| 研究課題/領域番号 |
21560036
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
|
|---|
| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
|---|
研究代表者 |
三石 和貴 独立行政法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主幹研究員 (40354328)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2011年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2010年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2009年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
|
|---|
| キーワード | 電子顕微鏡 / 共焦点電子顕微鏡 / 走査透過電子顕微鏡 / 3次元観察 |
|---|
| 研究概要 |
電子顕微鏡では、試料の深さ方向の情報は平均化されており、得ることが難しい。共焦点電子顕微鏡法はこれらの情報を簡便に高分解能で得ることができる方法として期待されているが、現状の方法では装置に大きな改造を施す必要があり、発展と普及に大きな障害となっている。本研究では、顕微鏡に通常備えられている2次元CCDカメラを利用することで共焦点電子顕微鏡法を実現するとともに、理論計算による解釈と併せて高分解能化を目指し研究を行った。
|
