| 研究課題/領域番号 |
21360121
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 関西大学 |
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研究代表者 |
新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| 研究分担者 |
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
高田 啓二 関西大学, システム理工学部, 教授 (50416939)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2010年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2009年度: 8,190千円 (直接経費: 6,300千円、間接経費: 1,890千円)
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| キーワード | SEM / MEMS / 縞解析 / 三次元形状計測 / 微細構造物計測 / 高分解能 |
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| 研究概要 |
本研究では, MEMS等の微小三次元構造物の非接触形状計測を目的とした新しい計測技術を,光学で培われた縞解析技術を基礎に光を電子線に置き換えることによって開発している.
本研究では,電子線と格子との位置関係に関する性質を用いて,光切断を電子線によって実現し,さらに,圧電素子を用いた高精度な位置決め機構をSEMチャンバー内に構築し,縞走査技術を用いることによる高分解能三次元形状計測法を確立している.
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