| 研究課題/領域番号 |
21560046
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 東京工芸大学 |
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研究代表者 |
川畑 州一 東京工芸大学, 工学部, 教授 (10118747)
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| 連携研究者 |
津留 俊英 東北大学, 多元物質研究所, 助教 (30306526)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2011年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
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| キーワード | 偏光 / ポラリメーター / エリプソメトリー / 分光計測 / 偏光計測干渉計 / エリプソメーター |
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| 研究概要 |
本研究では分光の透過型FDP(Four Detector Polarimeter)を製作し、それを偏光検出器に用いたリアルタイム分光エリプソメーターの開発を行った。開発においては、装置のキャリブレーションにおいて工夫を加え精度の向上を実現した。そして、開発した分光エリプソメーターを用いてシリコン基板上の酸化膜とガラス基板上の金膜の予備測定を行なった。シリコン基板上の酸化膜の場合、公称値130 nmに対して125 nmの値が得られ、また、金膜においてもその分光データΨ(λ)、Δ(λ)が他の分光エリプソメーターで得られたと値とほぼ一致した。これらの結果から、試作した分光透過型FDPならびにそれを組み込んだリアルタイム分光エリプソメーターが実用的にも満足のいく性能であることが確認できた。
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