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水蒸気プラズマ処理によるGaN系半導体の発光増大機構の解明と発光デバイスへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 21560330
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関岡山大学

研究代表者

上浦 洋一  岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 (30033244)

研究分担者 山下 善文  岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (80251354)
関口 隆史  物質・材料研究機構, 半導体材料センター, グループリーダー (00179334)
連携研究者 石山 武  岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 助教 (40314653)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワード照明 / 白色発光ダイオード / GaN系半導体 / 青色発光 / プラズマ処理 / 発光増大 / 水素 / 環境保全 / InGaN / 水素プラズマ処理 / 水蒸気プラズマ処理 / 原子状水素 / 発光 / フォトルミネッセンス / カソードルミネッセンス / AlGaN
研究概要

照明用白色発光ダイオードの高効率化への応用を目指して、白色生成の元になるGaN系半導体青色発光の高効率化を材料学的アプローチにより研究した。さまざまなガス種(水蒸気、水素、酸素)を用いたプラズマ処理の条件を最適化することにより10~20倍の発光増大を達成した。これが原子状水素の効果であることを明らかにし、高効率白色発光ダイオードを開発するための新しい技術的方向性を提示した。以上の結果は地球の低炭素化や環境保全に寄与するものと考えられる。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 学会発表 (19件)

  • [学会発表] In_<0.> 1Ga0_<. 9> Nの発光に対するプラズマ処理とアニールの効果2011

    • 著者名/発表者名
      藤原翔太、竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2011年度支部学術講演会
    • 発表場所
      鳥取市
    • 年月日
      2011-07-30
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] In0.1Ga0.9Nの発光に対するプラズマ処理とアニールの効果2011

    • 著者名/発表者名
      藤原翔太, 竹中俊明, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      鳥取大学
    • 年月日
      2011-07-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] AlGaN発光に対する水蒸気プラズマ処理効果2010

    • 著者名/発表者名
      松田洋平、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知市
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水素・水蒸気混合プラズマを用いたInGaN発光の増大2010

    • 著者名/発表者名
      藤原翔太、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知市
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理を用いたInGaN発光の増大2010

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知市
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理を用いたInGaN発光の増大2010

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部、日本物理学会中国支部・四国支部日本物理教育学会中国四国支部 2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知大学
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 水素・水蒸気混合プラズマを用いたInGaN発光の増大2010

    • 著者名/発表者名
      藤原翔太, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部、日本物理学会中国支部・四国支部日本物理教育学会中国四国支部 2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知大学
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] AlGaN発光に対する水蒸気プラズマ処理効果2010

    • 著者名/発表者名
      松田洋平, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部、日本物理学会中国支部・四国支部日本物理教育学会中国四国支部 2010年度支部学術講演会
    • 発表場所
      高知大学
    • 年月日
      2010-07-31
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] InGaN発光へのリモートプラズマ処理の影響2010

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      平塚市
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] InGaN発光へのリモートプラズマ処理の影響2010

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] treatment on photoluminescence in GaN-based semiconductors2010

    • 著者名/発表者名
      T. Takenaka、Y. Kamiura、T. Ishiyama、Y. Yamashita
    • 学会等名
      2^<nd> International Conference on Silicon Photonics
    • 発表場所
      Cambridge
    • 年月日
      2010-01-22
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] プラズマ処理によるInGaNの発光評価2009

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会多元系機能材料研究会2009年年末講演会
    • 発表場所
      倉敷市
    • 年月日
      2009-12-12
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] プラズマ処理によるInGaNの発光評価2009

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明
    • 学会等名
      応用物理学会多元系機能材料研究会2009年年末講演会
    • 発表場所
      鷲羽ハイランドホテル
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理によるInGaNの発光増大2009

    • 著者名/発表者名
      上浦洋一、竹中俊明、朝日淳平、石山武、山下善文
    • 学会等名
      日本物理学会2009年秋季大会
    • 発表場所
      熊本市
    • 年月日
      2009-09-25
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理によるInGaNの発光増大2009

    • 著者名/発表者名
      上浦洋一, 竹中俊明, 朝日淳平, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2009-09-25
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Luminescence Enhancement in InGaN and ZnO by Water Vapor Remote Plasma Treatment2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Kamiura、T. Takenaka、T. Ishiyama、Y. Murakami、C. Takenaka、Y. Yamashita
    • 学会等名
      13th International Conference on Defects-Recognition、Imaging and Physics in Semiconductors
    • 発表場所
      Wheeling
    • 年月日
      2009-09-16
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理によるInGaNの発光増大2009

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山市
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 水蒸気プラズマ処理によるInGaNの発光増大2009

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明, 上浦洋一, 石山武, 山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会2009年秋季第70回学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] InGaNの発光に対するプラズマ処理効果2009

    • 著者名/発表者名
      竹中俊明、上浦洋一、石山武、山下善文
    • 学会等名
      応用物理学会中国四国支部2009年度支部学術講演会
    • 発表場所
      東広島市
    • 年月日
      2009-08-01
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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