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エネルギーインプランテーションプロセスによる三次元傾斜磁気機能付与と素子応用

研究課題

研究課題/領域番号 20K12497
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分80040:量子ビーム科学関連
研究機関大阪公立大学 (2022-2023)
大阪府立大学 (2020-2021)

研究代表者

松井 利之  大阪公立大学, 国際基幹教育機構, 教授 (20219372)

研究分担者 堀 史説  大阪公立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (20275291)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2021年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2020年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード照射誘起強磁性 / クラスターイオンビーム / イオン注入 / 磁性ナノ粒子 / 磁気改質 / 高エネルギーイオンビーム / 照射効果 / XMCD / クラスターイオン
研究開始時の研究の概要

本研究は,高エネルギーマイクロイオンビームとクラスターイオンビーム照射を利用した3次元局所傾斜磁気構造構築技術を開発し,新たな動作原理を持つ磁気交換結合素子へ展開するという新規な磁気応用機能開拓を行うことを目的とする.
反強磁性-強磁性メタ磁気相転移を示すFeRh合金に対し,描画機能を持つ高エネルギーマイクロイオンビーム照射を利用したマスクレスナノスケール局所磁気構造作成技術と,クラスターイオン照射による極表面領域での深さ方向への傾斜磁気機能改質技術を融合する技術開発を行うことを目指す.

研究成果の概要

各種高エネルギーイオンビーム照射を利用した3次元局所傾斜磁気構造構築技術の開発と新たな動作原理を持つ磁気交換結合素子への展開に関する検討を行なった.加えて設計する3次元磁気構造のキャップ層等の機能を担う,複合ナノクラスター磁性材料に対する物質開発を行った.
その結果,磁性薄膜媒体の極表面領域の磁気プロファイルを深さ方向に制御する手法として,クラスターイオンビーム照射が効果的であること,並びに極表面の磁性層を安定化させる手法として,シリカ層に磁性イオンを注入することなどを見出した.これらの手法とマイクロイオンビーム技術との複合化により,3次元局所傾斜磁気構造構築技術構築の可能性が示唆された.

研究成果の学術的意義や社会的意義

物質表面に3次元磁気構造を人工的に構築する技術の開発とそれを磁気交換結合素子へ展開することにより,従前には無い磁気機能をもつ新奇なデバイスの開発が可能になると推測される.
本研究では,高エネルギーマイクロイオンビームとクラスターイオンビーム照射を利用した3次元局所傾斜磁気構造構築技術の開発を目指し,その磁気構造の構築,評価,物質開発に取り組んだ.結果として,深さ方向へポストプロセスで磁気構造を作りこむことが可能な,高エネルギークラスターイオンビーム照射の活用が,効果的であることを見出した.また,その構造評価技術として深さ方向XMCD評価とそのプロファイル解析技術に関して多様な知見を得た.

報告書

(5件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (14件) (うち国際学会 7件)

  • [雑誌論文] Structure of nanoparticles in amorphous SiO2 by sequential implantation with Co and Ag ions2024

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S.、Iwase A.、Matsui T.、Yagura R.、Yamada T.、Taguchi N.、Tanaka S.、Semboshi S.、Hori F.
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 549 ページ: 165278-165278

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2024.165278

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change in local structure and hardness in the amorphization process of Zr45Cu45Al10 alloy by heavy ion irradiation2023

    • 著者名/発表者名
      F. Hori, Y. Morikuni, H. Obayashi, A. Iwase, T. Matsui, Y. Kaneno, T. Wada, H. Kato, N. Ishikawa
    • 雑誌名

      Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

      巻: 535 ページ: 11-14

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2022.11.007

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structure and magnetic properties of Fe nanoparticles in amorphous silica implanted with Fe ions and effect of subsequent energetic heavy ion irradiation2022

    • 著者名/発表者名
      Iwase A.、Fukuda K.、Saitoh Y.、Okamoto Y.、Semboshi S.、Amekura H.、Matsui T.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 132 号: 16 ページ: 163902-163902

    • DOI

      10.1063/5.0102438

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of Embedded Nanocomposites in Solid Synthesized by Dual Ion Irradiation2022

    • 著者名/発表者名
      F. Hori, T. Yamada, Y. Morikuni, H. Obayashi, A. Iwase, T. Matsui, M. Maekawa, A. Kawasuso
    • 雑誌名

      QST Takasaki Annual Report 2020

      巻: QST-M-33 ページ: 41-41

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ag-Ni alloy nanocomposites synthesized by silver and nickel ions implantation into amorphous SiO2 glass2021

    • 著者名/発表者名
      Fuminobu Hori, Tomoko Yamada, Toshiyuki Matsui, Akihiro Iwase, Masaki Maekawa, Atsuo Kawasuso
    • 雑誌名

      Photon Factory Activity Report 2020

      巻: 1 ページ: 38-38

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Restoration of ion beam irradiation induced metastable magnetic states and lattice structures of FeRh thin films by heat treatments at elevated temperatures2020

    • 著者名/発表者名
      Iwase A.、Yoneda K.、Ishigami R.、Matsui T.
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials

      巻: 515 ページ: 167286-167286

    • DOI

      10.1016/j.jmmm.2020.167286

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] SiO2へのAgおよびCo二重イオン照射注入による生成粒子の照射順序依存性2024

    • 著者名/発表者名
      松尾駿之介, 岩瀬彰宏, 松井利之, 田口昇, 田中真悟, 千星聡, 堀史説
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Formation of metal nanocomposites in amorphous SiO2 by multiple irradiation of Ag and Co ions2023

    • 著者名/発表者名
      S.Matsuo, T.Matsui, A.Iwase, T.Yamada, S.Semboshi, N.Taguchi, S.Tanaka, F.Hori
    • 学会等名
      REI20 20th Int. Conf. on Radiation Effects in Insulators
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] The effect of implantation sequence on nanocomposite formation by Ag and Ni ions implantation into SiO22023

    • 著者名/発表者名
      T.Yamada, T.Matsui, A.Iwase, N.Taguchi, S.Tanaka, S.Semboshi, F.Hori
    • 学会等名
      REI20 20th Int. Conf. on Radiation Effects in Insulators
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] AgとCo二重イオン照射注入によるSiO2中での金属ナノ複合化2023

    • 著者名/発表者名
      松尾駿之介、岩瀬彰宏、松井利之、田口昇、田中真悟、千星聡、堀史説
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] イオンビーム照射と熱処理によるFeRhの反強磁性-強磁性転移温度の制御2023

    • 著者名/発表者名
      岩瀬彰宏, 石神龍哉, 松井利之
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 多重イオン照射によるアモルファスガラス中での金属ナノ粒子複合化制御2022

    • 著者名/発表者名
      山田智子,田口昇,田中真悟,岩瀬彰宏,松井利之,千星聡, 堀史説
    • 学会等名
      ナノ学会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Local structure and hardness change in the amorphization process of ZrCuAl alloys by heavy ion irradiation2022

    • 著者名/発表者名
      F. Hori, Y. Morikuni, H. Obayashi, A. Iwase, T. Matsui, Y. Kaneno, T. Wada, H. Kato, N. Ishikawa
    • 学会等名
      SHIM & ICACS
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Changes in microstructure and hardness of Ni-Zr alloy by heavy ion irradiatio2022

    • 著者名/発表者名
      H. Obayshi, A. Iwase, Y. Kanen T. Matsui, T. Wada, H. Kato, N. Ishikawa, F. Hori
    • 学会等名
      MRS-J
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of antiferromagnetic-ferromagnetic transition temperatures of FeRh intermetallic compound by combination of energetic ion irradiation and high temperature heat treatment2022

    • 著者名/発表者名
      A. Iwase, R. Ishigami and T. Matsui
    • 学会等名
      MRS-J
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 二重イオン照射順序制御によるSiO2固体内Ag-Niナノ構造体の微細構造変化2022

    • 著者名/発表者名
      山田智子、岩瀬彰宏、松井利之、前川雅樹、河裾厚男、千星聡、田口昇、田中慎吾、堀史説
    • 学会等名
      日本金属学会春期大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] The optical property of nanocomposites formed by Ag and Ni dual ions implantation in SiO2 glass2021

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, A. Iwase, T. Matsui, M. Maekawa, A. Kawasuso, N. Taguchi, S. Tanaka and F. Hori
    • 学会等名
      Materials Research Meeting MRM2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] SiO2ガラスへの多重イオン照射による金属ナノ粒子変形と特性2021

    • 著者名/発表者名
      SiO2ガラスへの多重イオン照射による金属ナノ粒子変形と特性
    • 学会等名
      ナノ学会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 二重イオン照射によるSiO2内 Ag-Ni複合粒子合成における微細構造の照射順序効果.2021

    • 著者名/発表者名
      山田智子、岩瀬彰宏、松井利之、前川雅樹、河裾厚男、堀史説
    • 学会等名
      日本金属学会秋期大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] アモルファスSiO2へのイオン注入制御による Ag-Ni複合粒子の微細構造2021

    • 著者名/発表者名
      山田智子
    • 学会等名
      2021年金属学会春季後援会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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