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高分散性ナノ粒子のプラズマ気相発生・輸送制御によるナノ空隙構造膜の生成

研究課題

研究課題/領域番号 21360380
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 化工物性・移動操作・単位操作
研究機関広島大学

研究代表者

島田 学  広島大学, 大学院・工学研究院, 教授 (70178953)

連携研究者 礒本 良則  広島大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (40127626)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2011年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2010年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2009年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
キーワードナノ材料 / 薄膜・微粒子形成操作 / 微粒子移動操作 / 非凝集粒子 / 堆積
研究概要

ナノスケールレベルの空隙を有する薄膜は、有用な機能の発現が期待できる。本研究では、空隙薄膜を生成するための新規気相プロセスの開発を目指した。粒子を気相で合成し、基板上に輸送して堆積する実験的検討を行った。凝集していないナノ粒子を用いることで、均一なナノ空隙構造をもつ膜を生成できた。粒子のサイズ、凝集状態、堆積条件、堆積後の熱処理の影響も明らかになり、空隙薄膜の生成を制御する指針が得られた

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (15件)

  • [雑誌論文] Synthesis of Gallium Nitride Nanoparticles by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method2010

    • 著者名/発表者名
      Manabu Shimada, Wei-Ning Wang and Kikuo Okuyama
    • 雑誌名

      Chem. Vap. Deposition

      巻: 16巻 ページ: 151-156

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of Gallium Nitride Nanoparticles by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method2010

    • 著者名/発表者名
      島田学
    • 雑誌名

      Chem.Vap.Deposition (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御2009

    • 著者名/発表者名
      島田学
    • 雑誌名

      J. Vacuum Soc. Japan

      巻: 52巻 ページ: 484-490

    • NAID

      10025583995

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御2009

    • 著者名/発表者名
      島田学
    • 雑誌名

      J.Vacuum Soc.Japan 52・9

      ページ: 484-490

    • NAID

      10025583995

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 気固原料CVDによる複合膜合成条件の検討2012

    • 著者名/発表者名
      唐崎健太郎, 山本洋彰, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第77年会
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      2012-03-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノ粒子による気相薄膜形成に及ぼす堆積条件の影響2012

    • 著者名/発表者名
      萬谷勇樹, 石原悠, 島田学
    • 学会等名
      第14回化学工学会学生発表会
    • 発表場所
      宇部市
    • 年月日
      2012-03-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 基板上付着微粒子による水分介在汚染現象2011

    • 著者名/発表者名
      棚橋克臣, 中西雅教, 島田学, 長池宏史, 守屋剛
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2011-09-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 非凝集ナノサイズ粒子の気相堆積による薄膜構造の形成2011

    • 著者名/発表者名
      石原悠, 飯田大樹, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2011-09-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 基板表面の水分析出汚染現象に及ぼす沈着微粒子の影響2011

    • 著者名/発表者名
      棚橋克臣, 中西雅教, 島田学, 長池宏史, 守屋剛
    • 学会等名
      第28回エアロゾル科学・技術研究討論会
    • 発表場所
      堺市
    • 年月日
      2011-08-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Defect Grown from aFine Particle as Its Nucleus on a Si Wafer2010

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nagaike, Tsuyoshi Moriya, Manabu Shimada, Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi
    • 学会等名
      International Symposium on Contamination Control 2010
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      2010-10-07
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Defect Grown from a Fine Particle as Its Nucleus on a Si Wafer2010

    • 著者名/発表者名
      Shimada, M.
    • 学会等名
      International Symposium on Contamination Control 2010
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      2010-10-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 粒子原料導入プラズマCVD法によるナノ複合材料の合成2010

    • 著者名/発表者名
      山本洋彰, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第42回秋季大会
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      2010-09-08
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価2010

    • 著者名/発表者名
      飯田大樹, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第42回秋季大会
    • 発表場所
      京都市
    • 年月日
      2010-09-08
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] Plasma Synthesis of Composite Films Using Gaseousand Aerosol Precursors2010

    • 著者名/発表者名
      Manabu Shimada, Akiko Tao, HiroakiYamamoto and Wei-Ning Wang
    • 学会等名
      2010 International Aerosol Conference(IAC2010)
    • 発表場所
      Helsinki, Finland
    • 年月日
      2010-08-31
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Plasma Synthesis of Composite Films Using Gaseous and Aerosol Precursors2010

    • 著者名/発表者名
      Shimada, M.
    • 学会等名
      2010 International Aerosol Conference(IAC 2010)
    • 発表場所
      Helsinki, Finland
    • 年月日
      2010-08-31
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ナノクラスターの連続堆積による薄膜の形成過程2010

    • 著者名/発表者名
      飯田大樹, 島田学
    • 学会等名
      第27回エアロゾル科学・技術研究討論会
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2010-08-05
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] ナノサイズクラスターの堆積による表面形態の形成過程2009

    • 著者名/発表者名
      村上詩織, 飯田大樹, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第41回秋季大会
    • 発表場所
      東広島市
    • 年月日
      2009-09-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] RF非平衡プラズマ場を用いた高分散ナノ粒子合成プロセス2009

    • 著者名/発表者名
      小坂知徳, 島田学
    • 学会等名
      化学工学会第41回秋季大会
    • 発表場所
      東広島市
    • 年月日
      2009-09-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ中エアロゾル粒子を用いた複合薄膜の合成2009

    • 著者名/発表者名
      田尾亜紀子, 汪偉寧, 島田学
    • 学会等名
      第26回エアロゾル科学・技術研究討論会
    • 発表場所
      岡山市
    • 年月日
      2009-08-20
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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