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六方晶窒化ボロン半導体の直接遷移型化と深紫外励起子発光ダイナミクスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 20K20993
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

秩父 重英  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (80266907)

研究分担者 原 和彦  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80202266)
小島 一信  東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (30534250)
嶋 紘平  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40805173)
研究期間 (年度) 2020-07-30 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2021年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2020年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
キーワード窒化ボロン / 間接遷移 / 直接遷移 / 深紫外線 / 時間分解分光
研究開始時の研究の概要

六方晶層状窒化ボロン(h-BN)は、2次元ハニカム構造を層状に積み重ねた、禁制帯幅の広い半導体である。そして間接遷移型半導体でありながら室温で210~230 nmの発光を呈するため、深紫外(DUV)光源用材料として期待できる。ごく最近、単一原子層h-BNの禁制帯が直接遷移型となる事が報告されたが真偽は定かではない。
本研究では、高純度h-BN単層膜をエピタキシャル成長させ、フェムト秒パルスDUVレーザやフェムト秒パルス電子線を用いて発光寿命や拡散長等を定量化し発光機構を明らかにする。本研究が実現されれば、h-BN以外の広禁制帯幅半導体の発光機構研究や物性の理解も可能となる。

研究成果の概要

ボロンと窒素による2次元ハニカム構造が面内で60°回転しながら層状に積み重なった六方晶窒化ホウ素(hBN)半導体は、間接遷移型禁制帯をもちながら室温で210~230 nmの高効率発光を呈すため深紫外光源用材料として期待できる。近年、単一層hBN(mBNと略す)の禁制帯が直接遷移型になると報告されたが真偽は定かではなかった。我々は発光効率や発光の過渡現象(ダイナミクス)の観点から直接遷移型である事を確認した。また、本研究遂行中に新たに直接遷移型禁制帯を持つのではないかと提案されたグラファイト積層六方晶BN(Bernal BN)の局所発光評価を行い、bBNの優れた発光性能も見出した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

hBNが間接遷移型半導体でありながら光子エネルギー約5.8 eVの高効率深紫外線(DUV)発光を呈すること、hBNを単一層まで薄くしたmBNの禁制帯が直接遷移型となり6.04 eVの発光を呈する事に加え、グラファイト状積層構造のBernal BNも直接遷移型ではないかと思われる禁制帯を持ち6.035 eVの発光を呈する事を明らかにした事は学術的意義が大きいだけでなく、BNを用いたDUV発光素子の開発に繋がり殺菌や消毒を通じて安全な水・空気・サニタリー環境の提供を通じて社会貢献できる。また、本研究に用いた自作の陰極線蛍光計測系は禁制帯幅に制限されないためBN以外の2次元材料の評価に有用である。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 国際共同研究 (6件) 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 3件、 招待講演 2件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] Univ. Montpellier II(フランス)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] Univ. Nottingham(英国)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] Univ. Montpellier II(フランス)

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [国際共同研究] Univ. Norttingham(英国)

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [国際共同研究] Univ. Montpellier II(フランス)

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [国際共同研究] Univ. Norttingham(英国)

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Recombination dynamics of indirect excitons in hexagonal BN epilayers containing polytypic segments grown by chemical vapor deposition using carbon-free precursors [Featured Article]2022

    • 著者名/発表者名
      Chichibu S. F.、Shima K.、Kikuchi K.、Umehara N.、Takiguchi K.、Ishitani Y.、Hara K.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 120 号: 23 ページ: 2319041-7

    • DOI

      10.1063/5.0090431

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-temperature intrinsic excitonic luminescence from a hexagonal boron nitride thin film grown on a sapphire substrate by low-pressure chemical vapor deposition using BCl<sub>3</sub> as a boron source2021

    • 著者名/発表者名
      Umehara Naoki、Adachi Takurou、Masuda Atsushi、Kouno Tetsuya、Kominami Hiroko、Hara Kazuhiko
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: 7 ページ: 075501-5

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac093f

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Ultraviolet luminescence dynamics of hexagonal BN epilayers grown by chemical vapor deposition using carbon-free precursors2023

    • 著者名/発表者名
      T. Kasuya, K. Shima, K. Hara, and S. F. Chichibu
    • 学会等名
      65th Electronic Materials Conference (EMC2023)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 炭素フリー原料を用いてサファイア基板上にCVD成長させたhBN薄膜の間接遷移励起子の発光ダイナミクス2023

    • 著者名/発表者名
      粕谷拓生, 嶋紘平, 梅原直己, 原和彦, 秩父重英
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 陰極線励起による単層六方晶BNのバンド端発光の観測2023

    • 著者名/発表者名
      嶋紘平, Tin S. Cheng, Christopher J. Mellor, Peter H. Benton, Christine Elias, Bernard Gil, Guillaume Cassabois, Sergei V. Novikov, 秩父重英
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 六方晶BN薄膜の減圧CVD成長の高温化2023

    • 著者名/発表者名
      大石 泰己, 渡邉 泰良, 田中 佑樹, 増田 克仁, 吉岡 陸, 増田 希良里, 小南 裕子, 原 和彦
    • 学会等名
      発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Emission dynamics of indirect excitons in hexagonal BN epilayers containing polytypic segments grown by chemical vapor deposition using carbon-free precursors2022

    • 著者名/発表者名
      S. F. Chichibu, K. Shima, K. Kikuchi, N. Umehara, K. Takiguchi, Y. Ishitani, and K. Hara
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022 (IWN2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Near-band-edge recombination in monolayer hBN epitaxial films studied using cathodoluminescence spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Shima, C. Elias, T. S. Cheng, C. J. Mellor, P. H. Beton, S. V. Novikov, B. Gil, G. Cassabois, and S. F. Chichibu
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022 (IWN2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 炭素フリー原料を用いてサファイア基板にCVD成長させた多型を含むhBN薄膜における間接遷移励起子の発光ダイナミクス2022

    • 著者名/発表者名
      秩父重英, 嶋紘平, 菊地清, 梅原直己, 瀧口佳祐, 石谷善博, 原和彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 六方晶窒化ホウ素薄膜の減圧CVDにおける原料ガス導入タイミング2022

    • 著者名/発表者名
      吉岡 陸、田中 佑樹、渡邊 泰良、増田 克仁、大石 泰己、増田 希良里、小南 裕子、原 和彦
    • 学会等名
      2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会[25a-E203-6]
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] コールドウォール反応管を用いる六方晶窒化ホウ素薄膜の減圧CVDにおける原料供給量依存性2022

    • 著者名/発表者名
      増田 克仁、渡邊 泰良、田中 佑樹、吉岡 陸、大石 泰己、増田 希良里、小南 裕子、原 和彦
    • 学会等名
      2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会[25a-E203-7]
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 炭素フリー原料を用いてサファイア基板に気相成長させたh-BN薄膜の空間分解カソードルミネッセンス評価2021

    • 著者名/発表者名
      秩父重英,嶋紘平,梅原直己,小島一信,原和彦
    • 学会等名
      2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会[10p-N101-8]
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Niバッファ層上への六方晶窒化ホウ素薄膜のCVD成長2021

    • 著者名/発表者名
      田中佑樹,渡邊泰良,吉岡陸,増田克仁,大石泰己,増田希良里,小南裕子,原和彦
    • 学会等名
      2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会[23p-P07-1]
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 時間空間分解カソードルミネッセンス法によるワイドバンドギャップ窒化物半導体の評価2020

    • 著者名/発表者名
      秩父重英
    • 学会等名
      「放射線科学とその応用第186委員会」第36回研究会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [備考] 東北大学 多元物質科学研究所 秩父研究室HP

    • URL

      http://www2.tagen.tohoku.ac.jp/lab/chichibu/html/index-j.html

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-08-03   更新日: 2024-01-30  

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