| 研究課題/領域番号 |
21360073
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 福井大学 |
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研究代表者 |
岩井 善郎 福井大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40115291)
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| 研究分担者 |
本田 知己 (本田 知已) 福井大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (80251982)
宮島 敏郎 福井大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60397239)
神田 一隆 福井工業大学, 工学部, 教授 (60091675)
阿保 政義 (阿保 正義) 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (40231980)
春山 義夫 富山県立大学, 工学部, 教授 (00019225)
宇佐美 初彦 名城大学, 理工学部, 教授 (80278324)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
19,500千円 (直接経費: 15,000千円、間接経費: 4,500千円)
2011年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2010年度: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2009年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
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| キーワード | マイクロスラリージェットエロージョン / MSE / 硬質皮膜 / DLC表面モルフォロジー / 表面時系列観察法 / スクリーニング試験法 / 表面強度 / 硬質薄膜 / DLC / 表面モルフォロジー / 固体粒子衝突 |
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| 研究概要 |
薄膜の耐摩耗性や膜特性を高信頼性で評価できる評価法は、国内外で学界・産業界から強い要望がある。本研究では、新規な評価法として研究代表者らが提案しているマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法を、MSE試験装置の性能、MSE試験による摩耗率と膜特性との関係および摩耗メカニズムについての考察、さらに表面微細加工への応用の諸課題に関して研究した。TiN、TiAlN、DLC膜および単結晶Siウェハを試験材料とした。その結果、種々の薄膜に対して再現性の高い試験結果が得られた。さらに、摩耗率と膜特性(結晶配向性、硬さとヤング率、DLC膜中の水素含有量など)との関係および脆性破壊あるいは衝撃疲労による損傷メカニズムを明らかにした。数値シミュレーション解析も併せて試行した。さらに、MSE法がSiウェハ表面のナノ・マイクロスケールの微細加工に関して高い可能性を有することを示した。
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