| 研究課題/領域番号 |
21360057
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
生産工学・加工学
|
|---|
| 研究機関 | 東北大学 |
|---|
研究代表者 |
高 偉 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)
|
|---|
| 研究分担者 |
清水 祐樹 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (70606384)
荒井 義和 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
|
| 配分額 *注記 |
19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
2011年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2009年度: 9,100千円 (直接経費: 7,000千円、間接経費: 2,100千円)
|
|---|
| キーワード | 多軸計測 / 微細格子 / 平面ステージ / 回折光 |
|---|
| 研究概要 |
次世代XYZ3軸超精密平面ステージなどの計測制御のために, シングルレーザ入射ビームとサーフェス微細格子を用いた回折光干渉型XYZ3軸サーフェスエンコーダという全く新しいXYZ3軸変位の計測原理を提案した.また, ステージに搭載可能な小型センサヘッドを試作し, シングル計測ポイントからの情報でステージのXYZ3軸変位を100mm(X)x100mm(Y)x1mm(Z)の範囲に渡って0. 1nmの分解能で一括計測できることを実証した.
|
