研究課題
基盤研究(B)
分極機能型強誘電体ゲート電界効果トランジスタの特性におよぼす電気多重極子の効果を精査し、その指導原理を構築することを目的とした検討を行った。インピーダンス分光と集中定数モデルを用いた解析から、極性半導体の自発分極の効果により低電圧でのオンオフ動作が可能であることを明らかにした。また低温プロセスや微細化プロセスの開発も行った.低温プロセスで作製した分極機能型強誘電体ゲート電界効果トランジスタのチャネル移動度に及ぼす強誘電分極ドメインの影響を調べた結果、キャリアは強誘電体分極ドメイン壁によって散乱されるが、強誘電体を単分極化することで高い移動度が得られることが明らかになった。
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