| 研究課題/領域番号 |
21246019
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 弘前大学 |
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研究代表者 |
古屋 泰文 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (20133051)
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| 研究分担者 |
木村 久道 東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (00161571)
室 英夫 千葉工業大学, 工学部, 教授 (00438912)
岡崎 禎子 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 研究員 (10003328)
峯田 貴 山形大学, 理工学研究科, 教授 (50374814)
宮永 崇史 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (70209922)
岸 陽一 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70265370)
久保田 健 弘前大学, 北日本新エネルギー研究所, 准教授 (70400405)
飯島 高志 独立法人産業技術研究所, 水素材料先端科学センター, 主任研究員 (90356402)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
45,630千円 (直接経費: 35,100千円、間接経費: 10,530千円)
2012年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2011年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
2010年度: 14,560千円 (直接経費: 11,200千円、間接経費: 3,360千円)
2009年度: 17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
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| キーワード | マルチフェッロイク材料 / 磁気・電気効果 / 磁気センサ / マイクロ加工プロセス / ME効果 / マルチフェロイイク材料 / MEMS / カンチレバー / ブロードバンドAC磁場 / マルチフェロイックス材料 / 磁歪合金 / PZT / マイクロ磁気センサ / 磁気センサー / マルチフェロイクス材料 / 複合機能化 / ナノテク材料 / 電気・磁気効果 |
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| 研究概要 |
磁歪と圧電効果の相乗効果を利用した高感度磁気センサの開発と微細加工でマイクロ磁気センサを試作した。磁歪薄帯 FeSiB(50μm)と PZT(C-3)の三層構造の磁気センサは、共振周波数 74kHz で高出力を発現した。0.001Hz～100Hz 広域帯では、同一感度で検知可能、0.1Hz～100Hz 帯では、0.001 Oe の微小磁場まで検知できた。10μm 厚の Si 基板上 FePd膜を積層したカンチレバー型のマイクロ磁気センサは、30 Oe 以下の低磁場で、0.15-0.6μm/Oeの感度を示した。
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