| 研究課題/領域番号 |
21510126
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
村上 裕二 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (70272995)
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| 研究分担者 |
石川 智弘 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (20457295)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | マイクロセンサー / 温度計 / センサLSI / マスクレス露光 / スマートセンサ情報システム / リモートセンシング / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / 低消費電力 |
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| 研究概要 |
生化学試験向けに市販されている試験管や、近年開発が進んでいるはマイクロバイオデバイスで、制約なく容易に温度計測できるように温度計機能に限定した簡素な小型LSIチップ開発を行うための技術構築を試みている。温度計、10ビットA/ D変換器、送信機、メモリなどを含む1チップシステム化LSIを180nmプロセスにて2. 5x2. 5mmサイズで設計し、製作した。また、ポストプロセスでのアンテナ製作や微小生化学リアクタ製作技術としてマスクレス露光機による直接描画法を確立した。
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