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10GHz帯対応共鳴周波数を有する大飽和磁化・超高異方性磁性薄膜デバイスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 21360145
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

中川 茂樹  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (60180246)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2010年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2009年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
キーワード大飽和磁化 / 高磁気異方性 / FeCoB / 異方性磁界 / 高共鳴周波数 / 磁歪 / 高周波透磁率
研究概要

対向ターゲット式スパッタ法で適当な下地層上に形成したFeCoB薄膜は異方的な残留歪みにより500Oeの高い異方性磁界を誘起する.この効果はB添加量が5%程度で最大となった.また,極薄のSi/NiFe層でFeCoB層を分割した多層膜ではNiFe層の(111)配向度が向上し, FeCo結晶子の(110)配向度が向上した.また,多層化によりブロッホ磁壁の発生が抑制できる磁区制御技術の開発に成功した.強磁性共鳴周波数は膜の異方性磁界で決まる値に一致し,最高で9. 2GHzとすることができた.

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (40件)

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (25件) (うち査読あり 25件) 学会発表 (15件)

  • [雑誌論文] 斜方入射スパッタ粒子を利用して作製した高異方性磁界を有するFeCoB膜2012

    • 著者名/発表者名
      中川茂樹
    • 雑誌名

      日本磁気学会誌(まぐね)

      巻: Vol.7. No.1 ページ: 26-32

    • NAID

      10030284490

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Playback performance of perpendicular magnetic recording tape media for over-50-TB cartridge by facing targets sputtering method2012

    • 著者名/発表者名
      S.Matsunuma, T.Inoue, T.Watanabe, T.Doi, Y.Mashiko, S.Gomi, K.Hirata, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials

      巻: Vol.324, No.3 号: 3 ページ: 260-263

    • DOI

      10.1016/j.jmmm.2010.12.030

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of laminated crystalline FeCoB soft magntic underlayer for perpendicular magnetic recording tape media2011

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Gomi, Yasuhiro Mashiko, Kenichiro Hirata, Satoshi Matsunuma, Inoue Tetsutaro, Tsugihiro Doi, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: Vol.109No.7

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of perpendicular magnetic recording tape media with a data capacity of over-50TB using Si/NiFe/FeCoB soft magnetic under layers2011

    • 著者名/発表者名
      S. Gomi, Y. Mashiko, K. Hirata, S. Matsunuma, T. Inoue, T. Doi, T. Watanabe, S. Nakagawa
    • 雑誌名

      Physics Procedia

      巻: Vol.16C ページ: 63-67

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Magnetization Interaction at the Interface bet-ween FeCo and TbFeCo for p-MTJ2011

    • 著者名/発表者名
      Naoaki Miyamoto, Keisuke Mamiya, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: 266巻

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of mixed phased films of γ-Fe_2O_3 and half metallic Fe_2O_3 using (100) MgO/Fe under layer for spin electronic devices2011

    • 著者名/発表者名
      Meiling Wang, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: Vol.266 ページ: 012111-012111

    • DOI

      10.1088/1742-6596/266/1/012111

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Magnetization Interaction at the Interface between FeCo and TbFeCo for p-MTJ2011

    • 著者名/発表者名
      Naoaki Miyamoto, Keisuke Mamiya, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: Vol.266 ページ: 012099-012099

    • DOI

      10.1088/1742-6596/266/1/012099

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of perpendicular magnetic recording tape media with a data capacity of over-50TB using Si/NiFe/FeCoB soft magnetic underlayers2011

    • 著者名/発表者名
      S.Gomi, Y.Mashiko, K.Hirata, S.Matsunuma, T.Inoue, T.Doi, T.Watanabe, S.Nakagawa
    • 雑誌名

      Physics Procedia

      巻: Vol.16C ページ: 63-67

    • DOI

      10.1016/j.phpro.2011.06.109

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] FePt ordered alloy films with (001) orientation fabricated with FeCoB soft under layer2011

    • 著者名/発表者名
      Makoto Tanaka, Syunsuke Gomi, Yuji Ogata, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47,No.10 号: 10 ページ: 3151-3153

    • DOI

      10.1109/tmag.2011.2157111

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of bcc-FeCo(100) crystalline orientation by introducing Oxygen2011

    • 著者名/発表者名
      Naoaki Miyamaoto, Yuki Kubota, Keisuke Mamiya, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47,No.10 号: 10 ページ: 3917-3920

    • DOI

      10.1109/tmag.2011.2148695

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] FePt films 2 nanometers thick with (001) preferential orientation on a MgO underlayer2011

    • 著者名/発表者名
      Makoto Tanaka, Yuji Ogata, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: Vol.109, No.7 号: 7

    • DOI

      10.1063/1.3549569

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of mixed phased films of _Y-Fe_2O_3 and half metallic Fe_3O_4 using (100) MgO/Fe under layer for spin electronic devices2011

    • 著者名/発表者名
      M L Wang, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: 266

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Magnetization Interaction at the Interface bet-ween FeCo and TbFeCo for _P-MPJ2011

    • 著者名/発表者名
      Naoaki Miyamoto, Keisuke Mamiya, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: 266

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Highly (100) oriented MgO growth on thin Mg layer in MTJ structure2011

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Jimbo, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series

      巻: 266

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magntic anisotropy field of Ru/FeCoB film2010

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro Hirata, Shunsuke Gomi, Yasuhiro Mashiko, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 107巻

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Fe diffusion in MgO/Fe seedlayers to attain (100) oriented Pt underlayer for perovskite films with c-axis orientation2010

    • 著者名/発表者名
      Tatsuro Matsumoto, Kazuhiro Tamai, Yuji Murashima, Kazuki KomakiShigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Thin Solid FIlms

      巻: 518

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of multilayer configuration of [Fe/Pt] multilayer to attain (001) oriented FePt ordered alloy thin films2010

    • 著者名/発表者名
      Yuji Ogata, Yasuharu Imai, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 107

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Crystalline Orientation and Lattice Distortion of FeCo Spin Polarization Enhancement Layer in perpendicular MTJ with RE-TM Alloy Films2010

    • 著者名/発表者名
      Naoaki Miyamoto, Hideto Ohmori, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 107

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si/NiFe/FeCoB Crystalline SUL to Reduce Ru Intermediate Layer Thickness for CoPtCr-SiO Granular Perpendicular Magnetic Recording Media2009

    • 著者名/発表者名
      Matsuu, T.; Hirata, K.; Gomi, S.; Hashimoto, A.; Matsunuma, S.; Inoue, T.; Doi, T.; Nakagawa, S.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: 45(10)巻 ページ: 3572-3575

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ru/FeCoB double layered film with high in-plane magnetic anisotropy field of 500 Oe2009

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichiro Hirata, Atsuto Hashimoto, Toshimitsu Matsuu, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 105巻

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ru/FeCoB crystalline soft magnetic underlayer high anisotropy field for CoPtCr-SiO_2 granular perpendicular magnetic recording media2009

    • 著者名/発表者名
      Toshimitsu MATAUU, Kenichiro HIRATA, Atsuto HASHIMOTO, Satoshi MATSUNUMA, Tetsutaro INOUE, Tsugihiro DOI, Shigeki NAKAGAWA
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 105

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ru/FeCoB double layered film with high in-plane magnetic anisotropy field of 500 Oe2009

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichiro Hirata, Atsuto Hashimoto, Toshimitsu Matsuu, Shigeki Nakagawa
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 105

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si/NiFe/FeCoB Crystalline SUL to Reduce Ru Intermediate Layer Thickness for CoPtCr-SiO Granular Perpendicular Magnetic Recording Media2009

    • 著者名/発表者名
      Matsuu, T.; Hirata, K.; Gomi, S.; Hashimoto, A.; Matsunuma, S.; Inoue, T.; Doi, T.; Nakagawa, S.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 45(10)

      ページ: 3572-3575

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Magnetic Recording Measurements of Sputtered Media on Tape at an Areal Density of 14 Gbits/in^22009

    • 著者名/発表者名
      Berman, D.; Chembrolu, V.H.; Topuria, T.; Matsunuma, S.; Inoue, T.; Doi, T.; Matsuu, T.; Hashimoto, S.; Hirata, K.; Nakagawa, S.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 45(10)

      ページ: 3584-3586

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comparison of Playback Performance of Facing Targets Sputtered Perpendicular and Longitudinal Tape Media2009

    • 著者名/発表者名
      Matsunuma, S.; Inoue, T.; Doi, T.; Matsuu, T.; Hashimoto, A.; Hirata, K.-I.; Nakagawa, S.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 45(10)

      ページ: 3598-3600

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Ru/FeCoBにおける強磁性共鳴のFeCoB膜厚依存性2011

    • 著者名/発表者名
      饒平名礼生,益子泰裕,平田健一郎,中川茂樹
    • 学会等名
      第35回日本磁気学会学術講演会29pF-5
    • 発表場所
      新潟市
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of B content on magnetic anisotropy field of FeCob films with high ferromagnetic resonance frequency above 9 GHz2011

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Nakagawa, Yasuhiro Mashiko, Ken-ichoro Hirata
    • 学会等名
      Intermag 2011 Taipei
    • 発表場所
      台北市(台湾)
    • 年月日
      2011-04-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] FeCoB Films with High Ferromagnetic Tesonance Frequency above 9 GHz induced by Anisotropic Residual Stress2010

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Nakagawa, Yasuhiro Mashiko, Ken-ichoro Hirata
    • 学会等名
      1st International Conference of AUMS(ICAUMS 2010) organized by the Asian Union of Magnetics Societies(AUMS)
    • 発表場所
      済州島(韓国)
    • 年月日
      2010-12-06
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Effect of B addition on high anisotropy field of FeCoB films on Ruunderlayers2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mashiko, Ken-ichoro Hirata, Shigeki Nakagawa
    • 学会等名
      55th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials. FH-13
    • 発表場所
      Atlanta(USA)
    • 年月日
      2010-11-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Ru/FeCoB膜のB添加による面内磁気異方性の改善2010

    • 著者名/発表者名
      益子泰裕,五味俊輔,平田健一郎,中川茂樹
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会7aD-9
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2010-09-07
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 2層構造の結晶性FeCoB裏打ち軟磁性層を用いた垂直磁気記録テープの特性改善2010

    • 著者名/発表者名
      五味俊輔,益子泰裕,平田健一郎,松沼悟,井上鉄太郎,土井嗣裕,渡辺利幸,中川茂樹
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会5aA-9
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2010-09-05
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film2010

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro Hirata, Shunsuke Gomi, Yasuhiro Mashiko, Shigeki Nakagawa
    • 学会等名
      The 11th Joint MMM-Intermag Conferece, FE-08
    • 発表場所
      Washigton, DC(USA)
    • 年月日
      2010-01-21
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct observation of an anisotropic in-plane residual stress induced by B addition as an origin of high magnetic anisotropy field of Ru/FeCoB film2010

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro HIRATA, Shunsuke GOMI, Yasuhiro MASHIKO, Shigeki NAKAGAWA
    • 学会等名
      The 11th Joint MMM-Intermag Conferece
    • 発表場所
      Washington DC
    • 年月日
      2010-01-21
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] FeCoB Films with High Ferromagnetic Tesonance Frequency above 9 GHz induced by Anisotropic Residual Stress2010

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Nakagawa, Yasuhiro Mashiko, Ken-ichoro Hirata
    • 学会等名
      1st International Conference of AUMS (ICAUMS 2010) organized by the Asian Union of Magnetics Societies (AUMS)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 結晶性Si/NiFe/FeCoB裏打ち軟磁性層を用いた垂直磁気記録媒体2009

    • 著者名/発表者名
      五味俊輔, 平田健一郎, 松鵜利光, 松沼悟, 井上鉄太郎, 土井嗣裕, 中川茂樹
    • 学会等名
      第33回 日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学文教キャンパス
    • 年月日
      2009-09-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 高い面内異方性磁界を有するFeCoB膜に及ぼすRu下地層の影響2009

    • 著者名/発表者名
      平田健一郎, 五味俊輔, 中川茂樹
    • 学会等名
      第33回 日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学文教キャンパス
    • 年月日
      2009-09-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 高い面内異方性磁界を有するFeCoB膜に及ぼすRu下地層の影響2009

    • 著者名/発表者名
      平田健一郎,五味俊輔,中川茂樹
    • 学会等名
      第33回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市
    • 年月日
      2009-09-13
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 結晶性Si/NiFe/FeCoB裏打ち軟磁性層を用いた垂直磁気記録媒体2009

    • 著者名/発表者名
      五味俊輔,平田健一郎,松鵜利光,松沼悟,井上鉄太郎,土井嗣裕,中川茂樹
    • 学会等名
      第33回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市
    • 年月日
      2009-09-12
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Directional Alignment of FeCo Crystallites in Si/NiFe/Ru/FeCoB Multilayer with High Anisotropy Field above 500 Oe2009

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro Hirata, Toshimitsu Matsuu, Shunsuke Gomi, Shigeki Nakagawa
    • 学会等名
      ICMAT2009 and IUMRS-ICA 2009
    • 発表場所
      Singapore(Singapore)
    • 年月日
      2009-06-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Directional Alignment of FeCo Crystallites in Si/NiFe/Ru/FeCoB Multilayer with High Anisotropy Field above 500Oe2009

    • 著者名/発表者名
      Kenichiro HIRATA, Toshimitsu MATSUU, Shunsuke GOMI, Shigeki NAKAGAWA
    • 学会等名
      ICMAT2009 and IUMRS-ICA 2009
    • 発表場所
      Suntec Singapore International Convention & Exhibition Centre, Singapore
    • 年月日
      2009-06-29
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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