| 研究課題/領域番号 |
21360062
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
柳 和久 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80108216)
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| 研究分担者 |
明田川 正人 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (10231854)
田中 秀岳 長岡技術科学大学, 工学部, 助教 (10422651)
深津 拡也 東京都立産業技術高等専門学校 (80228866)
内舘 道正 岩手大学, 工学部, 助教 (30422067)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2010年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2009年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円)
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| キーワード | ナノ・マイクロ加工 / 表面性状 / 国際標準規格 / 不確かさ / 測定標準面 |
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| 研究概要 |
三次元の表面性状測定機の校正や測定性能を検証するための測定標準面の設計指針並びに実量器の製造及び複製技術の開発を行った。慣習的な触針式表面粗さ測定機を対象に、二次元及び三次元の不規則凹凸データを新規の数学モデルで生成させ、超精密加工機による除去加工で実量器を製作した。また、電鋳及びナノインプリント技術により金型の複製を試み、実用化のための基礎的技術資料を得た。さらに、光学式表面性状測定機の測定性能を検証するため、最大傾斜を一定とする擬似的なチャープ信号波形を集束イオンビーム加工機で創製した。これらの標準面実量器に対して、不確かさを考慮した値付けを試み、使用法の指針を明らかにした。最終的に、本研究課題で得られた知見を総合してISO/TC213 WG16での規格草稿案に新規項目として盛り込む事ができた。
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