研究課題
特別推進研究
本研究では、半導体マイクロ・ナノ加工で作るMEMSデバイスと、ナノ物体を可視化できる透過電子顕微鏡(TEM)を組み合わせた計測系を構築し、ナノ物体や極微量分子を対象に応力による変形、表面や固相内の拡散、電界による原子輸送、量子的な電気や熱の伝導などを総合的かつ実時間で測定した。ナノ物体の形状変化を観測し、分子動力学などの計算機解析と比較することで、様々な微視的機構を解明した。こうしたアプローチに基づき電気接点劣化、接点中の転位移動に伴う雑音発生、様々な材料の単一ナノ接合におけるナノトライボロジー、ナノ物体中の熱伝導、拡散接合技術など、実用上重要な課題の微視レベルからの解明に基づく応用展開に向けた研究を行った。
A
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