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SOI技術による高レート実験用薄型ピクセル検出器の研究

研究課題

研究課題/領域番号 21244040
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理
研究機関大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構

研究代表者

新井 康夫  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (90167990)

研究分担者 坪山 透  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 講師 (80188622)
原 和彦  筑波大学, 数理物質科学研究科, 准教授 (20218613)
三好 敏喜  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 助教 (20470015)
連携研究者 海野 義信  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (40151956)
一宮 亮  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 研究員 (80435627)
研究期間 (年度) 2009 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
40,170千円 (直接経費: 30,900千円、間接経費: 9,270千円)
2012年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2011年度: 17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2010年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
2009年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
キーワードSilicon On Insulator / Pixel 検出器 / 素粒子実験 / 半導体超微細化 / 放射線 / Silicon-On-Insulator / 放射線、X線、粒子線 / ピクセル検出器 / 放射線イメージセンサー / Silicon-On Insulator
研究概要

本研究では、Silicon-On-Insulator (SOI)技術を用い、50 ミクロン程度まで薄くでき、100 万以上の画素数を持つピクセル放射線検出器(SOIPIX)を開発した。またこの検出器を用いて、実際に加速器ビームを照射し、数ミクロンオーダの位置精度が得られる事を実証した。さらに、荷電粒子やガンマ線を用いた放射線耐性試験を行い詳細なデータを得ると共に、シミュレーションによりそのメカニズムを解明し、放射線耐性の向上の為にプロセスの改良を行った。

報告書

(5件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (101件)

すべて 2013 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (31件) (うち査読あり 22件) 学会発表 (57件) (うち招待講演 3件) 備考 (5件) 産業財産権 (8件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Design and Evaluation of a SOI Pixel Sensor for X-ray Trigger-driven Readout2013

    • 著者名/発表者名
      Ayaki Takeda, Yasuo Arai, et al
    • 雑誌名

      IEEE Trans.on Nucl. Sci., Vol. PP, Issue

      巻: 99 号: 2 ページ: 586-591

    • DOI

      10.1109/tns.2012.2225072

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithic Pixel Detectors With 0.2um FD-SOI Pixel Process Technology2013

    • 著者名/発表者名
      T. Miyoshi
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tests With Soft X-rays of an Improved Monolithic SOI Active Pixel Sensor2013

    • 著者名/発表者名
      丸藤竜之介、他
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nuclear Science (TNS)

      巻: 60 号: 1 ページ: 465-469

    • DOI

      10.1109/tns.2012.2231880

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of the Pixel OR SOI Detector for High Energy Physics Experiments2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Ono
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A

      巻: 印刷中

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of FD-SOI Monolithic Pixel Devices for High-Energy Charged Particle Detection2011

    • 著者名/発表者名
      K. Shinsho, K. Hara, Y. Arai, T. Miyoshi, et al.
    • 雑誌名

      IEEE Nuclear Science Symposium CR N21-1

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] SOI Readout ASIC of Pair-monitor for International Linear Collider2011

    • 著者名/発表者名
      Yutaro Sato, Yasuo Arai, et al
    • 雑誌名

      Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A、10.1016/j.nima

      巻: Vol. 637, Isuue 1 号: 1 ページ: 53-59

    • DOI

      10.1016/j.nima.2011.02.063

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of SOI Pixel Process Technology2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai, T. Miyoshi, Y. Unno, T. Tsuboyama, K. Hara, et al.
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Meth

      巻: Vol. 636, Issue 1 号: 1 ページ: S31-S36

    • DOI

      10.1016/j.nima.2010.04.081

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance study of SOI monolithic pixel detectors for X-ray application2011

    • 著者名/発表者名
      T. Miyoshi, Y. Arai, T. Tsuboyama, Y. Unno, et al.
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Meth.

      巻: A Vol. 636 号: 1 ページ: S237-S241

    • DOI

      10.1016/j.nima.2010.04.117

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Radiation effects in silicon-on-insulator transistors with back-gate control method fabricated with OKI Semiconductor 0.20 μm FD-SOI technology2011

    • 著者名/発表者名
      M. Kochiyama, K. Hara , Y. Arai, T.Miyoshi et al.
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Meth.

      巻: A Vol. 636, Issue 1 号: 1 ページ: S62-S67

    • DOI

      10.1016/j.nima.2010.04.086

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of SOI pixel process technology2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai, T. Miyoshi, K. Hara et al.
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Meth.

      巻: A Vol. 636, Issue 1

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Radiation test on FD-SOI Readout ASIC of Pair-monitor for ILC2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Sato
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A

      巻: 650 号: 1 ページ: 106-110

    • DOI

      10.1016/j.nima.2010.12.149

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] SOI detector developments2011

    • 著者名/発表者名
      S. Onuki
    • 雑誌名

      Proceedings of Science

      巻: PoS(Vertex 2011) ページ: 43-43

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] SOI Readout ASIC of Pair-monitor for International Linear Collider2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sato, et al.
    • 雑誌名

      Nuclear Inst.and Methods in Physics Research, 2011.02.063

      巻: 637 ページ: 53-59

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Radiation effects in silicon-on-insulator transistors with back-gate control method fabricated with OKI Semiconductor 0.20 μm FD-SOI technology2011

    • 著者名/発表者名
      M.Kochiyama, et al.
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.and Meth.A(2010), doi:10.1016/j.nima.2010.04.086

      巻: (印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance study of SOI monolithic pixel detectors for X-ray application2011

    • 著者名/発表者名
      T.Miyoshi, et al.
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.and Meth.A(2010), doi:10.1016/j.nima.2010.04.117

      巻: (印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Radiation test on FD-SOI Readout ASIC of Pair-monitor for ILC2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sato, et al.
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.and Meth.A(2011), doi:10.1016/j.nima.2010.12.149

      巻: (印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Monolithic Silicon-On-Insulator Pixel Devices Thinned to 100 um2011

    • 著者名/発表者名
      T.Shinsho, et al.
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.and Meth.A(2010), doi:10.1016/j.nima.2010.04.117

      巻: (印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of X-ray Imaging Spectroscopy Sensor with SOI CMOS Technology2011

    • 著者名/発表者名
      S.G.Ryu, et al.
    • 雑誌名

      IEEE Trans.on Nucl.Sci.

      巻: (印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Developments of SOI Monolithic Pixel Detectors2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai, T. Miyoshi, Y. Unno, T. Tsuboyama, K. Hara, et al.
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Meth

      巻: A 623 号: 1 ページ: 186-188

    • DOI

      10.1016/j.nima.2010.02.190

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Monolithic Silicon-On-Insulator Pixel Devices Thinned to 100 μm2010

    • 著者名/発表者名
      K. Shinsho, K. Hara, Y. Arai, T. Miyoshi, et al.
    • 雑誌名

      IEEE Nuclear Science Symposium CR N23-2, Knoxville, Tennessee

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Development of INTPIX and CNTPIX Silicon-On-Insulator Monolithic Pixel Devices2010

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, Y. Arai, T. Miyoshi et al.
    • 雑誌名

      Proceeding of Science (VERTEX2010)

      巻: 033

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Integrated Radiation Image Sensors with SOI technology2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Arai, Toshinobu Miyoshi, Ryo Ichimiya, Kazuhiko Hara, Yoshiyuki Onuki
    • 雑誌名

      SOI Conference, 2010 IEEE International

      ページ: 1-5

    • DOI

      10.1109/soi.2010.5641403

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Vertical Integration of Radiation Sensors and Readout Electronics2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai
    • 雑誌名

      15th Mediterranian Electromechanical Conference, Melecon 2010, Valletta, Malta

      巻: 25-28 ページ: 1062-1067

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Integrated Radiation Image Sensors with SOI technology2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai, et al.
    • 雑誌名

      SOI Conference (SOI), 2010 IEEE International Digital Object Identifier : 10.1109/SOI.2010.5641403

      ページ: 1-5

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Developments of SOI Monolithic Pixel Detectors2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai, et al.
    • 雑誌名

      Nucl.Instr. and Meth.A (doi : 10.1016/j.nima. 2010.02.190) (印刷中)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon-on-insulator technology enables next-generation radiation image sensors2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Arai and Toshinobu Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Newsroom

    • DOI

      10.1117/2.1200907.1725

    • URL

      http://spie.org/x36212.xml?highlight=x2414&ArticleID=x36212

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Radiation Resistance of SOI Pixel Devices Fabricated with OKI 0.15 μm FD-SOITechnology2009

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, Y. Arai, T. Miyoshi, et al.
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Nucl. Sci.

      巻: Vol.56-5 ページ: 2896-2904

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Techniques in SOI Pixel Detector2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai
    • 雑誌名

      2009 IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Imaging Conference, Conference Record

      巻: N22-2 ページ: 1161-1164

    • DOI

      10.1109/nssmic.2009.5402397

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Reduction techniques of the back gate effect in the SOI Pixel Detector2009

    • 著者名/発表者名
      R. Ichimiya, Y.Arai, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of Topical Workshop on Electronics for Particle Physics (TWEPP-09)

      巻: 21-25 ページ: 68-71

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Reduction techniques of the back gate effect in the SOI Pixel Detector2009

    • 著者名/発表者名
      R.Ichimiya, Y.Arai, et al.
    • 雑誌名

      CERN-2009-006

      ページ: 68-71

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] New Techniques in SOI Pixel Detector2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai, et al.
    • 雑誌名

      IEEE Nuclear Science Symposium Conference Record

      ページ: 1161-1164

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] FZおよび2重SOIウエハを用いた放射線ピクセル検出器の特性評価、実験核物理領域2013

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2013-03-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 27aFB-6 、「高エネルギー加速器実験に向けてのSOI検出器PIXOR1の試験評価」、素粒子実験領域2013

    • 著者名/発表者名
      小野善将
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2013-03-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 3-S25-2「SOI技術による1チップ放射線イメージセンサーの開発」、'放射線計測とそのネットワーク化の取り組み'シンポジウム、招待講演2013

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      電気学会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2013-03-22
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Monolithic pixel detectors with 0.2 um FD-SOI pixel process technology2013

    • 著者名/発表者名
      T. Miyoshi
    • 学会等名
      13th Vienna Conference on Instrumentation (VCI2013)
    • 発表場所
      Vienna, Austria
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 2 層埋込酸化膜構造をもつSOI ピクセル検出器のTID 放射線耐性の評価2013

    • 著者名/発表者名
      本多俊介
    • 学会等名
      日本物理学第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] dvanced Radiation Image Sensors with SOI Technology2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Arai
    • 学会等名
      IEEE Solid State Device and Materials
    • 発表場所
      Invited Talk
    • 年月日
      2012-09-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 27aFB-5 、「SOI技術を用いた積分型ピクセルセンサーの基本特性評価」、素粒子実験領域2012

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2012-03-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Progress of SOI Pixel Process2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai
    • 学会等名
      International Workshop on Semiconductor Pixel Detectors for Particles and Imaging
    • 発表場所
      Inawashiro, Japan, Invited Talk
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] High-Resolution Monolithic Pixel Detectors in SOI Technology2012

    • 著者名/発表者名
      T. MIYOSHI
    • 学会等名
      International Workshop on Semiconductor Pixel Detectors for Particles and Imaging (PIXEL2012)
    • 発表場所
      Inawashiro, Japan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of the Pixel OR SOI Detector for High Energy Physics Experiments2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Ono
    • 学会等名
      International Workshop on Semiconductor Pixel Detectors for Particles and Imaging (PIXEL2012)
    • 発表場所
      Inawashiro,Japan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] X-Ray Detection Using SOI Monolithic Sensors at a Compact High-Brightness X-Ray Source Based on Inverse Compton Scattering2012

    • 著者名/発表者名
      T. Miyoshi
    • 学会等名
      2012 IEEE Nuclear Science Symposium
    • 発表場所
      Anaheim, CA, USA
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 高エネルギー荷電粒子検出用SOI ピクセル検出器の開発2012

    • 著者名/発表者名
      新庄康平
    • 学会等名
      日本物理学会第67回年次大会
    • 発表場所
      関西学院大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of FD-SOI Monolithic Pixel Devices for High-Energy Charged Particle Detection2011

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, K. Shinsho
    • 学会等名
      IEEE Nuclear Science Symposium
    • 発表場所
      Valencia,Spain
    • 年月日
      2011-10-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 27pGN-11、SOI pixel 検出器を用いた電子線飛跡再構成実験、素粒子実験領域2011

    • 著者名/発表者名
      葛山浩教
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 年月日
      2011-03-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOI pixel検出器を用いた電子線飛跡再構成実験2011

    • 著者名/発表者名
      葛山浩教
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      新潟大学(震災のため発表中止)
    • 年月日
      2011-03-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 計数型SOIピクセル検出器の性能評価2011

    • 著者名/発表者名
      内田潤
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      新潟大学(震災のため発表中止)
    • 年月日
      2011-03-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI検出器におけるセンサー層の電荷収集2011

    • 著者名/発表者名
      小野善将
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      新潟大学(震災のため発表中止)
    • 年月日
      2011-03-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOIイメージセンサーのX線応用2011

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      新潟大学(震災のため発表中止)
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI Pixel Technology2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Arai
    • 学会等名
      The 8th international "Hiroshima" Symposium on the Development and Application of Semiconductor Tracking Detectors (HSTD-8)
    • 発表場所
      Taipei
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] CZ 及びFZ 型SOI ウェハを用いた一体型ピクセル検出器の放射線耐性の評価2011

    • 著者名/発表者名
      新庄康平
    • 学会等名
      日本物理学会2011 年秋季大会
    • 発表場所
      弘前大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] センサー部薄型化SOI ピクセル検出器の陽電子ビーム照射試験2011

    • 著者名/発表者名
      新庄康平
    • 学会等名
      日本物理学会第66回年次大会
    • 発表場所
      新潟大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた新型X線撮像分光器の開発3:INTPIXの冷却X線試験におけるゲインと検出効率の測定2010

    • 著者名/発表者名
      中島真也
    • 学会等名
      天文学会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2010-09-22
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた読出し一体型ピクセル検出器(計数型)の開発2010

    • 著者名/発表者名
      一宮亮
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • 年月日
      2010-09-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた読み出し一体型ピクセル検出器(積分型)の開発2010

    • 著者名/発表者名
      武田彩希
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • 年月日
      2010-09-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた放射線ピクセル検出器の開発2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      理研シンポジウム「先進ものづくり技術によるアナライザーキーコンポーネント開発基盤の構築状況」
    • 発表場所
      理化学研究所(和光)(招待講演)
    • 年月日
      2010-08-05
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 素粒子実験用TDCとSOI放射線イメージ検出器2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      映像情報メディア学会研究会
    • 発表場所
      常翔学園大阪センター
    • 年月日
      2010-07-23
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 素粒子実験用TDCとSOI放射線イメージ検出器2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      映像情報メディア学会研究会
    • 発表場所
      常翔学園大阪センター(招待講演)
    • 年月日
      2010-07-23
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] SOIピクセル検出器における回路部トランジスタの放射線損傷評価(TCADによるシミュレーション)2010

    • 著者名/発表者名
      河内山真美, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-03-23
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 埋め込みPウェル構造をもつSOI pixel検出器の放射線耐性試験2010

    • 著者名/発表者名
      瀬賀智子, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-03-23
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 測定器技術の革新でつながるサイエンスの横糸2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      22pBA-6、'マイクロエレクトロニクスでつながるサイエンス',素粒子実験領域、実験核物理領域、ビーム物理領域、領域10、宇宙線・宇宙物理領域合同シンポジウム
    • 年月日
      2010-03-22
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロエレクトロニクスでつながるサイエンス2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      日本物理学会(招待講演)
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-03-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術によるX線ピクセル検出器の開発2010

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      応用物理学会(招待講演)
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Evaluation of Monolithic Silicon-On-Insulator Pixel Devices Thinned to 100 μm2010

    • 著者名/発表者名
      K. Shinsho and K. Hara
    • 学会等名
      IEEE Nuclear Science Symposium, Knoxville
    • 発表場所
      Tennessee
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Plans of the SOIPIX Collaboration2010

    • 著者名/発表者名
      K. Hara
    • 学会等名
      Invited Talk at VERTEX2010
    • 発表場所
      Loch Lemond, Scotland, UK
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOI 技術を用いた読み出し一体型ピクセル検出器の開発2010

    • 著者名/発表者名
      新庄康平
    • 学会等名
      (検出部ウェハの薄型化)日本物理学会2010 年秋季大会
    • 発表場所
      九州工業大
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 埋め込みP ウェル構造をもつSOI pixel 検出器の放射線耐性試験2010

    • 著者名/発表者名
      瀬賀智子
    • 学会等名
      日本物理学会第65回年次大会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOIピクセル検出器における回路部トランジスタの放射線損傷評価(TCADによるシミュレーション)2010

    • 著者名/発表者名
      河内山真美
    • 学会等名
      日本物理学会第65回年次大会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 大面積化を目指した計数型X線SOIイメージセンサー(CNTPIX3)2009

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2009-09-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOI plxel検出器におけるバックゲート効果の埋め込みPウェルによる抑制2009

    • 著者名/発表者名
      瀬賀智子, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CDS機能を備えた積分型SOI pixel検出器の性能評価2009

    • 著者名/発表者名
      池本由希子, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた読出し一体型ピクセル検出器の開発(TCADによる放射線損傷の研究)2009

    • 著者名/発表者名
      河内山真美, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Belle II実験に向けたSOIピクセル検出器の開発2009

    • 著者名/発表者名
      堀井泰之, 他
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] SOI pixel 検出器におけるバックゲート効果の埋め込みP ウェルによる抑制2009

    • 著者名/発表者名
      瀬賀智子
    • 学会等名
      日本物理学会2009 年秋季大会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SOI 技術を用いた読みだし一体型ピクセル検出器の開発(TCADによる放射線損傷の研究)2009

    • 著者名/発表者名
      河内山真美
    • 学会等名
      日本物理学会2009 年秋季大会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Radiation Effects in OKI SOI Pixel Devices2009

    • 著者名/発表者名
      Mami Kochiyama and Tomoko Sega
    • 学会等名
      7th International Symposium on Development and Applications of Semiconductor Tracking Devices
    • 発表場所
      Hiroshima, Japan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 高エネルギー加速器実験に向けたSOI検出器:PIXORの全体動作確認試験

    • 著者名/発表者名
      篠田直幸
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      京都産業大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 高エネルギー実験のためのSOI技術を用いたPIXOR(Pixel OR)半導体検出器の研究開発

    • 著者名/発表者名
      小野善将
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      京都産業大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] SOI技術による1チップ放射線イメージセンサーの開発

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      電機学会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Bell II実験にむけたSOI検出器:PIXORの全体動作確認試験

    • 著者名/発表者名
      篠田直幸
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた大面積積分型ピクセルセンサーの基礎特性評価

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] シンポジウム「ピクセルセンサー技術で拡がる科学者の視野」はじめに

    • 著者名/発表者名
      新井康夫
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] SOI技術を用いた放射線ピクセルセンサーのX線応用

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      富山大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] SOIシリコン検出器の全空乏化と検出器特性について

    • 著者名/発表者名
      一宮亮
    • 学会等名
      日本物理学会秋季大会
    • 発表場所
      弘前大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] CERN120GeVハドロンビームを用いたSOIピクセル検出器のビーム試験

    • 著者名/発表者名
      小貫良行
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 高エネルギー荷電粒子検出用SOIピクセル検出器の開発

    • 著者名/発表者名
      新庄康平
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] SOI技術を用いた積分型ピクセルセンサーの基本特性評価

    • 著者名/発表者名
      三好敏喜
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 高エネルギー加速器実験に向けてのSOI検出器PIXOR1の試験評価

    • 著者名/発表者名
      小野善将
    • 学会等名
      日本物理学会年次大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考] ホームページ

    • URL

      http://rd.kek.jp/project/soi/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考] SOI Pixel Detector R&D

    • URL

      http://rd.kek.jp/project/soi/

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考] SOI Pixel Detector R&D

    • URL

      http://rd.kek.jp/project/soi/

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://rd.kek.jp/project/soi/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://rd.kek.jp/project/soi/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置およびその製造方法2013

    • 発明者名
      新井康夫、沖原将生、葛西大樹
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構、 Lapisセミコンダクタ(株)
    • 産業財産権番号
      2013-004017
    • 出願年月日
      2013-01-11
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体装置およびその製造方法2013

    • 発明者名
      新井康夫、葛西大樹
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構、 Lapisセミコンダクタ(株)
    • 産業財産権番号
      2013-079859
    • 出願年月日
      2013-04-05
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体装置およびその製造方法2013

    • 発明者名
      新井康夫
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-004017
    • 出願年月日
      2013-01-11
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置及び半導体装置の製造方法2011

    • 発明者名
      新井康夫、沖原将生、葛西大樹
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構、 Lapisセミコンダクタ(株)
    • 出願年月日
      2011-03-09
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体装置及び半導体装置の製造方法2011

    • 発明者名
      新井康夫, 他
    • 権利者名
      高エネ研、OKIセミコンダクタ
    • 出願年月日
      2011-03-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 外国
  • [産業財産権] 半導体装置2010

    • 発明者名
      新井康夫、葛西大樹、初井宇記
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構、 Lapisセミコンダクタ(株)、理化学研究所
    • 公開番号
      2012-080045
    • 出願年月日
      2010-10-06
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 半導体装置2010

    • 発明者名
      新井康夫, 他
    • 権利者名
      高エネ研、OKIセミコンダクタ
    • 産業財産権番号
      2010-052173
    • 出願年月日
      2010-10-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置及び半導体装置の製造方法2010

    • 発明者名
      新井康夫、沖原将生、葛西大樹
    • 権利者名
      高エネルギー加速器研究機構、OKIセミコンダクター
    • 産業財産権番号
      2010-052173
    • 出願年月日
      2010-03-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2019-07-29  

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