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ナノギャップ電極を用いた単一及び少数結合型ハーフメタル・ナノ微粒子の物性計測

研究課題

研究課題/領域番号 21360345
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 構造・機能材料
研究機関甲南大学

研究代表者

小堀 裕己  甲南大学, 理工学部, 准教授 (90202069)

研究分担者 清水 哲夫  産業技術総合研究所, ナノシステム研究部門・ナノ光電子応用研究グループ, 主任研究員 (40357215)
内藤 泰久  産業技術総合研究所, ナノシステム研究部門・ナノ構造アクティブデバイスグループ, 研究員 (10373408)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
18,070千円 (直接経費: 13,900千円、間接経費: 4,170千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2010年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2009年度: 13,130千円 (直接経費: 10,100千円、間接経費: 3,030千円)
キーワードナノ構造 / ハーフメタル / ナノギャップ / ナノ微粒子 / マグネタイト / 物性計測 / ナノギャップ電極 / ナノマニピュレーション
研究概要

走査型電子顕微鏡の装置内に組み込まれたカーボンナノチューブ・プローブを用いて、単一および少数のナノ微粒子をナノギャップ電極中に設置したナノ微粒子計測用デバイスを作製した。そのデバイスを用いて、マグネタイト・ナノ微粒子の導電特性を計測した結果、接触抵抗の影響が非常に大きいことがわかった。その問題を克服するために、RFマグネトロンスパッタリング法を採用し、ナノギャップ中に少数のマグネタイト・ナノ微粒子を埋め込んだ接触抵抗の小さいナノ微粒子計測用デバイスを作製する事に我々は成功した。その電気および磁気伝導特性を測定し、その輸送機構を明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (46件)

すべて 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (18件) (うち査読あり 18件) 学会発表 (22件) 図書 (2件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Electrical-and Magneto-Resistance Control for Magnetite Nanoparticle Sinter by Regulation of Heat Treatment Temperature2011

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、旭俊則、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      J. Mag. Mag. Mat.

      巻: Vol.323 ページ: 686-690

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Magnetoresistance Intensification of Fe3O4/BaTiO3 Nanoparticle-Composite-Sinter Produced by Low Temperature Heat Treatment2011

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、氏本勝也、星野晃範、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、堀江智之、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      J. Supercon. Nov. Mag.

      巻: 25 号: 8 ページ: 2809-2812

    • DOI

      10.1007/s10948-011-1271-9

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Non-volatile high-speed resistance switching nanogap junction memory2011

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫、内藤泰久、Somu Kumaragurubaran, 他7名
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: Vol.99

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Non-volatile high-speed resistance switching nanogap junction memory2011

    • 著者名/発表者名
      Somu Kumaragurubaran, 高橋剛、増田雄一郎、古田成生、角谷透、小野雅敏、清水哲夫、菅洋志、堀川昌代、内藤泰久
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 99

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical- and Magneto-resistance control for magnetite nanoparticle sinter by regulation of heat treatment temperature2011

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、旭俊則、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials

      巻: 323 ページ: 686-690

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Threshold Current Density of the Resistance Switching Effect in Pt Nanogap Junction2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、角谷透、堀川昌代、Somu Kumaragurubaran、清水哲夫、内藤泰久
    • 雑誌名

      Japanese Journal Of Applied Physics

      巻: Vol.50

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of electrode size on resistance switching effect in nanogap junctions2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、宮崎久生、小高隼介、塚越一仁、清水哲夫、内藤泰久
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: Vol.97

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Memory Effect in Simple Cu Nanogap Junction2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、宮崎久生、小高隼介、塚越一仁、清水哲夫、内藤泰
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc

      巻: Vol.1250

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置2010

    • 著者名/発表者名
      新堀俊一郎、白山裕也、川上辰男、横須賀俊太郎、樫村健太、綿谷透、清水哲夫、内藤泰久、徳本洋志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: Vol.53 ページ: 112-115

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Memory Effect in Simple Cu Nanogap Junction2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、宮崎久生、小高隼介、塚越一仁、清水哲夫、内藤泰久
    • 雑誌名

      Mater.Res.Soc.Symp.Proc

      巻: 1250 ページ: 5-9

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spin-dependent-magnetoresistance control by regulation of heat treatment temperature for magnetite nano-particle sinter2009

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、旭俊則、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      Annalen der Physik

      巻: Vol.13 ページ: 985-988

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Magneto-resistance control by use of interparticle-coupling-form variation in half-metallic magnetite nano-particle sinter2009

    • 著者名/発表者名
      旭俊則、小堀裕己、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      Proceedings of the 25th International Conference of Low Temperature Physics J. Phys.: Conf. Ser.

      巻: Vol.150

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structure-disorder induced magneto-resistance intensification on spin-dependent-conduction in magnetite(Fe3O4) thin film produced by RF magnetron sputtering method2009

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、清水大介、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      Proceedings of the 25th International Conference of Low Temperature Physics J. Phys.: Conf. Ser.

      巻: Vol.150

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of nanogap junction resistance by imposed pulse voltage2009

    • 著者名/発表者名
      増田雄一郎, 高橋剛、古田成生、小野雅敏、清水哲夫、内藤泰久
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: Viol. 256 ページ: 1028-103

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The Effect of Gas Molecules on Resistance Switch Employing a Gold Nanogap Junction2009

    • 著者名/発表者名
      内藤泰久、堀川昌代、清水哲夫
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.49

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanomanipulation of Single Nanoparticle Using a Carbon Nanotube Probe in a Scanning Electron Microscope2009

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、内藤泰久、田中深幸、堀川昌代、小堀裕己、清水哲夫
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol.2 ページ: 5504-5504

    • NAID

      10025086221

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanomanipulation of Single Nanoparticle Using a Carbon Nanotube Probe in a Scanning Electron Microscope2009

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、内藤泰久、田中深幸、堀川昌代、小堀裕己、清水哲夫
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

      ページ: 5504-5506

    • NAID

      10025086221

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spin-Dependent-Magnetoresistance Control by Regulation of Heat Treatment Temperature for Magnetite Nano-Particle Sinter2009

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、旭俊則、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安藤淳、川中浩史、内藤泰久、清水哲夫
    • 雑誌名

      Annalen der Physik 18

      ページ: 935-938

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 無残渣加工可能な吸引型局所プラズマによる半導体デバイス加工とその応用2012

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫
    • 学会等名
      日本真空学会産業部会
    • 発表場所
      機械振興会館(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 吸引型局所プラズマ装置によるナノレベル加工2012

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫
    • 学会等名
      ナノテク展
    • 発表場所
      東京ビックサイト(招待講演)
    • 年月日
      2012-02-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Nonvolatile memories with controllable nanogap structures2011

    • 著者名/発表者名
      古田成生、増田雄一郎、高橋剛、Somu Kumaragurubaran, 小野雅敏、菅洋志、清水哲夫, 内藤泰久
    • 学会等名
      11^<th> Non-Volatile Memory Technology Symposium (NVMTS2011)
    • 発表場所
      上海中国
    • 年月日
      2011-11-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Resistance Switching using Nanogap Junctionsin Gas Molecules Enviroments2011

    • 著者名/発表者名
      内藤泰久、菅洋志、堀川昌代、清水哲夫
    • 学会等名
      EQuantum Nanostrucure and Nanoelectronics 2011
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 年月日
      2011-10-03
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 単結晶ナノ電極の作製と評価2011

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、角谷透、古田成生、植木隆一、宮沢陽介、西島拓哉、藤田淳一、塚越一仁、清水哲夫、内藤泰久
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 急速熱処理還元法で作製したマグネタイト(Fe_3O_4)薄膜の磁気抵抗効果2011

    • 著者名/発表者名
      高田直也, 小堀裕己, 山崎篤志, 杉村陽, 谷口年史, 堀江智之, 内藤泰久, 清水哲夫
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Intensified Magneto-Resistance by RapThermal Annealing in Magneti Film on SiO2 Glass Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、森井和真、山崎篤志、杉村陽、谷口水哲夫
    • 学会等名
      26th International Confe Temperature Physics
    • 発表場所
      Beijing International Convention Center(北京)
    • 年月日
      2011-08-12
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] E結晶再構成を利用した単結晶ナノギャップ電極の作製2011

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、角谷透、古田成生、植木竜一、宮澤陽介、西嶋拓哉、藤田淳一, 堀川昌代、清水哲夫、内藤泰久
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-06-24
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] マグネタイト(Fe_3O_4)・チタン酸バリウム(BaTiO_3)ナノ微粒子混合焼結体の電気および磁気伝導特性2011

    • 著者名/発表者名
      福留にあと, 小堀裕己, 山崎篤志, 杉村陽, 谷口年史, 堀江智之, 内藤泰久, 清水哲夫
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-24
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Electrode W Memory2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀内藤泰久
    • 学会等名
      23th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉(小倉市)
    • 年月日
      2010-11-11
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Resistance Switching Effect using Nanogap Junctions in Gas Environments2010

    • 著者名/発表者名
      内藤泰久、菅洋志、清水哲夫、堀川昌代、
    • 学会等名
      マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC)
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉
    • 年月日
      2010-11-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Electrode Width Dependence of Nanogap Memory2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、清水哲夫、内藤泰久
    • 学会等名
      マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC)
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉
    • 年月日
      2010-11-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] マグネタイト(Fe_3O_4)ナノ微粒子焼結体の電気および磁気伝導特性2010

    • 著者名/発表者名
      大棚優貴, 小堀裕己, 山崎篤志, 杉村陽, 谷口年史, 堀江智之, 内藤泰久, 清水哲夫
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] マグネタイト(Fe3O4)・チタン酸バリウム(BaTiO3)ナノ微粒子混合焼結体の複素インピーダンスの周波数応答2010

    • 著者名/発表者名
      福留にあと, 小堀裕己, 山崎篤志, 杉村陽, 谷口年史, 堀江智之, 内藤泰久, 清水哲夫
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 銅ナノギャップ電極のナノギャップスイッチ効果2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、Somu Kumaragurubaran、清水哲夫、内藤泰久
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 急速熱処理還元法で作製したマグネタイト(Fe_3O_4)薄膜の電気および磁気伝導特性-熱処理温度および熱処理時間依存性-2010

    • 著者名/発表者名
      村上智彦, 小堀裕己, 山崎篤志, 杉村陽, 谷口年史, 堀江智之, 内藤泰久, 清水哲夫
    • 学会等名
      2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Multiple Structural Changes of Local Nanogap Sites for Resistance Switching Effect Using Gold Nanogap Junction2010

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、堀川昌代、宮崎久生、小高隼介、塚越一仁、清水哲夫、内藤泰久
    • 学会等名
      2010 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      サンフランシスコ、USA
    • 年月日
      2010-04-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 急速熱処理還元法で作製したマグネタイト(Fe_3O_4)薄膜の磁気伝導特性2010

    • 著者名/発表者名
      村上智彦、小堀裕己、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、田中深雪、内藤泰久、清水哲夫
    • 学会等名
      2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] イントロダクトリートークとしてのナノギャップ2009

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫、内藤泰久、高橋剛
    • 学会等名
      応用物理学会学術講演会シンポジウム
    • 発表場所
      富山大学(富山市)
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] イントロダクトリートーク:機能発現の場としてのナノギャップ2009

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫、内藤泰久、高橋剛
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Spin-Dependent-Magnetoresistance Control by Regulation of Heat TreaTemperature for Magnetite Particle Sinter2009

    • 著者名/発表者名
      小堀裕己、旭俊則、山崎篤志、杉村陽、谷口年史、安水哲夫
    • 学会等名
      International Conference on Transport in Interacting Disordered Systems 2009
    • 発表場所
      Savoyai Kastely(ラーツケベ)
    • 年月日
      2009-09-01
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] カーボンナノチューブを利用した微粒子のマニピュレーション技術2009

    • 著者名/発表者名
      菅洋志、内藤泰久、田中深幸、小堀裕己、清水哲夫
    • 学会等名
      2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [図書] ナノ粒子を一つ一つ並べる技術、中小企業のための技術宝箱~産総研特許の解説集~2011

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫、内藤泰久、菅洋志
    • 出版者
      産総研(全国機関ネットワーク)
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [図書] ナノ粒子を一つ一つ並べる技術2011

    • 著者名/発表者名
      清水哲夫
    • 出版者
      産総研(編集:全国イノベーション推進機関ネットワーク)
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考] 清水哲夫、内之、田中深幸、無残渣加工可能な吸引型産総研オープンラボ、2010年10月14日.秀ポスター賞受賞

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考] 内藤泰久、高橋剛、清水哲夫、他6名、金属ナノギャリを実現、CEATEC JAPA 10月09日

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
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  • [備考] 清水哲夫、内藤泰久、新堀俊一郎、半導体用局所プラズマ加工装置の開発、福岡ナノテクNOW2009、西日本総合展示場、2009年06月11日~2009年06月13日

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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