| 研究課題/領域番号 |
20K14781
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| 研究種目 |
若手研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
小区分21050:電気電子材料工学関連
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| 研究機関 | 広島商船高等専門学校 |
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研究代表者 |
酒池 耕平 広島商船高等専門学校, その他部局等, 准教授 (00740383)
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 – 2023-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2022年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2021年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2020年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | インクジェット / 金属ナノインク / レーザアニール / フレキシブル / 金属薄膜 / 電子デバイス |
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| 研究開始時の研究の概要 |
近年、金属配線を形成する方法として、非真空下でダイレクト形成が可能な金属ナノインクを用いたインクジェット描画配線技術が注目されているが、安価な銀ナノインク等の場合、低抵抗金属薄膜を得る為には配線描画後にアニール処理が必要となる。この方法では、基板全面を加熱する為、耐熱温度の低いプラスチック基板では大規模な収縮が発生することから、フレキシブルデバイスプロセスへの適応は非常に困難とされている。
本研究では、これら課題を解決できる、描画後にアニール処理が必要ない、すなわち、配線描画と同時に低抵抗金属薄膜を形成できる新技術の開発を行う。
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| 研究成果の概要 |
近年、金属配線を形成する方法として、非真空下でダイレクト形成が可能な金属ナノインクを用いたインクジェット描画配線技術が注目されているが、安価な銀ナノインク等の場合、低抵抗金属薄膜を得る為には配線描画後にアニール処理が必要となり、プラスチック基板では大規模な収縮が発生することから、フレキシブルデバイスプロセスへの適応は非常に困難とされている。この課題を解決する為には、配線描画と同時に低抵抗金属薄膜を形成できる技術開発が必要である。このような背景から、我々は、基材に着弾した直後の液滴体積に着目し、この体積分の高さを利用したレーザアニールにより、配線描画と同時に低抵抗薄膜化する技術を開発した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本提案技術の確立により、大型装置が必要となる真空一貫配線工程を非真空・低温下で実現でき、工程簡略化による低コスト生産が可能になる。フレキシブルセンサなどプラスチック基板上でのセンサ作製に応用できると考えられ、既存の技術では実現できなかった様々なフレキシブルアプリケーションを安価に実現できる可能性を秘めており、次世代 IOT 時代の幕開けが期待できる。また、インクジェット描画技術の新たな産業展開の可能性をも見出すことができ、“日本発”の革新的製造技術の確立が期待できる。
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