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新材料による緑色半導体レーザの基盤技術の開拓

研究課題

研究課題/領域番号 21246002
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関上智大学

研究代表者

岸野 克巳  上智大学, 理工学部, 教授 (90134824)

研究分担者 野村 一郎  上智大学, 理工学部, 准教授 (00266074)
研究期間 (年度) 2009 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
45,760千円 (直接経費: 35,200千円、間接経費: 10,560千円)
2012年度: 12,220千円 (直接経費: 9,400千円、間接経費: 2,820千円)
2011年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
2010年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2009年度: 16,250千円 (直接経費: 12,500千円、間接経費: 3,750千円)
キーワードBeZnTe/ZnSeTe超格子 / InP基板 / BeZnSeTe / 活性層 / 分子線エピタキシー / フォトルミネッセンス / 直接遷移 / 間接遷移 / 超格子 / 成長中断 / 黄色発光 / タイプIIヘテロバリア / レーザ / MgSe/ZnCdSe超格子 / MgSe/BeZnTe超格子 / LED / タイプIIヘテロ障壁 / 二次イオン質量分析 / 光励起発振 / ダブルヘテロ構造 / MSe / BeZnTe超格子 / しきい値電流密度 / 緑色発光
研究概要

InP基板上のBeZnTe/ZnSeTe超格子活性層材料の検討を進めた。従来のBeZnSeTe活性層を用いた場合、活性層とバリア層(クラッド層)との界面において、組成制御のための成長中断が必要であり、これが界面での結晶性を劣化させ、素子特性に悪影響を及ぼしていた。そこで、BeZnSeTeの代わりにBeZnTe/ZnSeTe超格子を用いることで成長中断を無くし、素子特性への影響を削減する新たな手法を開発した。更に、この超格子のもう一つの特長として、簡便な組成制御性が挙げられる。即ち、超格子中の各層厚を変えるだけで、基板との格子整合を保ったまま超格子全体における等価的な組成が制御できる。本研究では、BeZnTe/ZnSeTeの各層厚を4分子層(ML)/2MLから1ML/20MLに変化させた超格子を分子線エピタキシー(MBE)法を用いて作製し、特性を評価した。室温でのフォトルミネッセンス(PL)測定により、ピーク波長が480nmから589nmの単峰性発光が得られた。また何れの発光もBeZnSeTeと比べ2~4倍程度の発光強度が得られた。BeZnSeTeでは、光励起により低しきい値レーザ発振が得られていることから、BeZnTe/ZnSeTe超格子においてもより優れた発振特性が得られると期待される。更に、BeZnTe/ZnSeTe超格子においてBeZnSeTeと比べ優れた特性が見出された。BeZnSeTeではBe組成を0.3以上にすると間接遷移になり、発光特性が急激に劣化する。一方、BeZnTe/ZnSeTe超格子では等価的なBe組成が0.32においてもピーク波長480nmの強い青緑色発光が得られ、直接遷移が維持されていることが分かった。このことから、超格子では、直接遷移から間接遷移へ変化するBe組成がBeZnSeTeよりも高く、より短波長化が可能であることが示された。

報告書

(4件)
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (9件)

  • [雑誌論文] Photopumped lasing characteristics in green-to-yellow range for BeZnSeTe II-VI compound quaternary double heterostructures grown on InP substrates2011

    • 著者名/発表者名
      Ichirou Nomura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50

    • NAID

      210000070082

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Photopumped green lasing on BeZnSeTe double heterostructures grown on InP substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Ichirou Nomura
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 94

    • NAID

      120005880478

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] First photopumped yellow-green lasing operation of BeZnSeTe/(MgSe/BeZnTe) doublehetero structures(DHs)grown on InP substrates2009

    • 著者名/発表者名
      Tomoya Ebisawa
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 311

      ページ: 2291-2293

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Proposal of BeZnTe/ZnSeTe superlattice quasi-quaternaries on InP substrates for yellow/green light-emitting devices2012

    • 著者名/発表者名
      Toshiki Kobayashi
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Molecular Beam Epitaxy
    • 発表場所
      奈良県奈良市
    • 年月日
      2012-09-27
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] InP基板上BeZnTe/ZnSeTe超格子擬似混晶における発光波長制御2012

    • 著者名/発表者名
      小林俊輝
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛県松山市
    • 年月日
      2012-09-14
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] InP基板上ZnCdSe/BeZnTeタイプII超格子におけるフォトルミネッセンス発光特性の評価2012

    • 著者名/発表者名
      村上佳介
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛県松山市
    • 年月日
      2012-09-14
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Development of II-VI Compound Semiconductors on InP Substrates for Green and Yellow Lasers2012

    • 著者名/発表者名
      Ichirou Nomura
    • 学会等名
      The 1st Annual World Congress of Advanced Materials Conference (WCAM-2012)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2012-06-08
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] InP基板上BeZnTe/ZnSeTe超格子擬似混晶の作製と評価2012

    • 著者名/発表者名
      小林俊輝
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] InP基板上BeZnSeTe II-VI族半導体混晶の発光特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      村石一生
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] InP基板上BeZnSeTeダブルヘテロ構造における緑色域光励起発振特性の評価2009

    • 著者名/発表者名
      澤藤豊
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Green to yellow light emitters with II-VI semiconductors2009

    • 著者名/発表者名
      Katsumi Kishino
    • 学会等名
      14th International Conference on II-VI Compounds
    • 発表場所
      St. Petersburg, Russia
    • 年月日
      2009-08-28
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Photopumped lasing characteristics of yellow-green BeZnSeTe double-heterostructures grown on InP substrates2009

    • 著者名/発表者名
      澤藤豊
    • 学会等名
      14th International Conference on II-VI Compounds
    • 発表場所
      St. Petersburg, Russia
    • 年月日
      2009-08-24
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2019-07-29  

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