| 研究課題/領域番号 |
21360115
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 金沢大学 |
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研究代表者 |
安達 正明 金沢大学, 機械工学系, 教授 (50212519)
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| 研究分担者 |
榎本 文彦 金沢大学, 電子情報学系, 助教 (80135045)
秋田 純一 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (10303265)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
18,980千円 (直接経費: 14,600千円、間接経費: 4,380千円)
2011年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
2009年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
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| キーワード | 光干渉 / 3次元形状 / 位相抽出 / 振動 / 高精度計測 / 白色干渉 / 振動環境下 / レーザ / 干渉顕微鏡 / FPGA / 制御 / 変位計 / 露光 / 光路差変化 / ナノメータ / 粗面 / 高速ラインカメラ / 顕微鏡 / NA |
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| 研究概要 |
振動下にある垂直走査型干渉計の光路差変化をレーザでリアルタイムかつ高速高精度に計測する手法を開発し,変化情報を基に一定の位相変化終了後毎にLED光を瞬間点灯させ干渉縞を撮影した.この手法で計測した形状結果を分析しさらなる高精度化には点灯 & 露光中に加わる振動もその影響を補正する必要を見出し,露光中の光路差変化履歴を基に振動影響を補正して位相を抽出する方法も開発し,その効果を実験で確認した.
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