| 研究課題/領域番号 |
21360355
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
早乙女 康典 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (90143198)
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| 研究分担者 |
網谷 健児 東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (30463798)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2009年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | 金属ガラス / アモルファス / ナノ成形加工 / ナノインプリント / MEMS / 材料加工 / 材料加工・熱処理 / 塑性加工 / 結晶化 / TTT曲線 / DSC / 赤外線幅射加熱 / ガラス遷移 |
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| 研究概要 |
マイクロマシン用材料としては, これまで主にシリコンが使われてきたが, 金属材料の使用により, 機械的強度に加えて, 材料機能を利用した高機能・高性能マイクロマシン(MEMS)が実現できる. 本研究では、弾性係数が温度により変化しない(エリンバー)金属ガラス合金を開発するとともに、MEMS用材料としての金属ガラス(アモルファス合金)の効率的加工法の開発と加工特性を明らかにするとともに、その材料特性を明らかにし、その優位性を明らかにした。
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