| 研究課題/領域番号 |
21360131
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電力工学・電力変換・電気機器
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
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研究代表者 |
滝川 浩史 豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90226952)
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| 連携研究者 |
須田 善行 豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (70301942)
桶 真一郎 津山工業高等専門学校, 電子制御工学科, 講師 (20362329)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2011年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2010年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2009年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
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| キーワード | 電気機器 / 真空アーク / 真空アークプラズマ / フィルタードアーク蒸着 / 機能性アモルファスカーボン薄膜 / ダイヤモンドライクカーボン薄膜 / 均一成膜 / 異種元素ドーピング手法 / 光学膜厚モニタ / プラズマガン / 光学特性 / 密度・硬度 |
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| 研究概要 |
真空中のアーク放電プラズマを用いた機能性薄膜蒸着装置に関し,異種元素をドープする機能を備え,かつ高品質(超平坦,均一,異物フリー)な薄膜を形成可能な新規のフィルタードアーク蒸発システムを設計・開発し,装置機能を評価し,異種元素ドープ・機能性高密度アモルファス炭素膜(機能性DLC膜)を創製した。
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