| 研究課題/領域番号 |
21360060
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
帯川 利之 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (70134830)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
19,630千円 (直接経費: 15,100千円、間接経費: 4,530千円)
2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2010年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2009年度: 13,390千円 (直接経費: 10,300千円、間接経費: 3,090千円)
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| キーワード | 機械工作 / 生産工学、ナノ / マイクロ工学 / 機械工作・生産工学 / 薄膜構造 / 微細塑性加工 / コーティング |
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| 研究概要 |
微細箔状素子のフレキシブルな製造方法として,金型を使用しないマイクロインクリメンタルフォーミング技術を開発し,最小の形状寸法が50ミクロン程度のアルミ箔の微細シェル構造を成形した.成形したアルミ箔の微細構造に,必要に応じて酸化ハフニウムあるいは窒化チタンのコーティングを施した後,水酸化カリウム溶液中で,成形した微細構造部のアルミ箔のみを選択的にエッチングすることにより,セラミック薄膜のみの微細三次元構造体を作成することができた.
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