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大気圧プラズマ密度計測の高精度化

研究課題

研究課題/領域番号 21540509
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ科学
研究機関名古屋大学

研究代表者

豊田 浩孝  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70207653)

研究分担者 石島 達夫  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (00324450)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードシュタルク効果 / 大気圧プラズマ / 電界計測 / 電子密度計測 / 発光分光 / 大気圧プラズ
研究概要

大気圧プラズマは、さまざまな分野への応用が進められているが、それにともないプラズマ密度の高精度な計測手法が求められている。本研究代表者らは、大気圧プラズマの電子密度測定に一般に用いられるシュタルク拡がりに着目し、シュタルク拡がりの時空間分解測定からマイクロ波プラズマ中におけるプラズマ密度および放電印加電界の時間変化を実験的に求め、より高精度なプラズマ密度測定法の指針を得ることができた。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (42件)

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて 学会発表 (42件)

  • [学会発表] シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測2012

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京)
    • 年月日
      2012-03-18
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] シュタルク分光を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間分解計測2012

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Eemporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      犬山国際観光センター(愛知)
    • 年月日
      2012-03-12
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Temporal-Spatial Measurement of Electric Field Using Stark Spectroscopy in Atmospheric-pressure Pulsed Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      犬山国際観光センター(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-12
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学(愛知)
    • 年月日
      2012-03-06
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Spatio-temporal Variation of Microwave Electric Field in an Atmospheric Pressure Slot-antenna Microwave Plasma2012

    • 著者名/発表者名
      TAKUYA MURASE, TATSUO ISHIJIMA HIROTAKA TOYODA
    • 学会等名
      4th International Symposium On Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2012-03-06
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川音楽堂(石川)
    • 年月日
      2011-11-22
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 時空間発光分光によるスロットアンテナ励起大気圧マイクロ波プラズマの診断2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Influence of microwave electric field on Hβbroadening in atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, T. Murase and T. Ishijima
    • 学会等名
      64th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Utah(USA)
    • 年月日
      2011-11-15
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Influence of microwave electric field on H_β broadening in atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, T.Murase, T.Ishijima
    • 学会等名
      64th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Utah (USA)
    • 年月日
      2011-11-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知)
    • 年月日
      2011-10-22
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時空間発光分光計測2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県)
    • 年月日
      2011-10-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波プラズマ生成過程の観察2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学(三重)
    • 年月日
      2011-09-27
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 時空間発光分光計測を用いた大気圧パルスマイクロ波ププズマ生成過程の観察2011

    • 著者名/発表者名
      村瀬卓也, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学(三重県)
    • 年月日
      2011-09-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of HυSpectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Belfast(Northern Ireland)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Influence of Microwave Electric Field on Spatial and Time-Variation of H_β Spectra in Pulsed-Microwave Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A.Kamata, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The XXX International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Belfast (Northern Ireland)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, T. Murase, T. Ishijima
    • 学会等名
      The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics(招待講演)
    • 発表場所
      Deajeon(Korea)
    • 年月日
      2011-07-27
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Spatiotemporal measurement of microwave electric field in an atmospheric pressure microwave plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Toyoda, Takuya Murase, Tasuo Ishijima
    • 学会等名
      The 13th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Deajeon (Korea)(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Time-and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima, Y Kinoshita, H. Kawauchi, K. Yoshida, and H. Toyoda
    • 発表場所
      Dalian(China)
    • 年月日
      2011-07-06
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Time-and Space-Resolved Characteristics of Ozone Concentration in Atmospheric Pressure Plasma using Ultra Short Pulses2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A.Kamata, T.Ishijima, Y.Kinoshita, H.Kawauchi, K.Yoshida, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Dalian (China)
    • 年月日
      2011-07-06
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Space-and Time-Resolved Measurement of Electric Field in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T. Murase, A. Kamata, T. Ishijima and H. Toyoda
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      高山文化会館(岐阜)
    • 年月日
      2011-03-11
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Space and Time Resolved Measurement of Electric Fleld in Atmospheric-pressure Pulsed Microwave Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      T.Murase, A Kamata, T Ishijima, H Toyoda.
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Plasma Nano Technology & Science
    • 発表場所
      高山文化会館(岐阜県)
    • 年月日
      2011-03-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 子シュタルク拡がりを用いた大気圧マイクロ波プラズマにおける電子密度および電界強度の時分解計測,「原子分子光の素過程とプラズマ分光の研究フロンティア」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」2011

    • 著者名/発表者名
      石島達夫,水素原子
    • 学会等名
      合同研究会
    • 発表場所
      核融合科学研究所(岐阜)
    • 年月日
      2011-02-03
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水素原子シュタルク拡がりを用いた大気圧マイクロ波プラズマにおける電子密度および電界強度の時分解計測2011

    • 著者名/発表者名
      石島達夫
    • 学会等名
      「原子分子光の素過程とプラズマ分光の研究フロンティア」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」合同研究会
    • 発表場所
      核融合科学研究所(岐阜県)
    • 年月日
      2011-02-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Time and Space Resolved Measurement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, T. Ishijima
    • 学会等名
      The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学(福岡)
    • 年月日
      2011-01-05
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Time and Space Resolved Measrement of Microwave Electric Field in Atmospheric Pressure Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      H Toyoda, A Kamata, T Murase, T Ishijima.
    • 学会等名
      The 12th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2011-01-05
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening2010

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, A. Kamata, T. Murase, and T. Ishijima
    • 学会等名
      The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium
    • 発表場所
      New SouthWales(Australia)
    • 年月日
      2010-12-13
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Diagnostics of atmospheric pressure plasma by space and time-resolved Stark broadening2010

    • 著者名/発表者名
      H Toyoda, A Kamata, T Murase, T.Ishijima.
    • 学会等名
      The 2nd International Plasma Nanoscience Symposium
    • 発表場所
      New South Wales(Australia)
    • 年月日
      2010-12-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知)
    • 年月日
      2010-08-30
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマにおける時空間発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2010-08-30
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,楊海鵬,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川)
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水素原子偏光スペクトル計測を用いた大気圧パルスプラズマの外部印加電界強度の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 楊海鵬, 石島達天 豊田浩孝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Time Resolved Measurement of HβEmission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A. Kamata, H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      名城大学(愛知)
    • 年月日
      2010-03-11
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Time Resolved Measurement of H_β Emission from Atmospheric-Pressure Pulsed Microwave Plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A.Kamata, H.Yang, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      名城大学(名古屋市)
    • 年月日
      2010-03-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住,楊海鵬,石島達夫,豊田浩孝
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川)
    • 年月日
      2010-02-03
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 大気圧パルスマイクロ波プラズマの時分解発光分光計測2010

    • 著者名/発表者名
      鎌田安住, 楊海鵬, 石島達夫, 豊田浩孝
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2010-02-03
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Temporal variation of plasma density in atmospheric pressure pulsed-microwave plasma2009

    • 著者名/発表者名
      H. Toyoda, H. Yang, T. Ishijima
    • 学会等名
      62nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs(NY, USA)
    • 年月日
      2009-10-20
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Temporal variation of plasma density in atmosphericpressure pulsed-microwave plasma2009

    • 著者名/発表者名
      H.Toyoda, H.Yang, T.Ishijima
    • 学会等名
      62nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs(NY, USA)
    • 年月日
      2009-10-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Temporal Variation of Hydrogen Atom Spectrum Emitted from Pulsed Microwave Plasma under Atmospheric Pressure2009

    • 著者名/発表者名
      H. Yang, T. Ishijima, H. Toyoda
    • 学会等名
      The 31th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan Exhibition & Convention Center(Busan, Korea)
    • 年月日
      2009-09-24
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Temporal Variation of Hydrogen Atom Spectrum Emitted from Pulsed Microwave Plasma under Atmospheric Pressure2009

    • 著者名/発表者名
      H.Yang, T.Ishijima, H.Toyoda
    • 学会等名
      The 31th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan Exhibition & Convention Center(Susan, Korea)
    • 年月日
      2009-09-24
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響2009

    • 著者名/発表者名
      楊海鵬、石島達夫、豊田浩孝
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山)
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] シュタルク拡がりを用いたプラズマ密度計測における外部電界の影響2009

    • 著者名/発表者名
      楊海鵬、石島達失、豊田浩孝
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学(富山県)
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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