研究課題
基盤研究(B)
低電子エネルギープラズマの精密制御のため,ガス流型プラズマ生成装置を新たに開発し,プラズマ中で連鎖的に起こる低次クラスターの形成過程やその生成機構を詳細に測定した.酸化チタンなどの金属酸化物クラスター同士の反応を通したナノ粒子やナノロッド形成機構を明らかにした.メタンの分解による重合反応の初期課程を明らかにし、重合反応を阻害する酸素や水蒸気の役割を明らかにした.低分子からナノ粒子形成への生成機構が解明された.
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