| 研究課題/領域番号 |
21360359
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
材料加工・処理
|
|---|
| 研究機関 | 富山大学 |
|---|
研究代表者 |
野瀬 正照 富山大学, 芸術文化学部, 教授 (70269570)
|
|---|
| 研究分担者 |
池野 進 富山大学, 大学院・理工学研究部, 教授 (70115129)
寺山 清志 富山大学, 大学院・理工学研究部, 教授 (20019219)
松田 健二 富山大学, 大学院・理工学研究部, 教授 (00209553)
佐伯 淳 富山大学, 大学院・理工学研究部, 教授 (50221255)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
|
| 配分額 *注記 |
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2010年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2009年度: 14,690千円 (直接経費: 11,300千円、間接経費: 3,390千円)
|
|---|
| キーワード | 薄膜プロセス / 差動排気同時成膜 / 硬質膜 / ナノコンポジット膜 / 高分解能電子顕微鏡 / イオン伝導性 / 多層薄膜 / 酸化還元反応 / 機能性薄膜 / r.f.-スパッタリング |
|---|
| 研究概要 |
熱力学的制約に拘束されない自由な組み合わせの様々なナノコンポジット膜を成膜するために差動排気型同時成膜装置(DPCS)を新たに開発した。硬質保護膜の分野では,窒化物(CrAlNまたはAlN)と酸化物(Al_2O_3またはSiO_2)からなる複合膜の作製を試みた。また,従来型装置を用いて作製されたCrAlN/BN膜の大気中熱処理によりCrAlNとアルミナの複合膜を得た。他方,機能成膜では成膜中にAlがほとんど酸化されることなくCeO_2/Al積層膜を得ることに成功した。
|
