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加工用カンチレバーを用いたSPM援用高アスペクト比微細V溝曲面加工に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 21560113
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関富山大学

研究代表者

高野 登  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)

研究分担者 山田 茂  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
森田 昇  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)
連携研究者 森田 昇  千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30239660)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2009年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード極微細加工 / マイクロダイヤモンド工具 / 高精度化 / 微細溝加工 / 加工用カンチレバー / 高アスペクト比 / SPM
研究概要

本研究では、サブμmの溝幅かつ90°より小さい挟角の微細V溝加工に有用なダイヤモンド工具の開発と応用化を目的としている。試作した鋭い先端角の切れ刃を有するカンチレバーにより、高アスペクト比の微細V溝加工が可能であった。能率の高い加工を実現するため、たわみ剛性の異なる3本のレバーを有するマルチカンチレバーを試作し、引き切り加工実験や凹加工実験から個々のレバーの加工特性を評価した。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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