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X線透視画像を用いた電子パッケージ内部ひずみの非破壊計測技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21560109
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関福岡県工業技術センター

研究代表者

小金丸 正明  福岡県工業技術センター, 機械電子研究所, 専門研究員 (20416506)

研究分担者 内野 正和  福岡県工業技術センター, 機械電子研究所, 専門研究員 (30416507)
糸平 圭一  福岡県工業技術センター, 機械電子研究所, 主任技師 (90463497)
連携研究者 池田 徹  京都大学, 工学研究科, 准教授 (40243894)
宮崎 則幸  京都大学, 工学研究科, 教授 (10166150)
浅野 種正  九州大学, システム情報科学研究科, 教授 (50126306)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード電子デバイス・機器 / エレクトロニクス実装 / 実験力学 / 機械材料・材料力学 / デバイス設計・製造プロセス
研究概要

本研究では、モアレ縞の位相分布を解析できる位相シフトサンプリングモアレ法をマイクロフォーカスX線透視画像に適用し、電子パッケージ内部のひずみ・応力分布を非破壊で計測・評価する全く新しい技術を開発した。画像解析コードやテストチップ等の基本的な技術を確立した。本手法により、非破壊で電子パッケージ内部のひずみ分布を一度に得ること(全視野計測)が、原理的に可能であることを明らかにした。

報告書

(5件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果発表報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて 2014

すべて 雑誌論文 (1件)

  • [雑誌論文] Examination of Residual Stress Measurement in Electronic Packages Using Phase-Shifted Sampling Moiré Method and X-Ray Images2014

    • 著者名/発表者名
      Masaaki Koganemaru, Masakazu Uchino, Akihiro Ikeda, and Tanemasa Asano
    • 雑誌名

      Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC), 2014

      ページ: 1-5

    • DOI

      10.1109/estc.2014.6962827

    • 関連する報告書
      研究成果発表報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-09-09  

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