• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

スラリー保持機能を発現する電界砥粒制御技術による高能率加工メカニズムの確立

研究課題

研究課題/領域番号 21560138
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関秋田県産業技術センター

研究代表者

赤上 陽一  秋田県産業技術センター, 素形材プロセス開発部, 部長 (00373217)

研究分担者 久住 孝幸  秋田県産業技術センター, 素形材プロセス開発部, 主任研究員 (40370233)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードスラリー / 交流電界 / 砥粒 / 遊離砥粒研磨 / 電界砥粒制御 / 電界砥粒制御技術
研究概要

交流電界下のスラリーの動作を理解するために、開発した観察装置を用いて、スラリーの挙動を観察した。その結果、研磨スラリーが交流電界によって研磨領域内に導かれることを確認し、研磨領域のスラリー分布が12%向上することを明らかにした。研磨レートは交流電界が適用された時、無電界時と比較して、22%増加した結果を得た。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (14件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] 機能性流体を援用した砥粒制御加工技術の可能性2012

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 56 ページ: 287-290

    • NAID

      10030612026

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC electric field for glass substrate2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kusumi, H. Ikeda, Y. Sato, Y. Akagami, N. Umehara
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials

      巻: 323 ページ: 1394-1397

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC.electric field for glass substrate2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kusumi, H.Ikeda, Y.Sato, Y.Akagami, N.Umehara
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials

      巻: 323 ページ: 1394-1397

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電界砥粒制御技術を応用したスラリー配置制御技術による研磨・加工技術2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 雑誌名

      日本AEM学会

      巻: Vol.18-418

    • NAID

      110008007277

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電界砥粒制御技術を応用したスラリー配置制御技術による研磨・加工技術2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 雑誌名

      日本AEM学会 Vol.18-4

      巻: 18

    • NAID

      110008007277

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 電界砥粒制御技術による研磨効率向上メカニズムの基礎検討2012

    • 著者名/発表者名
      久住孝幸,黒木恵,佐藤安弘,赤上陽一,梅原徳次
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電界砥粒制御技術が拓くガラス表面仕上げに於ける酸化セリウムの有効活用法2011

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      砥粒加工学会次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会第39回研究会
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電界砥粒制御技術が拓くガラス表面仕上げに於ける酸化セリウムの有効活用法2011

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      砥粒加工学会
    • 発表場所
      次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会第39回研究会
    • 年月日
      2011-10-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] New effective and precision polishing method with water based slurry, controlled by AC electric field during processing2010

    • 著者名/発表者名
      Y. AKAGAMI
    • 学会等名
      ICTMP
    • 年月日
      2010-06-15
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] New effective and precision polishing method with water-based slurry, controlled by AC electric field during processing2010

    • 著者名/発表者名
      Y.AKAGAMI
    • 学会等名
      ICTMP 2010
    • 発表場所
      Nice, France
    • 年月日
      2010-06-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 電界砥粒・スラリー制御技術が拓く先進基盤加工技術開発2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      KICC九州イノベーション創出促進協議会生産計測技術分科会精密加工プロセス研究会
    • 年月日
      2010-01-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電界砥粒・スラリー制御技術が拓く先進基盤加工技術開発2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      KICC九州イノベーション創出促進協議会 生産計測技術分科会 精密加工プロセス研究会
    • 発表場所
      福岡県博多市
    • 年月日
      2010-01-29
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電界砥粒・スラリー制御技術による迅速高品位な加工技術2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      社団法人日本オプトメカトロニクス協会
    • 年月日
      2010-01-19
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電界砥粒・スラリー制御技術による迅速高品位な加工技術2010

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      社団法人 日本オプトメカトロニクス協会
    • 発表場所
      機械振興会館 別館
    • 年月日
      2010-01-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電界砥粒制御技術2009

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第78回研究会
    • 年月日
      2009-12-18
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電界砥粒制御技術2009

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      精密工学会プラナリゼーションCMPとその応胴技術専門委員会 第78回研究会
    • 発表場所
      プラザエフ
    • 年月日
      2009-12-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 研磨技術の現状と新しい研磨技術の提案2009

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      学振将来加工技術第136委員会
    • 年月日
      2009-06-23
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] New Polishing Method with Water-based Slurry, Controlled by AC Electric Field during Processing2009

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      ICPT
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] New Polishing Method with Water-based Slurry, Controlled by AC Electric Field during Processing2009

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 学会等名
      ICPT 2009
    • 発表場所
      福岡JALリゾートシーホークホテル
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [産業財産権] 平面トライボ研磨方法、およびその装置2010

    • 発明者名
      赤上陽一
    • 権利者名
      秋田県
    • 産業財産権番号
      2010-227347
    • 出願年月日
      2010-10-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

URL: 

公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi