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シリコン上ゲルマニウムエピタキシャル層を用いた1. 5ミクロン帯発光素子の開拓

研究課題

研究課題/領域番号 21360163
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東京大学

研究代表者

石川 靖彦  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (60303541)

研究分担者 志村 考功  大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90252600)
連携研究者 和田 一実  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (30376511)
近藤 高志  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (60205557)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円)
2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2010年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2009年度: 11,570千円 (直接経費: 8,900千円、間接経費: 2,670千円)
キーワードシリコンフォトニクス / ゲルマニウム / 発光 / MBE、エピタキシャル / 半導体物性 / 光物性 / 光源技術 / 微小共振器
研究概要

Si基板上にエピタキシャル成長したGe層を用い、電流注入型1. 5μm帯発光素子を実現することを目的として、研究を実施した。Si上Ge-pinダイオードにおいて、直接遷移による1. 5μm帯電流注入発光を観測した。発光の高効率化には、Geの伝導帯「点へ電子を注入し、価電子帯「点の正孔と再結合させることが効果的である。Г点に伝導帯下端をもつGaAsを電子注入に用いるn-GaAs/i-Ge/p-Siダイオードの作製を進めた。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (8件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] シリコン・ゲルマニウムフォトニクス2011

    • 著者名/発表者名
      石川靖彦
    • 雑誌名

      Optronics

      巻: 350 ページ: 110-116

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Near-Infrared Ge Photodiodes for SiPhotonics : Operation Frequency and AnApproach for the Future2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa and Kazumi Wada
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Journal

      巻: 2(3) 号: 3 ページ: 306-320

    • DOI

      10.1109/jphot.2010.2046026

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Germanium for silicon photonics2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa and Kazumi Wada
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 518(6) 号: 6 ページ: S83-S87

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2009.10.062

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Near-Infrared Ge Photodiodes for Si Photonics : Operation Frequency and An Approach for the Future2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wada
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Journal

      巻: 2 ページ: 306-320

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Germanium for silicon photonicss2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wada
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Near-Infrared Ge Photodiodes for Si Photonics : Operation Frequency and An Approach for the Future2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wade
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Journal(掲載決定) 2(印刷中(掲載決定))

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Geを利用したシリコンフォトニクス用発光デバイス2011

    • 著者名/発表者名
      石川靖彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会シリコン・フォトニクス時限研究専門委員会第16回シリコンフォトニクス研究会
    • 発表場所
      調布(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Light emission and detection using strained Ge layers on Si2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Jiro Osaka, Kazumi Wada
    • 学会等名
      E-MRS 2011 Spring Meeting, Symposium I : Transport and photonics in Si-based nanodevices
    • 発表場所
      Nice, France(招待講演)
    • 年月日
      2011-05-10
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Geを利用したシリコンフォトニクス用発光デバイス2011

    • 著者名/発表者名
      石川靖彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会シリコン・フォトニクス時限研究専門委員会第16回シリコンフォトニクス研究会
    • 発表場所
      調布
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Light emission and detection usingstrained Ge layers on Si2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Jiro Osaka and Kazumi Wada
    • 学会等名
      Symposium I : Transport and photonics in Si-basednanodevices, E-MRS 2011 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Strained Ge-on-Si beam for tunable mid-infrared light source2010

    • 著者名/発表者名
      Ryota Suzuki, Kohei Yoshimoto, Laurent Decosterd, Yasuhiko Ishikawa, Kazumi Wada
    • 学会等名
      E-MRS 2010 Spring Meeting, Symposium J : Si-based Nanophotonics
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • 年月日
      2010-06-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Strained Ge-on-Si beam for tunablemid-infrared light source2010

    • 著者名/発表者名
      Ryota Suzuki, Kohei Yoshimoto, Laurent Decosterd, Yasuhiko Ishikawa, and Kazumi Wada
    • 学会等名
      Symposium J : Si-based Nanophotonics, E-MRS2010 Spring Meeting
    • 発表場所
      Strasbourg
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Ge Photodetectors in Silicon Photonics2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Jiro Osaka, Kazumi Wade
    • 学会等名
      IEEE LEOS 2009 Annual Meeting
    • 発表場所
      ベレクーアンタルヤ(トルコ)
    • 年月日
      2009-10-06
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Ge Photodetectors in Silicon Photonics2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Ishikawa, Jiro Osaka and Kazumi Wada
    • 学会等名
      IEEE LEOS2009 Annual Meeting
    • 発表場所
      Belek-Antalya, Turkey
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.emat.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.microphotonics.material.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.microchotonies.material.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.microphotonics.material.t.u-tokyo.ac.jp

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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