayashi, Akitaka Yoshigoe, Takuji Hosoi, Takayoshi Shimura, and Heiji Watanabe
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 121 号: 6 ページ: 062104-062104

    • DOI

      10.1063/5.0095468

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact of post-nitridation annealing in CO2 ambient on threshold voltage stability in 4H-SiC metal-oxide-semiconductor field-effect transistors2022

    • 著者名/発表者名
      Takuji Hosoi, Momoe Ohsako, Kidist Moges, Koji Ito, Tsunenobu Kimoto, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Akitaka Yoshigoe, Takayoshi Shimura, Heiji Watanabe
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 15 号: 6 ページ: 061003-061003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac6f42

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact of nitridation on the reliability of 4H-SiC(11-20) MOS devices2022

    • 著者名/発表者名
      T. Nakanuma, T. Kobayashi, T. Hosoi, M. Sometani, M. Okamoto, A. Yoshigoe, T. Shimura and H. Watanabe
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 15 号: 4 ページ: 041002-041002

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac5ace

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 時空間分割角度分解AP-XPS法による多層積層薄膜界面の深さ方向解析2022

    • 著者名/発表者名
      豊田智史, 吉村真史, 住田弘祐, 三根生晋, 町田雅武, 吉越章隆, 吉川彰, 鈴木哲, 横山和司
    • 雑誌名

      放射光

      巻: 35 ページ: 200-206

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [雑誌論文] 表面反応観察における大気圧光電子分光の現状,利用研究と展望2022

    • 著者名/発表者名
      髙桑雄二, 小川修一, 吉越 章隆
    • 雑誌名

      放射光

      巻: 35 ページ: 158-171

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [雑誌論文] High reactivity of H2O vapor on GaN surfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Sumiya Masatomo、Sumita Masato、Tsuda Yasutaka、Sakamoto Tetsuya、Sang Liwen、Harada Yoshitomo、Yoshigoe Akitaka
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials

      巻: 23 号: 1 ページ: 189-198

    • DOI

      10.1080/14686996.2022.2052180

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comprehensive physical and electrical characterizations of NO nitrided SiO2/4H-SiC(1120) interfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Nakanuma Takato、Iwakata Yu、Watanabe Arisa、Hosoi Takuji、Kobayashi Takuma、Sometani Mitsuru、Okamoto Mitsuo、Yoshigoe Akitaka、Shimura Takayoshi、Watanabe Heiji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SC ページ: SC1065-SC1065

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac4685

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxidation Mechanisms of Hafnium Overlayers Deposited on an Si(111) Substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Kakiuchi Takuhiro、Matoba Tomoki、Koyama Daisuke、Yamamoto Yuki、Yoshigoe Akitaka
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 38 号: 8 ページ: 2642-2650

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.1c02711

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hydrogen absorption and diffusion behaviors in cube-shaped palladium nanoparticles revealed by ambient-pressure X-ray photoelectron spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Tang Jiayi、Seo Okkyun、Rocabado David S. Rivera、Koitaya Takanori、Yamamoto Susumu、Nanba Yusuke、Song Chulho、Kim Jaemyung、Yoshigoe Akitaka、Koyama Michihisa、Dekura Shun、Kobayashi Hirokazu、Kitagawa Hiroshi、Sakata Osami、Matsuda Iwao、Yoshinobu Jun
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 587 ページ: 152797-152797

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.152797

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] 遷移金属表面の酸化過程のリアルタイム光電子分光観察2021

    • 著者名/発表者名
      OGAWA Shuichi、ZHANG Bingruo、YOSHIGOE Akitaka、TAKAKUWA Yuji
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 64 号: 5 ページ: 218-223

    • DOI

      10.1380/vss.64.218

    • NAID

      130008036890

    • ISSN
      2433-5835, 2433-5843
    • 年月日
      2021-05-10
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] X線光電子分光における時空間計測/解析技術の開発~NAP-HARPESから4D-XPSへ~2021

    • 著者名/発表者名
      TOYODA Satoshi、YAMAMOTO Tomoki、YOSHIMURA Masashi、SUMIDA Hirosuke、MINEOI Susumu、MACHIDA Masatake、YOSHIGOE Akitaka、SUZUKI Satoru、YOKOYAMA Kazushi、OHASHI Yuji、KUROSAWA Shunsuke、KAMADA Kei、SATO Hiroki、YAMAJI Akihiro、YOSHINO Masao、HANADA Takashi、YOKOTA Yuui、YOSHIKAWA Akira
    • 雑誌名

      表面と真空

      巻: 64 号: 2 ページ: 86-91

    • DOI

      10.1380/vss.64.86

    • NAID

      130007985448

    • ISSN
      2433-5835, 2433-5843
    • 年月日
      2021-02-10
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Oxidation of Anatase TiO<sub>2</sub>(001) Surface Using Supersonic Seeded Oxygen Molecular Beam2021

    • 著者名/発表者名
      Katsube Daiki、Ohno Shinya、Takayanagi Shuhei、Ojima Shoki、Maeda Motoyasu、Origuchi Naoki、Ogawa Arata、Ikeda Natsuki、Aoyagi Yoshihide、Kabutoya Yuito、Kyungmin Kim、Linfeng Hou、Fengxuan Li、Tsuda Yasutaka、Yoshida Hikaru、Nishi Shizuka、Sakamoto Tetsuya、Inami Eiichi、Yoshigoe Akitaka、Abe Masayuki
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 37 号: 42 ページ: 12313-12317

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.1c01752

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Revisit of XPS Studies of Supersonic O2 Molecular Adsorption on Cu(111): Copper Oxides2021

    • 著者名/発表者名
      Hayashida Koki、Tsuda Yasutaka、Yamada Takashi、Yoshigoe Akitaka、Okada Michio
    • 雑誌名

      ACS Omega

      巻: 6 号: 40 ページ: 26814-26820

    • DOI

      10.1021/acsomega.1c04663

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Interface atom mobility and charge transfer effects on CuO and Cu2O formation on Cu3Pd(111) and Cu3Pt(111)2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsuda, J. S. Gueriba, T. Makino, W. A. Dino, A. Yoshigoe, M. Okada
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 11 号: 1 ページ: 3906-3906

    • DOI

      10.1038/s41598-021-82180-w

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface segregation effect for prevention of oxidation in Ni‐X (X=Sn, Sb) alloy by in situ photoelectron spectroscopy2020

    • 著者名/発表者名
      T. Doi, A. Yoshigoe
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 52 号: 12 ページ: 1117-1121

    • DOI

      10.1002/sia.6802

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dynamic observation and theoretical analysis of initial O2 molecule adsorption on polar and m-plane surfaces of GaN2020

    • 著者名/発表者名
      M. Sumiya, M. Sumita, Y. Asai, R. Tamura, A. Uedono, A. Yoshigoe
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry C

      巻: 124 号: 46 ページ: 25282-25290

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.0c07151

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Precise chemical state analyses of ultrathin hafnium films deposited on clean Si(111)-7×7 surface using high-resolution core-level photoelectron spectroscopy2020

    • 著者名/発表者名
      T. Kakiuchi, T. Matoba, D. Koyama, Y. Yamamoto, D. Kato, A. Yoshigoe
    • 雑誌名

      Surface Science

      巻: 701 ページ: 121691-121691

    • DOI

      10.1016/j.susc.2020.121691

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] H2 production from methane decomposition by fullerene at low temperature2020

    • 著者名/発表者名
      T. Tokunaga, K. Kuno, T. Kawakami, T. Yamamoto, A. Yoshigoe
    • 雑誌名

      International Journal of Hydrogen Energy

      巻: 45 号: 28 ページ: 14347-14353

    • DOI

      10.1016/j.ijhydene.2020.03.178

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      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gas barrier properties of chemical vapor-deposited graphene to oxygen imparted with sub-electronvolt kinetic energy2020

    • 著者名/発表者名
      S. Ogawa, H. Yamaguchi, E. F. Holby, T. Yamada, A. Yoshigoe, Y. Takakuwa
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry Letters

      巻: 11 号: 21 ページ: 9159-9164

    • DOI

      10.1021/acs.jpclett.0c02112

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      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Evaluation and mitigation of reactive ion etching-induced damage in AlGaN/GaN MOS structures fabricated by low-power inductively coupled plasma2020

    • 著者名/発表者名
      M. Nozaki, D. Terashima, A. Yoshigoe, T. Hosoi, T. Shimura, H. Watanabe
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SM ページ: SMMA07-SMMA07

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8f0e

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      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Roles of strain and carrier in silicon oxidation2020

    • 著者名/発表者名
      Ogawa Shuichi、YOSHIGOE Akitaka、Tang Jiayi、Sekihata Yuki、Takakuwa Yuji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SM ページ: SM0801-SM0801

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab82a9

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Synchrotron radiation photoelectron spectroscopy study on oxides formed at Ge(100)2×1 surface in atmosphere2020

    • 著者名/発表者名
      A. Yoshigoe
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SM ページ: SMMB05-SMMB05

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8f0b

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Siドライ酸化におけるSiO2/Si界面での過剰少数キャリア再結合と化学吸着O2種の役割2024

    • 著者名/発表者名
      津田泰孝、吉越章隆、小川修一、坂本徹也、山本善貴、山本幸男、髙桑雄二
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] m面GaN薄膜の表面処理による化学結合状態とCV特性変化2024

    • 著者名/発表者名
      角谷正友、津田康孝、隅田真人、中野由崇、吉越章隆
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 炭素プラズマによるカーボンナノウォールの高速合成2024

    • 著者名/発表者名
      金田美優、森みなみ、髙橋勝國、深田幸正、吉井賢資、福田竜生、吉越章隆、小畠雅明、池田直、狩野旬、藤井達生
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] DOSモデルに代わる新たなSi(001)表面酸化モデルの提案2024

    • 著者名/発表者名
      古西 浩志、津田 泰孝、吉越章隆、高桑雄二、小川修一
    • 学会等名
      日本表面真空学会東北・北海道支部 令和5年度学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] XPS スペクトルのNoise2Noiseデノイジングによる多層積層薄膜界面の高精度時空間深さ方向可視化2024

    • 著者名/発表者名
      豊田 智史、吉村 真史、住田弘祐、三根生晋、吉越章隆、鈴木哲、横山和司、箕輪卓哉、小椋厚志、町田雅武
    • 学会等名
      第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会(EDIT29)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Si表面酸化における酸化誘起点欠陥発生の役割の研究2023

    • 著者名/発表者名
      古西 浩志、津田 泰孝、吉越章隆、高桑雄二、小川修一
    • 学会等名
      第56回(令和5年度)日本大学生産工学部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマによるグラフェンの化学構造制御2023

    • 著者名/発表者名
      福田旺土、鷹林将、田中修斗、内藤陽大、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆
    • 学会等名
      第50回炭素材料学会年会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマによるグラフェンの構造制御(II)~光電子分光解析~2023

    • 著者名/発表者名
      田中修斗、福田旺土、内藤陽大、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆、鷹林将
    • 学会等名
      2023年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマによるグラフェンの構造制御(I)~ラマン分光解析~2023

    • 著者名/発表者名
      内藤陽大、田中修斗、福田旺土、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆、鷹林将
    • 学会等名
      2023年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Real-time observation of oxidation process on GaN surfaces by x-ray photoelectron spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Masatomo Sumiya, Yasutaka Tsuda, Masato Sumita, and Akitaka Yoshigoe
    • 学会等名
      14th International Conference on Nitride Semiconductors 2023 (ICNS-14)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Work Function Changes by 2D Material coatings on LaB62023

    • 著者名/発表者名
      Shuichi Ogawa、Ryunosuke Yusa、Gaoxue Wang、Michael T. Pettes、Fangze Liu、Yasutaka Tsuda、Akitaka Yoshigoe、Tadashi Abukawa、Nathan A. Moody、Hisato Yamaguchi
    • 学会等名
      TACT2023 International Thin Films Conference
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of activation and deterioration mechanism of Ti-Zr-V NEG coating by XPS2023

    • 著者名/発表者名
      Junichiro Kamiya、Kazuhide Abe、Masaaki Kobata、Yasutaka Tsuda、Tatsuo Fukuda、Shinichi Fujimori、Yuko Morohashi、Ippei Yamada、Akitaka Yoshigoe
    • 学会等名
      Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science 2023 (JVSS2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Effects of the ultra-high vacuum heating on oxidized germanene2023

    • 著者名/発表者名
      Seiya Suzuki、Daiki Katsube、Masahiro Yano、Masataka Tsuda、Tomo-o Terasawa、Hidehito Asaoka、Junji Yuhara、Akitaka Yoshigoe
    • 学会等名
      Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science 2023 (JVSS2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Chemical structure of graphene treated by photoemission-assisted Townsend discharge plasma2023

    • 著者名/発表者名
      Susumu Takabayashi、Akito Fukuda、Shuto Tanaka、Haruhiro Naito、Hisato Yamaguchi、Shuichi Ogawa、Yuji Takakuwa、Yasutaka Tsuda、Akitaka Yoshigoe
    • 学会等名
      Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science 2023 (JVSS2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Modification of Graphene by Photoemission-assisted Townsend Discharge Plasma2023

    • 著者名/発表者名
      Akito Fukuda、Haruhiro Naito、Shuto Tanaka、Hisato Yamaguchi、Shuichi Ogawa、Yuji Takakuwa、Yasutaka Tsuda、Akitaka Yoshigoe、Susumu Takabayashi
    • 学会等名
      International Symposium on Innovative Engineering 2023 (ISIE2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマによるグラフェン改質(I)~ラマン分光解析~2023

    • 著者名/発表者名
      福田旺土、鷹林将、内藤陽大、田中修斗、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマによるグラフェン改質(II)~光電子分光解析~2023

    • 著者名/発表者名
      鷹林将、福田旺土、内藤陽大、田中修斗、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 偏析ゲルマネン上へのGe薄膜の追加蒸着とアニールの効果2023

    • 著者名/発表者名
      鈴木誠也、寺澤知潮、勝部大樹、矢野雅大、津田泰孝、柚原淳司、吉越章隆、朝岡秀人
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ハフニウムが吸着したSi(111)基板の局所/全域で進行する酸化反応機構-Hfの蒸着量に依存した表面界面酸化状態の違い-2023

    • 著者名/発表者名
      垣内拓大、津田泰孝、吉越章隆
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Ag薄膜上のゲルマネン合成プロセスのその場Raman散乱分光2023

    • 著者名/発表者名
      寺澤知潮、鈴木誠也、勝部大樹、矢野雅大、津田泰孝、吉越章隆、朝岡秀人
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 2次元材料被覆によるLaB6仕事関数変化のPEEM観察2023

    • 著者名/発表者名
      小川修一、遊佐龍之介、G. Wang、M. T. Pettes、F. Liu、津田泰孝、吉越章隆、虻川匡司、N. A. Moody、H. Yamaguchi
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 超音速分子線を用いたCu3Pd(111)表面上でのエチレン分子反応2023

    • 著者名/発表者名
      安藤雅晃、村瀬菜摘、津田泰孝、山田剛司、吉越章隆、岡田美智雄
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 炭素プラズマによるカーボンナノウォールの高速合成2023

    • 著者名/発表者名
      金田美優、森みなみ、髙橋勝國、深田幸正、吉井賢資、吉越章隆、小畠雅明、池田直、狩野旬、藤井達生
    • 学会等名
      日本物理学会第78回年次大会(2023年)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Oxidation Mechanism of Si Surface Anodized with Extremely Diluted HF Solution2023

    • 著者名/発表者名
      Taiki ARAI、Yangmuyi QIAO、Toshiaki SUZUKI、Akitaka YOSHIGOE、Mitsuya MOTOHASHI
    • 学会等名
      8th Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology (JKMST2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 光電子制御タウンゼント放電によるグラフェンの活性化2023

    • 著者名/発表者名
      福田旺土、鷹林将、山口尚登、小川修一、高桑雄二、津田泰孝、吉越章隆
    • 学会等名
      令和5年度日本表面真空学会九州支部学術講演会(九州表面・真空研究会)「新奇な薄膜・表面現象とその応用の最前線」
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Si マイクロ・ナノロールを含む陽極酸化膜の構造評価2023

    • 著者名/発表者名
      新井太貴、喬楊木易、鈴木俊明、吉越章隆、丹羽雅昭、本橋光也
    • 学会等名
      2023 年度一般社団法人日本材料科学会学術講演大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 基板の表面状態がSi マイクロ・ナノロールの形状に及ぼす影響2023

    • 著者名/発表者名
      喬楊木易,新井太貴,鈴木俊明,吉越章隆, 丹羽雅昭,本橋光也
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] アナターゼ型TiO2(001)表面への超音速NO分子線の照射2023

    • 著者名/発表者名
      勝部大樹,大野真也,金庚民,津田泰孝,稲見栄一,吉越章隆,阿部真之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 光電子制御プラズマ処理によるグラフェンの修飾2023

    • 著者名/発表者名
      鷹林将, 福田旺土, 塚嵜 琉太, 古賀永, 山口尚登, 小川修一, 高桑雄二, 津田泰孝, 吉越章隆
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] NO窒化SiC(1-100) MOSデバイスのリーク伝導機構2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木亜沙人, 中沼貴澄, 小林拓真, 染谷満, 岡本光央, 吉越章隆, 志村考功, 渡部平司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第9回講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 酸素及び水素熱処理によるスパッタ成膜SiO2/GaN MOS構造の界面特性及び絶縁性向上2022

    • 著者名/発表者名
      大西健太郎, 小林拓真, 溝端秀聡, 野﨑幹人, 吉越章隆, 志村考功, 渡部平司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第9回講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 分子状吸着O2によるSiO2/Si(001)界面酸化反応過程の分岐2022

    • 著者名/発表者名
      津田 泰孝,吉越 章隆, 小川 修一,坂本徹哉, 髙桑雄二
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 超音速酸素分子線照射による非平衡ハフニウム吸着シリコン(111)表面界面での酸化反応2022

    • 著者名/発表者名
      垣内拓大, 穴井亮太, 佐伯大殊, 津田泰孝, 吉越章隆
    • 学会等名
      第16回分子科学討論会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Nitridation-induced degradation of SiC (1-100) MOS devices2022

    • 著者名/発表者名
      Takuma Kobayashi, Takato Nakanuma, Asato Suzuki, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Akitaka Yoshigoe, Takayoshi Shimura, and Heiji Watanabe
    • 学会等名
      19th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Reliability Issues in Nitrided SiC MOS Devices2022

    • 著者名/発表者名
      Takuma Kobayashi, Takato Nakanuma, Asato Suzuki, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Akitaka Yoshigoe, Takuji Hosoi, Takayoshi Shimura, and Heiji Watanabe
    • 学会等名
      ISCSI-IX
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 放射光光電子分光を利用した固体表面反応のリアルタイム観察2022

    • 著者名/発表者名
      吉越章隆
    • 学会等名
      第58回表面分析研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] SiO2/Si(001)界面酸化におけるキャリア捕獲の実験的検証2022

    • 著者名/発表者名
      津田泰孝,小川修一,吉越章隆,冨永亜希, 坂本徹哉, 山本善貴, 山本幸男, 髙桑雄二
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 超音速分子線を照射したアナターゼ型TiO2(001)表面のX線光電子分光による評価2022

    • 著者名/発表者名
      勝部大樹, 大野真也, 高柳周平, 尾島章輝, 前田元康, 折口直紀, 小川新, 池田夏紀, 青栁良英, 甲谷唯人, Kim Kyunming, 侯林楓, 李豊, 津田泰孝, 吉田光, 西静佳, 坂本徹哉, 稲見栄一, 吉越章隆, 阿部真之
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 超音速分子線を使ったGaN表面酸化と放射光光電子分光分析2022

    • 著者名/発表者名
      角谷正友, 坂本徹哉, 津田泰孝, 隅田真人, 吉越章隆
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 4D-XPS計測ビッグデータの順逆解析シミュレーション検証2022

    • 著者名/発表者名
      豊田智史, 吉村真史, 住田弘祐, 三根生晋, 町田雅武, 吉越章隆, 吉川 彰, 鈴木哲, 横山和司
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」 (第27回研究会)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Comparison of the oxidation reaction kinetics between SiO2/n- and p-Si(001) interfaces2021

    • 著者名/発表者名
      Yasutaka Tsuda, Shuichi Ogawa, Akitaka Yoshigoe, Tetsuya Sakamoto, Yuji Takakuwa
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science (ISSS-9)~Toward Sustainable Development~
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Molecular beams study on satellite peak observed in O1s photoelectron spectra for Si(001)2×1 surface oxidation at room temperature2021

    • 著者名/発表者名
      Akitaka Yoshigoe, Yasutaka Tsuda, Aki Tominaga, Tetsuya Sakamoto, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Surface Science (ISSS-9)~Toward Sustainable Development~
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 光電子ホログラフィーを用いたSi(111)-7×7 表面の初期酸化構造解析2021

    • 著者名/発表者名
      竹内走一郎, 古賀峻丞, 田中晶貴, 孫澤旭, 津田泰孝, 小川修一, 髙桑雄二, 室隆桂之, 橋本由介, 吉越章隆, 松下智裕
    • 学会等名
      日本物理学会2021年秋季大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] SiO2/Si(001)界面のバンドベンディングへの酸素と放射光のON-OFF効果2021

    • 著者名/発表者名
      津田泰孝,小川修一,吉越章隆,坂本徹哉,髙桑雄二
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 動的 Shirley 法を用いた二層グラフェン中微量ドーパントのXPS 測定2021

    • 著者名/発表者名
      小川 修一,山田 貴壽,沖川 侑揮,増澤 智昭,津田 泰孝,吉越 章隆,虻川 匡司
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Si(001)2×1表面室温酸化に観られるO1s光電子スペクトルのサテライトピークと酸素分子の並進運動エネルギーの関係2021

    • 著者名/発表者名
      吉越 章隆, 津田 泰孝, 冨永 亜希, 坂本 徹哉, 小川 修一,髙桑 雄二
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 酸化ガス照射下でのXPSによるGaN表面化学状態の動的その場観察2021

    • 著者名/発表者名
      角谷正友, 津田泰孝, 坂本徹哉, 隅田真人, Sang Liwen, 原田善之, 冨永亜希, 吉越 章隆
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 内殻光電子分光法によるHf/Si(111)超薄膜表面界面の酸化ダイナミクス2021

    • 著者名/発表者名
      垣内拓大,的場友希,小山大輔,山本優貴,吉越章隆
    • 学会等名
      第15回分子科学討論会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 放射光光電子分光によるGe(110)表面の室温酸化過程の研究2021

    • 著者名/発表者名
      津田泰孝,坂本徹哉,吉越章隆
    • 学会等名
      第15回分子科学討論会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 放射光光電子分光を用いたGe(110)表面の酸素分子による室温酸化の研究2021

    • 著者名/発表者名
      津田泰孝,坂本徹哉,吉越章隆
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 多層積層膜に埋もれた界面反応可視化のための4D-XPS 計測データ逆解析ソフトウェア開発2021

    • 著者名/発表者名
      豊田智史、山本知樹、吉村真史、住田弘祐、三根生晋、町田雅武、吉越章隆、吉川彰、鈴木哲、横山和司
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] GaN(000-1)面上に形成したSiO2/GaN MOSキャパシタの電気特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      冨ヶ原一樹,和田悠平,溝端秀聡,野崎幹人,吉越章隆,細井卓治,志村考功,渡部平司
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ガスバリア特性評価のためのグラフェン用触媒金属膜の検討2021

    • 著者名/発表者名
      小川修一、山田貴壽、津田泰孝、吉越章隆、虻川匡司
    • 学会等名
      日本表面科学会東北北海道支部 2020年度講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ゲートスタック界面反応における時分割深さ方向分布解析法の開発:NAP-HARPES から4D-XPSへ2021

    • 著者名/発表者名
      豊田智史、山本知樹、吉村真史、住田弘祐、三根生晋、町田雅武、吉越章隆、鈴木哲、横山和司、大橋雄二、黒澤俊介、鎌田圭、佐藤浩樹、山路晃広、吉野将生、花田貴、横田有為、吉川彰
    • 学会等名
      第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・デバイス特性の物理-
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 時分割角度分解AP-XPS法による多層積層薄膜界面の時空間深さ方向分布解析2021

    • 著者名/発表者名
      豊田智史、山本知樹、吉村真史、住田弘祐、三根生晋、町田雅武、吉越章隆、吉川彰、鈴木哲、横山和司
    • 学会等名
      第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 高エネルギーO2分子ビームに対する Cu 上グラフェンのバリア性能評価2020

    • 著者名/発表者名
      小川修一,H. Yamaguchi, E. F. Holby, 山田貴壽, 吉越章隆, 高桑雄二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 4D-XPS 法による多層積層膜に埋もれた界面反応可視化の 逆解析シミュレーション検証2020

    • 著者名/発表者名
      豊田智史、山本知樹、吉村真史、住田弘祐、三根生晋、町田雅武、 吉越章隆、鈴木哲、横山和司、大橋雄、黒澤俊介、鎌田圭、 佐藤浩樹、山路晃広、吉野将生、花田貴、横田有為、吉川彰
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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