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ナノ組織制御薄膜応用遠隔動ひずみ分布計測システム

研究課題

研究課題/領域番号 21246021
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関東北大学

研究代表者

三浦 英生  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90361112)

研究分担者 鈴木 研  東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (40396461)
研究期間 (年度) 2009 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
44,590千円 (直接経費: 34,300千円、間接経費: 10,290千円)
2012年度: 7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円)
2011年度: 7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円)
2010年度: 15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
2009年度: 14,300千円 (直接経費: 11,000千円、間接経費: 3,300千円)
キーワード材料設計 / 物性 / 評価 / ひずみ / 計測 / 非破壊検査 / カーボンナノチューブ / 分子動力学 / 第一原理 / 電子デバイス・機器 / リモートセンシング / 物性理論 / ナノチューブ・フラーレン / マイクロマシン / 電気伝導
研究概要

21世紀における「安全で安心な社会構築」を推進するため,各種構造物の稼動,運転状態における材料あるいは構造の健全性と実働負荷の評価を目的に,多層カーボンナノチューブを用い,薄膜プロセスを応用して最小空間分解能50 μmの二次元の超高感度ひずみ分布センサの開発に成功した.また,マイクロ波(電磁波)を応用し,数MHz.100 GHzの周波数領域を利用することで,90361112非接触ひずみ測定も可能であることも実証した.

報告書

(5件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (82件)

すべて 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (34件) (うち査読あり 34件) 学会発表 (42件) (うち招待講演 2件) 備考 (5件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] ANISOTROPIC STRAIN- FIELD-INDUCED CHANGE OF THE ELECTRONIC CONDUCTIVITY OF GRAPHENE SHEETS AND CARBON NANOTUBES2012

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Hiroshi Kawakami, Yusuke Suzuki, Ken Suzuki,Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of ,ASME 2012 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, (IMECE2012)

      巻: No.87347 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] カーボンナノチューブ応用二次元ひずみ分布計測センサの試作2012

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介,大橋悠輔,大西正人,鈴木研,三浦英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編)

      巻: 78巻 ページ: 689-693

    • NAID

      130002050294

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change of the Electronic Conductivity of CNTs and Graphene Sheets Caused by Three-dimensional Strain Field2012

    • 著者名/発表者名
      M.Ohnishi, H.Kawakami, Y.Suzuki, K.Suzuki,H.Miura
    • 雑誌名

      Proc. of Nanotech 2012

      巻: Vol.1 ページ: 260-263

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] カーボンナノチューブ応用二次元ひずみ分布計測センサの試作2012

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介,大橋悠輔,大西正人, 鈴木研,三浦英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編)

      巻: 78 ページ: 689-693

    • NAID

      130002050294

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change of the Electronic Conductivity of CNTs and Graphene Sheets Caused by Three-dimensional Strain Field2012

    • 著者名/発表者名
      M.Ohnishi, H.Kawakami, Y.Suzuki, K.Suzuki, and H.Miura
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE Nanotech 2012

      巻: 1 ページ: 260-263

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ANISOTROPIC STRAIN-FIELD-INDUCED CHANGE OF THE ELECTRONIC CONDUCTIVITY OF GRAPHENE SHEETS AND CARBON NANOTUBES2012

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Hiroshi Kawakami, Yusuke Suzuki, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of ASME 2012 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, (IMECE2012)

      巻: 1

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change of the Electronic Conductivity of CNTs and Graphene Sheets Caused by an Anisotropic Three-dimensional Strain Field2012

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE SISPAD2012

      巻: 1 ページ: 86-89

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets Caused by a Three-Dimensional Strain Field2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken SuzukiHideo Miura, , Yusuke Suzuki, and Yusuke Ohashi
    • 雑誌名

      Proc. of ASME InterPACK2011 , Multi Physics Based Reliability

      巻: No.52057 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Non-Contact and Remote Measurement Method of the Change of the Electrical Conductivity of Carbon Nanotubes- Dispersed Resin under Strain2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki,and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of ASME InterPACK2011

      巻: No.52064 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] カーボンナノチューブ電気伝導特性に及ぼすひずみの影響2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介,大西正人,鈴木研,三浦英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編)

      巻: 77巻 ページ: 91-95

    • NAID

      130000874066

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two-Dimensional Strain- Distribution Sensor Using Carbon Nanotube2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Ken Suzuki and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011

      巻: No.OS20-3-2 ページ: 1-8

    • NAID

      130002050294

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] カーボンナノチューブ電気伝導特性に及ぼすひずみの影響2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介, 大西正人, 鈴木研, 三浦英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編)

      巻: 77 ページ: 91-95

    • NAID

      130000874066

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Change of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets Caused by a Three-Dimensional Strain Field2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura, Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi
    • 雑誌名

      Proc.of ASME Pacific Rim Technical Conference & Exposition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Systems

      巻: IPACK52057 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Non-Contact and Remote Measurement Method of the Change of the Electrical Conductivity of Carbon Nanotubes-Dispersed Resin under strain2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of ASME Pacific Rim Technical Conference & Exposition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Systems

      巻: IPACK52064 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of ASME Pacific Rim Technical Conference & Exposition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Systems

      巻: IPACK52062 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube-Dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS 2011

      ページ: 504-505

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011

    • NAID

      130002050294

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Strain Dependence of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Graphene Sheets2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS 2011

      ページ: 508-509

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Remote Strain Sensor using Carbon Nanotube-Dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanostructure Dependence of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Katsuya Ohsaki, Yusuke Suzuki, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 2010 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition

      巻: IMECE2010-37277 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanostructure Dependence of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets2010

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Katsuya Ohsaki, Yusuke Suzuki, Ken Suzuki,and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc. of 2010 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition

      巻: No.37277 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantum Chemical Molecular Dynamics Study of Chemical Reaction Dynamics on Ni-base Alloy Surfaces in Gas-cooled Reactors2010

    • 著者名/発表者名
      Ken SUZUKI, Yoichi TAKEDA, Hideo MIURA
    • 雑誌名

      Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering

      巻: 4 ページ: 1644-1653

    • NAID

      130000420993

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of the Mechanical Properties of Underfill on the Local Deformation and Residual Stress in a Chip Mounted by Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Yuki Sato, Hiroki Kishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 11tn International conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Micro/Nanoelectronics and Systems

      ページ: 641-646

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nondestructive Evaluation of the Delamination of Fine Bumps in Three-Dimensionally Stacked Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Yuhki Sato, Naokazu Murata, Kinji Tamakawa, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of the 60^<th> Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1951-1956

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Remote Non-contact Strain Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2010

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of IMPACT Conference 2010

      巻: AS015 ページ: 1-4

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] NONDESTRUCTIVE DETECTION OF OPEN FAILURES IN THREE-DIMENSIONALLY STACKED CHIPS MOUNTED BY AREA-ARRAYED FINE BUMPS2010

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sato, Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging

      ページ: 117-123

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] REMOTE DYNAMIC STRAIN MEASUREMENT USING VERTICAL CAVITY SURFACE EMITTING LASER2010

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Aya Kaisumi, Atsushi Kitamura, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of 12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging

      ページ: 131-136

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] REMOTE STRAIN MEASUREMENT BY MULTI-WALLED CARBON NANOTUBE- DISPERSED RESIN2009

    • 著者名/発表者名
      Katsuya Osaki, Hideki Fuji, Masato Onishi, Ken Suzuki,and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proceedings of the ASME 2009 Inter PACK Conference

      巻: No.89146 ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Multi-walled Carbon Nanotube- Dispersed Resin Films for Remote Strain Measurement2009

    • 著者名/発表者名
      Katsuya Ohsaki, Hideki Fuji, Masato Ohnishi, Ken Suzuki,and Hideo Miura
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 1126-1127

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] REMOTE STRAIN MEASUREMENT BY MULTI-WALLED CARBON NANOTUBE-DISPERSED RESIN2009

    • 著者名/発表者名
      Katsuya Ohsaki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of the ASME 2009 Inter PACK Conference IP09-89146

      ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] IN-LINE EVALUTION METHOD OF THE INTRINSIC STRESS OF THIN FILMS USED FOR TRANSISTOR STRUCTURES2009

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Kishi, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Proc.of the ASME 2009 Inter PACK Conference IP09-89145

      ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Degradation of Interface Integrity Between a High-k Dielectric Thin Film and a Gate Electrode Due To Excess Oxygen in the Film2009

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura, Ken Suzuki
    • 雑誌名

      Proc.of 2009 IEEE International Reliability Physics Symposium 4A. 6

      ページ: 376-381

    • NAID

      120002070092

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Multi-walled Carbon Nanotube-Dispersed Resin Films for Remote Strain Measurement2009

    • 著者名/発表者名
      Katsuya Ohsaki, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials E8-5

      ページ: 1126-1127

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロスケールひずみセンサを用いた三次元フリップチップ実装構造内局所残留応力測定に関する研究2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木拓也, 三浦英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(A編) 75

      ページ: 831-838

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] カーボンナノチューブやグラフェンシートの電子バンド構造に及ぼす三次元ひずみ場の影響解析2012

    • 著者名/発表者名
      鈴木研,大西正人,三浦英生
    • 学会等名
      応用物理学会分科会シリコンテクノロジー
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-11-15
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Mechanics, Strengthand Reliability of Materials in Nano-and Micro Scales2012

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      2^<nd> Annual World Congress of Nanoscience and Nanotechnology 2012
    • 発表場所
      Qingdao, China
    • 年月日
      2012-10-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Anisotropic Strain-Field-induced Change of the Electronic Conductivity of Graphene Sheets and Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      13^<th> International Conference on Thermal,Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2012-04-16
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Anisotropic Strain-Field-induced Change of the Electronic Conductivity of Graphene Sheets and Carbon Nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      13th International Conference on Thermal,Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
    • 発表場所
      LIsbon, Portugal
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Mechanics, Strength and Reliability of Materials in Nano- and Micro Scales2012

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      2nd Annual World Congress of Nanoscience and Nanotechnology 2012
    • 発表場所
      Qingdao, China
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] カーボンナノチューブを応用した高感度ひずみ分布検出センサの検討2012

    • 著者名/発表者名
      川上浩司
    • 学会等名
      日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス
    • 発表場所
      松山
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Change of the Electronic Conductivity of CNTs Caused by a Three- dimensional Strain Field2012

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi
    • 学会等名
      Solid State Devices and Materials 2012 (SSDM 2012)
    • 発表場所
      Kyoto, japan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Effect of the local strain distribution on the electronic conductivity of carbon nanotubes2012

    • 著者名/発表者名
      M. Ohnishi
    • 学会等名
      International Computational Mechanics Symposium (ICMS) 2012
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Highly Sensitive Strain Sensor Using Carbon Nanotube2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Kawakami
    • 学会等名
      14th International Conference on Electronic Materials and Packaging (EMAP 2012)
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Masato Ohnishi, Ken Suzuki, and Hideo Miura, "Change of the Electronic Conductivity of CNTs and Graphene Sheets Caused by Three-dimensional Deformation2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      13^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2011-12-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Development of Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor UsingCarbon Nanotube-Dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Yusuke Suzuki, YusukeOhashi, Masato Ohnishi, and Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on SOLID STATE DEVICES ANDMATERIALS2011
    • 発表場所
      Nagoya,Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube-Dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Strain Dependence of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Graphene Sheets2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Remote Strain Sensor using Carbon Nanotube-Dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 年月日
      2011-09-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 年月日
      2011-09-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ナノスケールでの材料力学と新材料・最先端デバイスの創成2011

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      日本機械学会材料力学カンファレンスM&M2011
    • 発表場所
      小倉,福岡(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ナノ・マイクロスケールの材料力学と強度信頼性2011

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      日本機械学会M&M2011
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2011-07-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノ・マイクロスケールの材料力学と強度信頼性2011

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      日本機械学会材料力学カンファレンスM&M2011
    • 発表場所
      小倉,福岡(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-17
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Non-Contact and Remote Measurement Method of the Change of the Electrical Conductivity of Carbon Nanotubes-Dispersed Resin under Strain2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, MasatoOhnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      ASME Inter PACK 2011
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA
    • 年月日
      2011-07-11
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, MasatoOhnishi, Ken Suzuki, and Hideo Miura
    • 学会等名
      ASME InterPACK2011
    • 発表場所
      Portland,Oregon, USA
    • 年月日
      2011-07-10
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Two-Dimensional Strain-Distribution Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      ASME InterPACK2011
    • 発表場所
      Portland, USA(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Change of the Electronic Conductivity of Carbon Nanotubes and Grapheme Sheets Caused by a Three-Dimensional Strain Field2011

    • 著者名/発表者名
      Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura, Yusuke Suzuki, Yusuke Ohashi
    • 学会等名
      ASME InterPACK2011
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 年月日
      2011-07-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Non-Contact and Remote Measurement Method of the Change of the Electrical Conductivity of Carbon Nanotubes-Dispersed Resin under Strain2011

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ohashi, Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      ASME InterPACK2011
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 年月日
      2011-07-06
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] マイクロひずみ分布センサチップによる実装応力(ひずみ)の評価2010

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会2010ワークショップ
    • 発表場所
      静岡
    • 年月日
      2010-10-29
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] マイクロひずみ分布センサチップによる実装応力(ひずみ)の評価2010

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会2010ワークショップ
    • 発表場所
      Shizuoka,Japan
    • 年月日
      2010-10-28
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] NONDESTRUCTIVE DETECTION OF OPEN FAILURES IN THREE-DIMENSIONALLY STACKED CHIPS MOUNTED BY AREA-ARRAYED FINE BUMPS2010

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sato, Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      12^<th> International Conference on Electronics Materials and Packaging, Proceedings
    • 発表場所
      Singapore Singapore
    • 年月日
      2010-10-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Remote Non-contact Strain Sensor Using Carbon Nanotube-dispersed Resin2010

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Suzuki, Masato Ohnishi, KenSuzuki, and Hideo Miura
    • 学会等名
      IMPACT Conference 2010
    • 発表場所
      Taipei Taiwan
    • 年月日
      2010-10-21
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Mechanical Reliability of 3D Stacked Silicon Chips2010

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 学会等名
      The 9^<th> International Symposium on Microelectronics and Packaging
    • 発表場所
      Seoul.Korea
    • 年月日
      2010-10-04
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of the Interface Integrity between a High-k Dielectric Film and a Metal Gate Electrode by Controlling Point Defects and Residual Stress2010

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Tatsuya Inoue, Hideo Miura
    • 学会等名
      15^<th> International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices
    • 発表場所
      Bologna, Italy
    • 年月日
      2010-09-05
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 異相界面の環境誘起劣化損傷の原子レベルシミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      三浦英生, 鈴木研
    • 学会等名
      日本材料学会破壊力学部門公開委員会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Dominant Structural Factors of the Local Deformation and Residual Stress of a Silicon Chip Mounted on Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Naokazu Murata, Yuhki Sato, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2010
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulation of Oxidation Process on Clean Metal Surface in High Temperature Water2010

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      第133回破壊力学部門委員会講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-05-12
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Effect of the Mechanical Properties of Underfill on the Local Deformation and Residual Stress in a Chip Mounted by Area-Arrayed Flip Chip Structures2010

    • 著者名/発表者名
      Kohta Nakahira, Yuki Sato, Hiroki Kishi, Ken Suzuki, Hideo Miura
    • 学会等名
      11tn International conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Micro/Nanoelectronics and Systems
    • 発表場所
      Bordeaux, France
    • 年月日
      2010-04-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] カーボンナノチューブ電気伝導特性に及ぼす局所ひずみの影響2010

    • 著者名/発表者名
      大崎克也
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第45期総会・講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2010-03-12
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] カーボンナノチューブ分散ゴムを用いた大変形ひずみ計測の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介
    • 学会等名
      日本機械学会東北学生会第40回卒業研究発表会
    • 発表場所
      秋田
    • 年月日
      2010-03-05
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Micro-Texture of Electroplated Copper Thin-Films on Their Mechanical and Electrical Reliability2009

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      IMPACT Conference 2009 and International 3D IC Conference
    • 発表場所
      Taipei,台湾
    • 年月日
      2009-10-23
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Multi-walled Carbon Nanotube-Dispersed Resin Films for Remote Strain Measurement2009

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki,Katsuya Ohsaki, and Hideo Miura
    • 学会等名
      2009 International Conference on SolidState Devices and Materials
    • 発表場所
      Sendai,Japan
    • 年月日
      2009-10-08
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Multi-walled Carbon Nanotube-Dispersed Resin Films for Remote Strain Measurement2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-10-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 多層カーボンナノチューブ分散ゴムによる大変形計測の検討2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第45期秋季講演会
    • 発表場所
      福島
    • 年月日
      2009-09-26
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Strain Dependence of Dielectric Properties and Reliability of High-k Thin Films2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木悠介
    • 学会等名
      2009 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices
    • 発表場所
      San Diego,米国
    • 年月日
      2009-09-12
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] MEMSの実装と構造強度信頼性2009

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 学会等名
      第39回信頼性・保全シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-07-13
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] カーボンナノチューブを応用した高感度ひずみセンサ構造の基礎検討

    • 著者名/発表者名
      野崎 拓弥
    • 学会等名
      日本機械学会東北学生会第43回卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      一関
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.miura.rift.mech.tohoku.ac.jp

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考] 東北大学エネルギー安全科学国際研究センター三浦研究室

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.miura.rift.mech.tohoku.ac.jp/home.htm

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.miura.rift.mech.tohoku.ac.jp/home.htm

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.miura.rift.mech.tohoku.ac.jp/home.htm

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置の製造方法2009

    • 発明者名
      小藤直行, 三浦英生
    • 権利者名
      (株)日立製作所
    • 出願年月日
      2009-06-04
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2019-07-29  

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