| 研究課題/領域番号 |
21560028
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 埼玉大学 |
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研究代表者 |
白井 肇 埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (30206271)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | Si薄膜 / 剥離・転写 / 酸化物 / 有機薄膜 / 応力 / フレキシブル / 薄膜シリコン / プラズマCVD / 太陽電池 / 塩素系原料 / 導電性高分子 / ZnO / CuPc/C60 / グラフェン / 移動度 / 圧縮・伸縮応力 / DMSO/PEDOT:PSS / CuPc / 薄膜トランジスター / 高分子ポリマー基板 |
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| 研究概要 |
塩素系(SiH_2Cl_2/H_2)プラズマCVD法で作製したガラス基板上に堆積した微結晶シリコン(μc-Si : H : Cl)膜の高分子基板上への剥離・転写を利用してフレキシブル基板上の薄膜形成を検討した。その結果結晶化率の低減、クラックの生成なく曲率半径が小さい領域まで維持できることがわかった。また曲率によってラマン分光の515cm-1のTOフォノンの高波数側へのシフトを確認した。更に導電性ポリマーを塗布した太陽電池構造で変換効率3%を得た。以上の結果は、半導体Si膜の応力に対する光学・電気物性の制御に適用できる可能性を示唆する。一方有機系の場合には効率は1-2%に留まった。同時に結晶Si/スピンコートPEDOT : PSS接合素子で10-11%の効率を得た。
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