サブナノイオンビームで機能化した原子層NEMSによる波動性フォノニック工学の創生

• 研究課題/領域番号: 20K20442
• 補助金の研究課題番号: 19H05520 (2019)
• 研究種目: 挑戦的研究(開拓)
• 配分区分: 基金 (2020); 補助金 (2019)
• 審査区分: 中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
• 研究機関: 北陸先端科学技術大学院大学
• 研究代表者: 水田 博 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授 (90372458)
• 研究期間 (年度): 2020-04-01 – 2024-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2023年度)
• 配分額: 25,740千円 (直接経費: 19,800千円、間接経費: 5,940千円); 2023年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2022年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円); 2021年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円); 2020年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円); 2019年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
• キーワード: グラフェン / NEMS / フォノン / ヘリウムイオンビーム / 熱整流素子 / ナノイオンビーム / 熱フォノン / ナノメッシュ / 波動性フォノン / 熱ダイオード / 熱トランジスタ / サブナノイオンビーム

研究開始時の研究の概要

宙吊りにしたグラフェンを用いたNEMS（ナノ電子機械システム）上に、フォノンの波動性が支配的となるシングルナノメータのフォノニック結晶(GPnC)構造や非対称チャネル構造を形成し【波動性ナノフォノニック工学】創生を狙う。ビーム径～0.3 nmの集束ヘリウムイオンビームで種々のナノ孔形状・配列を有するGPnCを作製し、フォノンバンドギャップ帯域およびゾーン・フォールディングによるフォノン群速度低下を制御する。これにより、熱整流素子、熱ナビゲータ、およびアクチュエーション電界でGPnC特性を機械的に変調する熱フォノンスイッチなど、波動性熱フォノン制御を可能とする革新的機能デバイスを開発する。

研究成果の概要

電子線直接描画と集束He+ビームを用いた超微細加工技術で、宙吊りグラフェン上に様々なナノフォノニック構造を作製した。チャネルの両端に電気・熱測定用４端子電極を形成し、独自のDifferential Thermal Leakage（DTL）法によりナノスケールの熱フォノン輸送特性を計測した。直径5～6 nmの２次元ナノ孔アレイをチャネル半面に形成した非対称ナノメッシュ構造において熱整流現象を初めて観測し、環境温度150 Kで約80%の熱整流率を得た。また幅30 nmの極細ナノリボン６本の並列チャネルをチャネル半面に形成した非対称構造では、室温で40%を超える熱整流率を得ることに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

原子層材料グラフェンのNEMS技術と電子線直接描画／集束ヘリウムイオンビーム超微細加工技術を初めて融合させ、宙づりグラフェン上にシングルナノメータスケールのフォノニック結晶構造を形成し、熱フォノン輸送を制御して熱整流素子の原理検証に成功した独創性の高い研究成果である。現在のナノ集積回路やパワーデバイスで深刻な問題となっている局所発熱に対する新たなサーマルマネジメント技術を拓くだけでなく、従来の熱電変換技術のようにレアメタルや毒性の強い重金属を含む材料を使用せず、安全で環境に優しい炭素材料で低価格のシステムを実現できるため、新学術領域開拓・新産業展開両面で波及効果が大きい。

研究成果

• [雑誌論文] Raman spectroscopy of doubly aligned bilayer graphene (2024)
  • 著者名/発表者名: Kareekunnan Afsal、Akabori Masashi、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Mizuta Hiroshi
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 124 号: 9
  • DOI: 10.1063/5.0191121
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Nonlinearity and temperature dependence of CVD graphene nanoelectromechanical resonator (2023)
  • 著者名/発表者名: de Moraes Nogueira Alexandro、Enomoto Shohei、Muruganathan Manoharan、Kareekunnan Afsal、Islam Mohammad Razzakul、Akabori Masashi、Mizuta Hiroshi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 63 号: 2 ページ: 02SP13-02SP13
  • DOI: 10.35848/1347-4065/ad0505
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Anomalous Random Telegraph Signal in Suspended Graphene with Oxygen Adsorption: Implications for Gas Sensing (2023)
  • 著者名/発表者名: de Moraes Nogueira Alexandro、Kareekunnan Afsal、Akabori Masashi、Mizuta Hiroshi、Muruganathan Manoharan
  • 雑誌名: ACS Applied Nano Materials 巻: 6 号: 18 ページ: 17140-17148
  • DOI: 10.1021/acsanm.3c03348
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Characterisation and modelling of nonlinear resonance behaviour on very-high-frequency silicon nanoelectromechanical resonators (2023)
  • 著者名/発表者名: Ben Fang、Fernando James、Ou Jun-Yu、Dupre Cecilia、Ollier Eric、Hassani Faezeh Arab、Mizuta Hiroshi、Tsuchiya Yoshishige
  • 雑誌名: Micro and Nano Engineering 巻: 19 ページ: 100212-100212
  • DOI: 10.1016/j.mne.2023.100212
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Machine learning identification of atmospheric gases by mapping the graphene-molecule van der waals complex bonding evolution (2023)
  • 著者名/発表者名: Osazuwa G. Agbonlahor, Manoharan Muruganathan, Amit Banerjee, Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Sensors and Actuators B: Chemical 巻: 380 ページ: 133383-133383
  • DOI: 10.1016/j.snb.2023.133383
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Sub 0.5 Volt Graphene-hBN van der Waals Nanoelectromechanical Switches (2022)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganathan, Ngoc Huynh Van, Marek E. Schmidt, and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Advanced Functional Materials 巻: 32 号: 52 ページ: 2209151-2209151
  • DOI: 10.1002/adfm.202209151
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Carbon molecular sieve-functionalized graphene sensors for highly sensitive detection of ethanol (2022)
  • 著者名/発表者名: Sankar Ganesh Ramaraj, Manoharan Muruganathan, Osazuwa G. Agbonlahor, Hisashi Maki, Yosuke Onda, Masashi Hattori, Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Carbon 巻: 190 ページ: 359-365
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2022.01.023
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Current effect on suspended graphene nanoribbon studied using in?situ transmission electron microscopy (2022)
  • 著者名/発表者名: Liu Chunmeng、Zhang Jiaqi、Ganesh Ramaraj Sankar、Zhang Xiaobin、Muruganathan Manoharan、Mizuta Hiroshi、Oshima Yoshifumi
  • 雑誌名: Applied Surface Science 巻: 573 ページ: 151563-151563
  • DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.151563
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Thermal rectification on asymmetric suspended graphene nanomesh devices (2021)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Manoharan Muruganathan, Yu Feng, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Chunmeng Liu, Jiayu Guo, Marek Schmidt and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Nano Futures 巻: 5 号: 4 ページ: 045002-045002
  • DOI: 10.1088/2399-1984/ac36b5
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Revisiting the Mechanism of Electric Field Sensing in Graphene Devices (2021)
  • 著者名/発表者名: Afsal Kareekunnan, Tatsufumi Agari, Ahmed M. M. Hammam, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, Hiroshi Mizuta, and Manoharan Muruganathan
  • 雑誌名: ACS Omega 巻: 6 号: 49 ページ: 34086-34091
  • DOI: 10.1021/acsomega.1c05530
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Dose-dependent Milling Efficiencies of Helium and Nitrogen Beams in PMMA (2021)
  • 著者名/発表者名: Gunter Ellrott, Shinichi Ogawa, Munenori Uno, Yukinori Morita, Manoharan Muruganathan, Maria Kolesnik-Gray, Vojislav Krstic, Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Microelectronic Engineering 巻: 249 ページ: 111621-111621
  • DOI: 10.1016/j.mee.2021.111621
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Room-temperature negative magnetoresistance of helium-ion-irradiated defective graphene in the strong Anderson localization regime (2021)
  • 著者名/発表者名: Iwasaki Takuya、Nakamura Shu、Agbonlahor Osazuwa G.、Muruganathan Manoharan、Akabori Masashi、Morita Yoshifumi、Moriyama Satoshi、Ogawa Shinichi、Wakayama Yutaka、Mizuta Hiroshi、Nakaharai Shu
  • 雑誌名: Carbon 巻: 175 ページ: 87-92
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2020.12.076
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Adsorbed Molecules as Interchangeable Dopants and Scatterers with a van der Waals Bonding Memory in Graphene Sensors (2020)
  • 著者名/発表者名: Osazuwa G. Agbonlahor, Manoharan Muruganathan, Tomonori Imamura and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: ACS Sensors 巻: 5 号: 7 ページ: 2003-2009
  • DOI: 10.1021/acssensors.0c00403
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Design of Graphene Phononic Crystals for Heat Phonon Engineering (2020)
  • 著者名/発表者名: Haque Mayeesha Masrura, Afsal Kareekunnan, Fayong Liu, Sankar Ganesh Ramaraj, Gunter Ellrott, Ahmmed M. M. Hammam, Manoharan Muruganathan and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Micromachines 巻: 11 号: 7 ページ: 655-655
  • DOI: 10.3390/mi11070655
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Conductance Tunable Suspended Graphene Nanomesh by Helium Ion Beam Milling (2020)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Zhongwang Wang, Soya Nakano, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Marek Schmidt, Mayeesha Haque, Manoharan Muruganathan and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Micromachines 巻: 11 号: 4 ページ: 387-387
  • DOI: 10.3390/mi11040387
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Modulation of twisted bilayer CVD graphene interlayer resistivity by order of magnitude based on in-situ annealing (2019)
  • 著者名/発表者名: Jothiramalingam Kulothungan, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: Carbon 巻: 153 ページ: 355-363
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2019.07.036
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Quantum Dot Formation in Controllably Doped Graphene Nanoribbon (2019)
  • 著者名/発表者名: Zhongwang Wang, Yahua Yuan, Xiaochi Liu, Jian Sun, Manoharan Muruganathan and Hiroshi Mizuta
  • 雑誌名: ACS Nano 巻: 13 号: 7 ページ: 7502-7507
  • DOI: 10.1021/acsnano.9b02935
  • 査読あり / 国際共著
• [学会発表] Downscaled Graphene Devices for Advanced Sensing and Thermal Engineering (2024)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, A. Kareekunnan, M. Muruganathan
  • 学会等名: JAIST International symposium on Nano-Materials for Novel Devices
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene-based devices: From fundamental physics to real-world applications (2023)
  • 著者名/発表者名: Afsal Kareekunnan
  • 学会等名: XXII International Workshop on Physics of Semiconductor Devices
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene Nano-Electro-Mechanical Device Technology for Extreme Sensing and Nanoscale Thermal Engineering (2023)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta
  • 学会等名: 2023 International Conference on Nano Research and Development (ICNRD-2023)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene-based Nanoelectronic Devices and NEMS for extreme sensing and nanoscale thermal engineering (2023)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta and M. Muruganathan
  • 学会等名: The 25th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Development of thermal rectification on asymmetric defect-engineered graphene device (2023)
  • 著者名/発表者名: M. Razzakul, A. kareekunnam, H. Mizuta
  • 学会等名: 49th International Conference on Micro and Nano Engineering Conference (MNE2023)
  • 国際学会
• [学会発表] Graphene-based nanoelectronic devices and NEMS for advanced sensing and nanoscale thermal engineering (2023)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, A. Kareekunnan, M. Muruganathan
  • 学会等名: International Conference on Materials Science, Engineering & Technology, Singapore
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene Based NEMS and Electric Field Sensor: From Research to Real-World Applications (2023)
  • 著者名/発表者名: Afsal Kareekunnan, Manoharan Muruganathan, Ngoc Huynh Van, Marek E Schmidt, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: Silicon Nanoelectronics Workshop 2023 (SNW 2023)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Nonlinearity and temperature dependence of graphene nanoelectromechanical resonator (2023)
  • 著者名/発表者名: Alexandro de Moraes Nogueira, Shohei Enomoto, Manoharan Muruganathan, Afsal Kareekunnan, Masashi Akabori, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: the 9th International Symposium on Organic and Inorganic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023)
  • 国際学会
• [学会発表] Edge dependence of current-voltage curves of graphene nanoribbon (2023)
  • 著者名/発表者名: Chunmeng Liu, Muruganathan Manoharan, Hiroshi Mizuta, Yoshifumi Oshima
  • 学会等名: the 9th International Symposium on Organic and Inorganic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023)
  • 国際学会
• [学会発表] Observation of Valley Hall effect in non-encapsulated bilayer graphene (2023)
  • 著者名/発表者名: Teppei Shintaku, Kareekunnan Afsal, Masashi Akabori, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: The 64th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
  • 国際学会
• [学会発表] 光照射STMによるグラフェンナノデバイスの熱励起電子観測 (2023)
  • 著者名/発表者名: 川村 亮太, 金 唐逸, Fayong Liu, 玉置 亮, 草場 哲, 水田 博, 片山 郁文, 武田 淳
  • 学会等名: 第70回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] 多層グラフェンのラマンスペクトルの温度依存性と光学フォノン温度 (2023)
  • 著者名/発表者名: 劉 鋭安, カリクンナン アフサル, 宮田 全展, 水田 博, 小矢野 幹夫
  • 学会等名: 第70回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] hBN-二層グラフェンヘテロ構造を用いたバレーホール効果の観測 (2023)
  • 著者名/発表者名: 新宅 哲平, カリクンナン アフサル, 赤堀 誠志, 渡邊 賢治, 谷口 尚, 水田 博
  • 学会等名: 第70回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Low-frequency noise of suspended CVD graphene in oxygen environment (2022)
  • 著者名/発表者名: Alexandro de Moraes Nogueira, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: International Symposium on Empathy and Symbiosis with Nature
  • 国際学会
• [学会発表] 非対称グラフェンナノメッシュデバイスの熱伝導特性に関する研究 (2022)
  • 著者名/発表者名: 大園 祥輝, ファヨン リウ, 小川 真一, 森田行則, マノハラン・ムルガナタン, 水田 博
  • 学会等名: 自然との共感・共生国際シンポジウム
  • 国際学会
• [学会発表] 原子層材料によるサイレントボイスセンシング (2022)
  • 著者名/発表者名: 水田 博
  • 学会等名: 自然との共感・共生国際シンポジウム
  • 国際学会
• [学会発表] Beyond Graphene: TMDC 2D materials for advanced sensing and information processing (2022)
  • 著者名/発表者名: Afsal Kareekunnan
  • 学会等名: International Symposium on Empathy and Symbiosis with Nature
  • 国際学会
• [学会発表] Research funding trends in Japan and development of Silent Voice Sensing Technology (2022)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi MIZUTA
  • 学会等名: NanoFutures 2022
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Sub-10-nm nanomesh patterned on suspended graphene for nanoscale thermal engineering (2022)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, G. Jiayu, Y. Ozono, S. Ogawa, Y. Morita, A. Kareekunnan, M. Muruganathan and F. Liu
  • 学会等名: IEEE 16th International Conference on Solid-State and Integrated CIrcuit Technology (ICSICT2022)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Sub-10-nm patterning on suspended graphene by using focused He ion beam for heat phonon engineering (2022)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, G. Jiayu, Y. Ozono, S. Ogawa, Y. Morita, A. Kareekunnan, M. Muruganathan and F. Liu
  • 学会等名: 2nd International Meet and Expo on Nanotechnology (NANOMEET2022)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Temperature dependence of CVD graphene nanomechanical resonator (2022)
  • 著者名/発表者名: Alexandro Nogueira, Shohei Enomoto, Manoharan Muruganathan, Afsal Kareekunnan, Masashi Akabori, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第83回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Fabrication of MoS2 nanoribbon by direct transfer for in-situ TEM observation (2022)
  • 著者名/発表者名: Chunmeng Liu, Xiaobin Zhang, Jiaqi Zhang, Muruganathan Manoharan, Hiroshi Mizuta, Yoshifumi Oshima
  • 学会等名: The 22nd International Vacuum Congress
  • 国際学会
• [学会発表] Structure Dependent Current-Voltage Curves of Suspended Graphene Nanoribbon (2022)
  • 著者名/発表者名: Limi Chen, Chunmeng Liu, Fayong Liu, Kareekunnan Afsal, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta, Yoshifumi Oshima
  • 学会等名: The 22nd International Vacuum Congress
  • 国際学会
• [学会発表] Asymmetric Thermal Transport on Suspended Trapezoidal Graphene Channels (2022)
  • 著者名/発表者名: Jiayu Guo, Fayong Liu, 小川 真一, 森田 行則, Manoharan Muruganathan, 水田 博
  • 学会等名: 第69回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Graphene Nano-electro-mechanical device technology for extreme sensing and nanoscale thermal engineering (2021)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta
  • 学会等名: NIMS WEEK 2021
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Graphene nanomesh for electron and phonon engineering (2021)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Jiayu Guo, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Marek Schmidt, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: The 4th EuFN and FIT4NANO Joint Workshop / Meeting
  • 国際学会
• [学会発表] Graphene NEMS Technology with He Ion beam Single-Nanometer Patterning for Advanced Sensing and Thermal Engineering (2021)
  • 著者名/発表者名: H. Mizuta, G. Jiayu, S. Ogawa, Y. Morita, M. Muruganathan and F. Liu
  • 学会等名: International Meet & Expo on Nanotechnology (NANOMEET2021)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Enhancement of Electric Field Sensitivity in Graphene for Early Lightning Prediction (2021)
  • 著者名/発表者名: Kareekunnan Afsal, Tatsufumi Agari, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, Hiroshi Mizuta, and Manoharan Muruganathan
  • 学会等名: Silicon Nanoelectronics Workshop 2021
  • 国際学会
• [学会発表] All-2D Graphene Nano-Electro-Mechanical (NEM) Switch and the Progress of High-Sensitive Electric Field Sensing for Thunder Clouds Movements (2021)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganathan, Afsal Kareekunnan, Tatsufumi Agari, Huynh Van Ngoc, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, and Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Quantum dot formation on suspended graphene nanomesh by helium ion beam milling technology (2021)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Manoharan Muruganathan, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Zhongwang Wang, Marek Schmidt, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 2021 5th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM2021)
  • 国際学会
• [学会発表] Enhancing Electric Field Sensitivity in Graphene Devices by hBN Encapsulation (2021)
  • 著者名/発表者名: Afsal Kareekunnan, Tatsufumi Agari, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, Hiroshi Mizuta, Manoharan Muruganathan
  • 学会等名: 第82回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Molecular dynamics study on Asymmetric graphene nanomesh thermal rectifier (2021)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Jiayu Guo, Manoharan Muruganathan, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第82回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] High-Performance Graphene Devices and the Detection of Silent Voices from Thunder Clouds (2021)
  • 著者名/発表者名: Manoharan Muruganathan, Afsal Kareekunnan, Tatsufumi Agari, Huynh Van Ngoc, Takeshi Kudo, Takeshi Maruyama, and Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 6th International Conference on Advances in Functional Materials
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Thermal rectification based on asymmetric nanomesh formed on suspended graphene (2021)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu，Manoharan Muruganathan，小川 真一，森田 行則，郭 嘉裕，Marek Schmidt，水田 博
  • 学会等名: 第68回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Observation of charge carrier localization-induced negative magnetoresistance at room temperature in helium-ion-irradiated defective graphene (2020)
  • 著者名/発表者名: Takuya Iwasaki, Shu Nakamura, Osazuwa Gabriel Agbonlahor, Manoharan Muruganathan, Masashi Akabori, Yoshifumi Morita, Satoshi Moriyama, Shinichi Ogawa, Yutaka Wakayama, Hiroshi Mizuta, Shu Nakaharai
  • 学会等名: 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Capacitively coupled suspended CVD graphene ribbons for electromechanical device applications (2020)
  • 著者名/発表者名: Amit Banerjee, Manoharan Muruganathan, Hisashi Maki, Masashi Hattori, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Thermal rectification phenomenon on suspended half-meshed graphene devices (2020)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Manoharan Muruganathan, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Zhongwang Wang, Jiayu Guo, Mayeesha Haque, Marek Schmidt, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Half-meshed and fully-meshed suspended graphene for transport gap engineering (2020)
  • 著者名/発表者名: Fayong Liu, Manoharan Muruganathan, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Marek Schmidt, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 2020 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop
  • 国際学会
• [学会発表] 集束ヘリウムイオンビームによるグラフェンのシングルナノメータ加工と機能デバイス応用 (2020)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Mizuta, Guo Jiayu, Mayeesha Haque, Marek E. Schmidt, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Zhongwang Wang, Manoharan Muruganathan and Fayong Liu
  • 学会等名: 第21回「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」特別研究会
  • 招待講演
• [学会発表] Negative magnetoresistance of helium-ion-irradiated graphene in the strong Anderson localization regime (2020)
  • 著者名/発表者名: Takuya Iwasaki, Manoharan Muruganathan, Masashi Akabori, Yoshifumi Morita,Satoshi Moriyama, Shinichi Ogawa, Yutaka Wakayama, Hiroshi Mizuta, Shu Nakaharai
  • 学会等名: 第81回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Graphene nanomesh patterned by helium ion beam milling towards the application of quantum devices (2020)
  • 著者名/発表者名: F. Liu , M. Manoharan , S. Ogawa , Y. Morita , Z. Wang , M. Schmidt , H. Mizuta
  • 学会等名: 第81回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Helium Ion Beam Induced Stress on Graphene Cantilever (2020)
  • 著者名/発表者名: Ahmed Hammam, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, AMIT BANERJEE, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第81回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Helium Ion Beam Milling for Chiral Nanostructures (2020)
  • 著者名/発表者名: Guenter Ellrott, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Manoharan Muruganathan, Vojislav Krstic, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: 第67回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Transport properties of large-area fully & half meshed suspended graphene (2020)
  • 著者名/発表者名: F. Liu, S. Nakano, M. Haque, Z. Wang, M. Schmidt, S. Ogawa, Y. Morita, M. Manoharan, H. Mizuta
  • 学会等名: 第67回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Fabrication and characterization of asymmetric suspended trapezoid graphene (2020)
  • 著者名/発表者名: S. Nakano, F. Liu, H. Mayeesha, M. Muruganathan, H. Mizuta
  • 学会等名: 第67回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Valley Hall Effect in Ungated Bilayer Graphene (2019)
  • 著者名/発表者名: Kareekunnan Afsal, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: Recent Progress in Graphene & 2D Materials Research
  • 国際学会
• [学会発表] Valley Hall Effect in Unbiased Bilayer Graphene (2019)
  • 著者名/発表者名: Kareekunnan Afsal, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
  • 学会等名: The 21st International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructures
  • 国際学会
• [学会発表] グラフェンナノデバイスによる超高感度環境・生体ガスセンシング技術と熱制御技術の現状と展望 (2019)
  • 著者名/発表者名: 水田 博, G. Agbonlahor, 宮下 寛也, 古川 篤, F. Liu, M. Haque, 中野 颯也, M. Muruganathan, 槇 恒, 恩田 陽介, 服部 将志, 下舞 賢一, 関根 嘉香
  • 学会等名: 北陸産業活性化フォーラム
  • 招待講演
• [学会発表] グラフェンNEMSとナノイオンビーム加工技術：サブサーマルスイッチング・極限センシング・熱フォノン制御への応用 (2019)
  • 著者名/発表者名: 水田 博
  • 学会等名: 2019年2回極限ナノ造形・構造物性研究会
  • 招待講演
• [図書] Graphene Nanoelectromechanical Switch: Ultimate Downscaled NEM Actuators to Single-Molecule and Zeptogram Mass Sensors, Convergence of More Moore, More than Moore and Beyond Moore: Materials, Devices, and Nanosystems, Deleonibus, Simon, ed. (2021)
  • 著者名/発表者名: M. Muruganathan, and H. Mizuta
  • 総ページ数: 41
  • 出版者: Jenny Stanford Publishing
  • ISBN: 9789814877121
• [備考] グラフェンナノメッシュデバイスを用いたナノスケール熱制御の研究
  • URL: https://www.jaist.ac.jp/ms/labs/mizuta-lab/post-4.html
• [備考] Nanoscale thermal engineering
  • URL: https://www.jaist.ac.jp/ms/labs/mizuta-lab/english/post-4.html
• [備考] グラフェンナノメッシュデバイスを用いたナノスケール熱制御の研究
  • URL: http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/mizuta-lab/post-4.html