| 研究課題/領域番号 |
21360065
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 首都大学東京 |
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研究代表者 |
諸貫 信行 首都大学東京, システムデザイン学部, 教授 (90166463)
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| 研究分担者 |
金子 新 首都大学東京, システムデザイン学部, 准教授 (30347273)
田中 靖紘 首都大学東京, システムデザイン学部, 特任助教 (80568113)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
19,240千円 (直接経費: 14,800千円、間接経費: 4,440千円)
2011年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2009年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
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| キーワード | ディスペンサ / 微粒子 / 自己整列 / 制御 / 位置決め / 研磨工具 / 転写 |
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| 研究概要 |
自己整列微粒子は機能デバイスや各種プロセスのマスクに適用できる多様性があるものの,微粒子を分散させた懸濁液から基板を引上げる従来の手法では限られた微粒子を狭い範囲にしか整列できてない.そこで,ディスペンサと精密ステージを組合せて基板上での懸濁液の濡れ広がりを制御し,多様な微粒子を大面積にマスクレスで整列するための方法を提案するとともに,樹脂を用いた反転転写による固定法と研磨工具への応用を検討した.
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