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多孔質材料を利用した効率的なレーザープラズマの生成と液体の高感度分析への応用

研究課題

研究課題/領域番号 20K15314
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分34020:分析化学関連
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

松本 歩  兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (30781322)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2022年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2021年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2020年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワードレーザー誘起ブレークダウン分光法 / レーザーアブレーション / 金属援用エッチング / 多孔質シリコン / 液体分析 / 蒸発乾固 / 微量分析 / プラズマ診断 / ボルツマンプロット / レーザープラズマ / 金ナノ粒子 / 金属ナノ粒子
研究開始時の研究の概要

試料の元素を「その場で」「瞬時に」同定できるレーザー誘起ブレークダウン分光法は、福島原発の廃炉現場における遠隔分析技術として期待されている。しかし、光ファイバーで伝送できるレーザー光のエネルギーに制限があるため、プラズマ生成閾値の高い液体試料を直接分析することは難しい。また、放射性物質を含む汚染水を扱うため、使用する液量を最小限に抑える必要がある。本研究では、レーザー光のエネルギーを効率良くプラズマの生成に変換できる多孔質シリコンを利用し、限られた条件下でも液体の成分を高感度に検出できる新規分析技術の開発を目指す。

研究成果の概要

極限環境における現場分析技術として、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)が期待されている。本研究では、レーザーのエネルギーを効率良くプラズマの生成に変換できる多孔質シリコン(Si)基板をLIBSに応用し、蒸発乾固法による液体の微量分析を試みた。多孔質Siを用いると、平滑Siの場合と比べて蒸発乾固物の信号強度が著しく増大するとともに、レーザー照射位置による信号のばらつきが抑制された。微量溶液中のストロンチウムの定量分析について検討した結果、決定係数0.998、検出限界0.67 ppbの検量線が得られた。また、発光スペクトルの解析により、多孔質Si上で生成するプラズマの特性を明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で見出した手法は、液量やレーザーの照射エネルギーが制限される条件でも簡便な操作で液体中の成分を検出できる。このような特長から、福島原発の廃炉現場における汚染水の遠隔分析技術として期待できる。核燃料デブリを炉内から取り出す際に滞留水の成分を把握できれば、より安全に廃炉作業をより安全に実施できると考えられる。そのほか、めっき液の管理や環境分析など、幅広い分野で応用が期待される。近年、ナノ材料と光の相互作用に関する研究が盛んに行われている。しかし、本研究のようにプラズマ生成を伴う現象を取り扱った例は少ない。本成果は、ナノ材料とレーザーの相互作用に関する新たな知見を与えるものである。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 9件、 オープンアクセス 6件) 学会発表 (34件) (うち国際学会 4件、 招待講演 9件)

  • [雑誌論文] ポーラスシリコン基板を利用したレーザー誘起ブレークダウン分光分析2023

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 島津佑輔, 八重真治
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 74 号: 4 ページ: 198-202

    • DOI

      10.4139/sfj.74.198

    • ISSN
      0915-1869, 1884-3409
    • 年月日
      2023-04-01
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Spectral characteristics of laser-induced plasma generated on porous silicon produced by metal-assisted etching2022

    • 著者名/発表者名
      Shimazu Yusuke、Matsumoto Ayumu、Hirai Sachiyo、Nakano Haruka、Suzuki Kosuke、Yae Shinji
    • 雑誌名

      Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy

      巻: 197 ページ: 106531-106531

    • DOI

      10.1016/j.sab.2022.106531

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Composite Porous Structure Formation by Platinum-Particle-Assisted Etching of a Highly-Doped p-Type Silicon: Evaluation of Charge Flow in Silicon2022

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Ayumu、Azuma Kyohei、Furukawa Kyohei、Nishinaka Rin、Yae Shinji
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 169 号: 10 ページ: 102508-102508

    • DOI

      10.1149/1945-7111/ac9931

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Sensitive Quantitative Analysis of Strontium in Microdroplet by Surface-enhanced Laser-induced Breakdown Spectroscopy Using Porous Silicon2021

    • 著者名/発表者名
      SHIMAZU Yusuke、MATSUMOTO Ayumu、NAKANO Haruka、YAE Shinji
    • 雑誌名

      Analytical Sciences

      巻: 37 号: 12 ページ: 1839-1841

    • DOI

      10.2116/analsci.21N024

    • NAID

      130008127649

    • ISSN
      0910-6340, 1348-2246
    • 年月日
      2021-12-10
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] A Review of Underwater Laser-induced Breakdown Spectroscopy of Submerged Solids2021

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Tetsuo Sakka
    • 雑誌名

      Analytical Sciences

      巻: 37 号: 8 ページ: 1061-1072

    • DOI

      10.2116/analsci.20R007

    • NAID

      130008072579

    • ISSN
      0910-6340, 1348-2246
    • 年月日
      2021-08-10
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Formation and Dissolution of Mesoporous Layer during Metal-Particle-Assisted Etching of n-Type Silicon2021

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Keishi Iwamoto, Yuki Shimada, Kyohei Furukawa, Shun Majima, Shinji Yae
    • 雑誌名

      Electrochemistry

      巻: 89 号: 2 ページ: 125-130

    • DOI

      10.5796/electrochemistry.20-65159

    • NAID

      130007995108

    • ISSN
      1344-3542, 2186-2451
    • 年月日
      2021-03-05
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Electrochemical Investigation of the Effect of Hydrogen Peroxide Concentration on Platinum-Particle-Assisted Etching of p-Type Silicon in a Hydrofluoric Acid Solution2021

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Ayumu、Furukawa Kyohei、Majima Shun、Iwamoto Keishi、Yae Shinji
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 168 号: 11 ページ: 112504-112504

    • DOI

      10.1149/1945-7111/ac330e

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Signal stability of surface-enhanced laser-induced breakdown spectroscopy for microdroplet analysis using a porous silicon substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Kento Murakami, Shinji Yae
    • 雑誌名

      Spectrochim. Acta, B

      巻: 178 ページ: 106143-106143

    • DOI

      10.1016/j.sab.2021.106143

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser-induced breakdown spectroscopy using a porous silicon substrate produced by metal-assisted etching: Microanalysis of strontium chloride aqueous solution as an example2020

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Sakiko Yoshizumi, Haruka Nakano, Shinji Yae
    • 雑誌名

      J. Anal. At. Spectrom.

      巻: 35 号: 10 ページ: 2239-2247

    • DOI

      10.1039/d0ja00144a

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 低抵抗シリコンの金属援用エッチングによるメソポーラス層の形成2023

    • 著者名/発表者名
      東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第147回講演大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 触媒薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング ―メソポーラス層の分布の違い―2023

    • 著者名/発表者名
      西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第90回大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用2023

    • 著者名/発表者名
      松本 歩
    • 学会等名
      表協青年技術懇話会(SYMTEC) 第119回会合
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Capability of liquid microanalysis by surface-enhanced LIBS using porous silicon2022

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Shinji Yae
    • 学会等名
      12th International Conference on Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 多孔質シリコン基板を利用した微量溶液の高感度LIBS分析2022

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 島津佑輔, 八重真治
    • 学会等名
      日本材料科学会2022年度学術講演大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] シリコン表面の微細構造を利用した高感度レーザー分析技術の開発2022

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 島津佑輔, 八重真治
    • 学会等名
      兵庫県メッキ研究会技術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食の評価2022

    • 著者名/発表者名
      橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第37回ARS三河コンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 白金微粒子を用いた低抵抗シリコンの金属援用エッチング2022

    • 著者名/発表者名
      東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第37回ARS三河コンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 白金薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング2022

    • 著者名/発表者名
      西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第37回ARS三河コンファレンス
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 多孔質シリコンを利用したLIBS分析 ―ファイバー伝送系による遠隔分析の検討―2022

    • 著者名/発表者名
      島津佑輔, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム (SAAMT2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 多孔質シリコン基板を利用した液体のLIBS分析 ―実試料分析を目指した基板上の試料分布制御―2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木康介, 島津佑輔, 仲野春香, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム (SAAMT2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 多孔質シリコン基板を利用した液体のLIBS分析 ―溶存種の水中その場分析―2022

    • 著者名/発表者名
      池本恒輝, 鈴木康介, 島津佑輔, 長橋英雄, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム (SAAMT2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 原発廃炉措置におけるLIBSを利用したその場分析技術2022

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第42回年次大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ポーラスシリコン基板を利用した微量溶液のLIBS分析 ―分析試料作製プロセスの簡略化―2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木康介, 仲野春香, 島津佑輔, 平井祥世, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第145回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] シリコンの抵抗率による金属援用エッチング挙動の違い2022

    • 著者名/発表者名
      東 恭平, 古川恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      2022年電気化学会第89回大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] シリコンの導電型による金属援用エッチング挙動の違い2022

    • 著者名/発表者名
      西中 凜, 古川恭平, 東 恭平, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      2022年電気化学会第89回大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Quantitative analysis of strontium in microdroplets―2021

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Shinji Yae
    • 学会等名
      4th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (ASLIBS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 多孔質シリコンを利用したレーザー誘起ブレークダウン分光 ―微量希薄溶液の定量分析―2021

    • 著者名/発表者名
      島津佑輔, 仲野春香, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第144回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 多孔質材料を利用した高感度レーザー分析技術の開発 ~希薄溶液の微量分析を目指して~2021

    • 著者名/発表者名
      島津佑輔, 仲野春香, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      兵庫県立大学知の交流シンポジウム2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 白金薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―n-Siとp-Siの違い―2021

    • 著者名/発表者名
      西中 凜, 古川恭平, 東 恭平, 八重真治
    • 学会等名
      ARS2021研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] シリコンの金属援用エッチングにより形成されるメソポーラス層 ―基板の抵抗率による違い―2021

    • 著者名/発表者名
      東 恭平, 古川恭平, 西中 凛, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      ARS2021研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ポーラスシリコン上への蒸発乾固を利用したLIBSによる微量溶液の定量分析2021

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 島津佑輔, 仲野春香, 鈴木康介, 平井祥世, 八重真治
    • 学会等名
      第7回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム (SAAMT2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] シリコン表面の微細構造を利用した高感度LIBS分析 ―ポーラス基板上で生成するプラズマの特性 ―2021

    • 著者名/発表者名
      平井祥世, 島津佑輔, 仲野春香, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      第7回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム (SAAMT2021)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ポーラスシリコン基板を用いた高感度レーザー誘起ブレークダウン分光分析2021

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会表協エレクトロニクス部会 電気化学会ナノ・マイクロファブリケーション研究会 合同研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 金属援用エッチングによるポーラスシリコンの形成機構と最近の応用展開2021

    • 著者名/発表者名
      松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第143回講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] シリコンの金属援用エッチングにおける金属被覆率の影響―多孔質構造と電位の変化―2021

    • 著者名/発表者名
      古川恭平, 島田祐暉, 眞島 隼, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第143回講演大会,
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 蒸発乾固法による液体のレーザー誘起ブレークダウン分光分析―ポーラスシリコン基板を用いた分析精度の向上―2021

    • 著者名/発表者名
      仲野春香, 島津佑輔, 村上研人, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第143回講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Laser-Induced Breakdown Spectroscopy of Liquid Samples Using Nanostructured Substrates2020

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Shinji Yae,
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Advanced Measurement, Analysis and Control for Energy and Environment (AMACEE2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Use of a porous silicon in surface-enhanced LIBS2020

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Shinji Yae,
    • 学会等名
      11th International Conference on Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] シリコンの金属援用エッチングにより形成される多孔質構造と金属被覆率の関係,2020

    • 著者名/発表者名
      古川恭平, 岩本圭史, 島田祐暉, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第142回講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ポーラスシリコン基板を利用した液体の高感度LIBS分析―レーザー照射条件の検討―2020

    • 著者名/発表者名
      仲野春香, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第142回講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 貴金属ナノ粒子を利用した高感度レーザー分析技術の開発2020

    • 著者名/発表者名
      仲野春香, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      兵庫県立大学知の交流シンポジウム2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] シリコンの金属援用エッチング中の電位と金属被覆率の関係―エッチング機構の電気化学的解析を目指して―2020

    • 著者名/発表者名
      古川恭平、島田祐暉、眞島 隼、松本 歩、八重真治
    • 学会等名
      ARS2020研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属援用エッチングにより作製した多孔質Siのレーザープラズマ分光への応用―液体定量分析の検討―2020

    • 著者名/発表者名
      島津佑輔, 仲野春香, 村上研人, 松本 歩, 八重真治
    • 学会等名
      ARS2020研究発表会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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