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高分解能RBS法の超高感度化に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 21360022
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関京都大学

研究代表者

木村 健二  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50127073)

研究分担者 鈴木 基史  京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00346040)
中嶋 薫  京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80293885)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2011年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2010年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2009年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
キーワードノイズ低減 / 高分解能RBS / 高分解能ERDA / 軽元素分析 / 位置検出器
研究概要

高分解能ラザフォード後方散乱法における検出感度は主にスペクトロメーターのバックグランド・ノイズで決定される。バックグランド・ノイズの主な原因は、スペクトロメーターの内壁で散乱されたイオンと検出器のダーク・ノイズである。これらを減少させる方法を開発し、最大で200分の1まで減少させることができた。これにより、シリコン中のヒ素の検出感度を10 ppmまで向上できることがわかった。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2012 2011 2010

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Improvement of sensitivity in high-resolution ERDA2012

    • 著者名/発表者名
      H. Hashimoto, K. Nakajima, M. Suzuki, K. Sasakawa, K. Kimura
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. and Methods B

      巻: 273 ページ: 241-241

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Improvement of sensitivity in high-resolution ERDA2012

    • 著者名/発表者名
      H.Hashimoto, K.Nakajima, M.Suzuki, K.Sasakawa, K.
    • 雑誌名

      clear Instruments and Methods in Physics Research

      巻: 273 ページ: 241-244

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2011.07.085

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of sensitivity in high-resolution RBS2011

    • 著者名/発表者名
      H. Hashimoto, K. Nakajima, M. Suzuki, K. Sasakawa, K. Kimura
    • 雑誌名

      Rev. Sci. In strum

      巻: 82

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Improvement of sensitivity in high-resolution RBS2011

    • 著者名/発表者名
      H.Hashimoto, K.Nakajima, M.Suzuki, K.Sasakawa, K.
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 82 号: 6

    • DOI

      10.1063/1.3594095

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Improvement of sensitivity in high-resolution RBS by reducing detector noise2011

    • 著者名/発表者名
      H. Hashimoto, K. Nakajima, M. Suzuki, K. Sasakawa, K. Kimura
    • 学会等名
      The 6th International Workshop on High-Resolution Depth Profiling
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2011-06-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] provement of sensitivity in high-resolution RBS by reducing detector noi2011

    • 著者名/発表者名
      H.Hashimoto, K.Nakajima, M.Suzuki, K.Sasakawa, K.
    • 学会等名
      The 6th International Workshop on High-Resolution Depth Profiling
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2011-06-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] High-resolution depth profiling of boron in silicon : comparison between high-resolution RBS/ERDA and atom probe2011

    • 著者名/発表者名
      Sho Fujita, Kaoru Nakajima, Kaoru Sasakawa, Motofumi Suzuki, Wilfried Vandervorst, Kenji Kimura
    • 学会等名
      8th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      Seoul, Republic of Korea
    • 年月日
      2011-05-24
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Improvement of sensitivity in high-resolution RBS/ERDA2011

    • 著者名/発表者名
      Hashimoto, K. Nakajima, M. Suzuki, K. Sasakawa, K. Kimura
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Ion Beam Analysis
    • 発表場所
      Itapema, Brazil
    • 年月日
      2011-04-14
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Improvement of sensitivity in high-resolution RBS/ERDA2011

    • 著者名/発表者名
      H.Hashimoto, K.Nakajima, M.Suzuki, K.Sasakawa, K.
    • 学会等名
      e 20th International Conference on Ion Beam Analysi
    • 発表場所
      Itapema, Brazil
    • 年月日
      2011-04-14
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 高分解能RBS/ERDAの検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減2011

    • 著者名/発表者名
      橋元弘貴, 藤田頌, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-25
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] 高分解能RBS法の検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減2010

    • 著者名/発表者名
      橋元弘貴、中嶋薫、鈴木基史、木村健二
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 高分解能RBS法の検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減2010

    • 著者名/発表者名
      橋元弘貴
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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