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集積化 MEMS 技術による局所高精細触覚イメージング

研究課題

研究課題/領域番号 21360169
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関香川大学

研究代表者

高尾 英邦  香川大学, 微細構造デバイス統合研究センター, 准教授 (40314091)

研究期間 (年度) 2009 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2012年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2010年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2009年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
キーワードセンシング / 触覚センサ / 集積化MEMS技術 / 3軸力覚 / 滑り検知 / 集積回路 / アレイセンサ
研究概要

本研究では,集積化 MEMS 技術を用いて複合的なセンシング機能を統合した触覚イメージセンサを実現し,微小エリアを高精細で検知可能な触覚イメージング技術を開発した。人間の皮膚と類似の触覚機能や感度を実現する新しいセンサデバイスを実現し,3軸力覚の 2 次元イメージングや,手触り感を取得するための表面粗さと柔軟性のセンシング,並びに,そのデバイスを用いたリアルタイムイメージングシステムを実現することに成功した。

報告書

(5件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (47件)

すべて 2013 2012 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (27件) (うち招待講演 1件) 図書 (5件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] A Post-CMOS Formation Process of High-Adhesiveness SU-8 Structures for Reliable Fabrication of Integrated MEMS sensors2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, H. Takao
    • 雑誌名

      Japanese Jouranal of Applied Physics

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] A Post-CMOS Formation Process of High-Adhesiveness SU-8 Structures for Reliable Fabrication of Integrated MEMS sensors2013

    • 著者名/発表者名
      Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    • 雑誌名

      Japanese Jouranal of Applied Physics

      巻: in print

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Sensors2012 Conference

      巻: 1 ページ: 40-43

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao
    • 雑誌名

      Proc. 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference

      巻: 1

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャー2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会誌

      巻: Vol. 94, No.6 ページ: 470-474

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 小特集「五感」情報処理-生理的基盤とハードウェアに立脚したアプリケーションの展望-皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャー2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会誌

      巻: 18 ページ: 470-474

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 皮膚感覚の超越を目指すシリコン集積化触覚イメージャ2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会誌 小特集:「五感」情報処理-生理的基盤とハードウェアに立脚したアプリケーションの展望

      巻: 6月号(出版中)

    • NAID

      110008662128

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures2010

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, T. Ichikawa, T. Nakata, K. Sawada, M. Ishida
    • 雑誌名

      ASME/IEEE Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: Vol. 19, No. 4 ページ: 919-926

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] A Multifunctional Integrated Silicon Tactile Imager with Arrays of Strain and Temperature Sensors on Single Crystal Silicon Diaphragm2010

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, M. Yawata, K. Sawada, M. Ishida
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A Physical

      巻: Vol. 160 ページ: 69-77

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] A Multifunctional Integrated Silicon Tactile Imager with Arrays of Strain and Temperature Sensors on Single Crystal Silicon Diaphragm2010

    • 著者名/発表者名
      H.Takao, et al.
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

      巻: Vol.160 ページ: 69-77

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures2010

    • 著者名/発表者名
      H.Takao, et al.
    • 雑誌名

      ASME/IEEE Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: Vol.10 No.4 ページ: 919-926

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Multifunctional Integrated Silicon Tactile Imager with Arrays of Strain and Temperature Sensors on Single Crystal Silicon Diaphragm2010

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Versatile Integration Technology of SOI-MEMS/CMOS Devices Using Microbridge Interconnection Structures2010

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 雑誌名

      ASME/IEEE Journal of Microelectromechanical Systems (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 材料判別能にむけた複合センサを集積するメッシュ状シリコン触覚イメージセンサ2013

    • 著者名/発表者名
      高木優佑; 前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    • 学会等名
      平成25年電気学会全国大会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 接触面から複数の触覚情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイの設計と製作2012

    • 著者名/発表者名
      前田祐作;高木優佑;寺尾京平;鈴木孝明;下川房男;高尾英邦
    • 学会等名
      2012年春期第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Ail-Flow Based Multifunctional Tactile Display Device with Multi-Jet Integrated Micro Venturi Nozzle Array2012

    • 著者名/発表者名
      M.Arai, K.Terao, T.Suzuki, F.Shimokawa, F.Oohira, H.Takao
    • 学会等名
      The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012)
    • 発表場所
      France, Paris
    • 年月日
      2012-02-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, and H. Takao
    • 学会等名
      Proc. of IEEE Sensors2012 Conference
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda, K. Terao, T. Suzuki, F. Shimokawa, and H. Takao
    • 学会等名
      Proc. of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Evaluation of Highly Sensitive C/V Converter with an Inverter for CMOS/MEMS Integration2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, R. Kodama, H. Miyao, M. Ishida
    • 学会等名
      Proc. of World Automation Congress 2012(WAC2012)
    • 発表場所
      Puert Varralta, Mexico
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 基準面を用いて物体表面から摩擦力および硬さ情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイ2012

    • 著者名/発表者名
      前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    • 学会等名
      第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      北九州国際会議場
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 新機能創出にむけた集積化シリコンMEMS技術とその応用2012

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦; 大平文和
    • 学会等名
      第30回レーザセンシングシンポジウム
    • 発表場所
      オリビアン小豆島
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Evaluation of Highly Sensitive C/V Converter with an Inverter for CMOS/MEMS Integration2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, R. Kodama, H. Miyao, M. Ishida
    • 学会等名
      World Automation Congress 2012 (WAC2012)
    • 発表場所
      Puert Varralta
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] MEMS/CMOS集積化技術の過去・現在・未来~デバイス技術と設計技術の変遷~2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-
    • 発表場所
      日本,宮崎
    • 年月日
      2011-11-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800μm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm2011

    • 著者名/発表者名
      H.Takao, H.Okada, M.Ishida, T.Suzuki, F.Oohira
    • 学会等名
      IEEE Sensors2011 Conference
    • 発表場所
      Ireland, Limerick
    • 年月日
      2011-10-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A Venturi-type Micro Mist Generator fabricated by MEMS Technology and its Application to Local Surface Cooling of Target Objects2011

    • 著者名/発表者名
      M.Arai, K.Terao, T.Suzuki, F.Shimokawa, F.Oohira, H.Takao
    • 学会等名
      24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
    • 発表場所
      日本,京都
    • 年月日
      2011-10-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] In-pixel type small-scale integrated C-V converter with chopper stabilized CMOS inverter2011

    • 著者名/発表者名
      R.Kodama, H.Miyao, M.Ishida, H.Takao
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      日本,名古屋
    • 年月日
      2011-09-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] センサ・CMOS集積化技術★徹底解説2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      Electronic Journal Technical Seminar
    • 発表場所
      東京,総評会館
    • 年月日
      2011-07-25
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Zero Temperature Coefficient Gas-Seald Pressure Sensor Using Mechanical Temperature Compensation2011

    • 著者名/発表者名
      X.C.Hao, Y.G.Jiang, H.Takao, K.Maenaka, T.Fujita, K.Higuchi
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers'11)
    • 発表場所
      中国,北京
    • 年月日
      2011-06-06
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 集積化センサ技術とその実用例~そのポテンシャルを活かす回路と集積化の勘所~2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      NEアカデミー
    • 発表場所
      東京,Biz新宿
    • 年月日
      2011-04-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800μm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm2011

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, H. Okada, M. Ishida, T. Suzuki, F. Oohira
    • 学会等名
      Proc. of IEEE Sensors2011 Conference
    • 発表場所
      Limerick Ireland
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] In-pixel type small-scale integrated "C-V converter with chopper stabilized CMOS inverter2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kodama, H. Miyao, M. Ishida, and H. Takao
    • 学会等名
      Proc. of 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A Robust and Sensitive Silicon Tactile Imager with Individually Formed SU-8 Protective Layers on Piezoresistor Pixels2010

    • 著者名/発表者名
      H.Takao, et al.
    • 学会等名
      IEEE Sensors2010
    • 発表場所
      アメリカ合衆国, ハワイ州ワイコロア
    • 年月日
      2010-11-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 高耐圧CMOS技術を用いた集積化アクチュエータアレイ駆動回路の製作と評価2010

    • 著者名/発表者名
      小玉亮, 他
    • 学会等名
      第2回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くに びきメッセ(島根県)
    • 年月日
      2010-10-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 画素内集積型CV変換回路を有する高感度微弱力センサアレイ2010

    • 著者名/発表者名
      小玉亮, 他
    • 学会等名
      第27回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 発表場所
      島根県立産業交流会館(島根県)
    • 年月日
      2010-10-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 異種機能集積化におけるMEMS/CMOS設計技術2010

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(招待講演)
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 集積化センサ技術2010

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      NEアカデミー
    • 発表場所
      BIZ新宿(東京都)(招待講演)
    • 年月日
      2010-09-01
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] A Robust and Sensitive Silicon Tactile Imager with Individually Formed SU-8 Protective Layers on Piezoresistor Pixels2010

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, H. Okada, M. Ishida, T. Terao, T. Suzuki, F. Oohira
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2010 Conference
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A Membrane Tyep Si-MEMS Tactile Imager with Fingerprint Structure for Realization of Slip Sensing Capability2010

    • 著者名/発表者名
      H. Okada, M. Yawata, M. Ishida, K. Sawada, H. Takao
    • 学会等名
      Proc. of The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2010)
    • 発表場所
      HongKong, China
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A Membrane Type Si-MEMS Tactile Imager with Fingerprint Structure for Realization of Slip Sensing Capability2010

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010)
    • 発表場所
      Hong Kong, China
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Three Dimensional Surface-Shape Tactile Imager with Fingertip-Size Silicon Integrated Sensor-Membrane2009

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers'09)
    • 発表場所
      Denver, Colorado, USA
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [図書] 電気工学ハンドブック(第七版)10編第3章8節「集積化システムの製作プロセス」2013

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 総ページ数
      4
    • 出版者
      電気学会
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [図書] 異種機能集積化ハンドブック,担当箇所:第14 章 集積化 MEMS センサ実現のための回路設計2012

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 出版者
      CMC 出版
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [図書] Electronic Journal Archives2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 総ページ数
      76
    • 出版者
      株式会社 電子ジャーナル
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [図書] Electronic Journal Archives No.186センサ・CMOS集積化技術★徹底解説2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 総ページ数
      76
    • 出版者
      株式会社電子ジャーナル
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [図書] 電気工学ハンドブック(第七版)10編第3章8節「集積化システムの製作プロセス」2011

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 出版者
      電気学会(印刷中)
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [産業財産権] 触覚センサ2012

    • 発明者名
      高尾英邦
    • 権利者名
      香川大学
    • 産業財産権番号
      2012-034357
    • 出願年月日
      2012-02-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [産業財産権] MEMS光学部品2012

    • 発明者名
      高尾英邦, 大平文和, 下川房男
    • 権利者名
      香川大学
    • 産業財産権番号
      2012-042744
    • 出願年月日
      2012-02-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2019-07-29  

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